【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微波等离子体激发
，特别涉及用于产生大面积微波等离子体的反 应腔结构设计。
技术介绍
等离子体在新材料、微电子等工业和生物研究等领域有很强的实用价值，特别是利用 微波激发等离子体的方式，相对其它的等离子体激发方式而言，等离子体的存在空间较大， 带电粒子密度较高，有很大的应用拓展空间。特别是大面积(大体积)微波等离子体，在 相关工业上的使用价值更高。微波等离子体反应腔一般采用单一或混合的微波模式使等离子体团产生于结构不同 的腔体的内部，由于结构不同，产生的等离子体的面积也不相同。而现有的用于产生大面 积微波等离子体的反应腔，其主要利用了狭缝天线对微波的衍射作用，称之为狭缝式反应 腔。此类微波等离子体反应腔的结构及激发原理如图1、 2所示，该反应腔包括在圆柱 形反应腔体12 (目前成熟腔体基本为圆柱形)的外围环绕有环形波导11，在环形波导和反应腔的结合共有部位28 (环形波导内壁，同时为反应腔外壁)，根据微波波导波长的大小 在环形波导驻波波节处分布与之相对应的狭缝24 (图中示出八个狭缝)，每个狭缝位置均 对应驻波26的波节，27为环形波导中心线...
【技术保护点】
一种狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，还开有大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘亮，张贵新，冯剑，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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