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本发明涉及狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，属于微波等离子体激发技术领域，该反应包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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