下载电场传感器的技术资料

文档序号:37202042

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本申请涉及一种电场传感器,所述电场传感器包括:基座框;固定电极,所述固定电极与所述基座框连接;压电驱动梁,所述压电驱动梁与所述基座框连接,所述压电驱动梁包括多个激励区域;为各个所述激励区域施加驱动电压的驱动电路,其中,向各所述激励区域施加的...
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