【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种双介质阻挡放电处理薄膜材料表面的系统，尤指 多组金属管电极分别用玻璃管或陶瓷管包覆的、在放电进行时电极自 身转动的，在电极之间可以穿过薄膜材料的放电装置。
技术介绍
等离子体技术是在近年才迅速发展起来的，并已得到广泛的应 用，例如可用于(1)微电子工业硅片清洗，替代目前的酸和去离子 水清洗。(2)清洗所有的生化污染表面，包括被生化武器污染的表面 和空间。(3)替代湿化学法，可用于制药和食品行业原位消毒。(4)用于医疗器件消毒和皮肤病的治疗。(5)食品保鲜杀菌。(6)薄膜材 料的表面改性。(7)纺织企业衣料改性。(8)刻蚀金属、半导体和电 介质材料等。在空气中进行的介质阻挡放电一般是在两个电极之间放置一个 绝缘介质，放电是直接击穿的空气，放电所产生的局部微电弧电流比 较大，在用于处理高分子材料时，容易在材料表面产生局部烧蚀，对 材料表面的局部破坏比较大，对材料表面的处理也不均匀，从而影响 了材料表面的性质。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种双介质阻挡放电处理薄膜材料表面 的系统，尤指多组金属管电极分别用玻璃管或陶瓷管包覆的、在放电 进行时电...
【技术保护点】
一种双介质阻挡放电处理薄膜材料表面的系统，包括一个高频电源，一个电机马达，放电电极和电极壳体等，其放电电极是多组平行的、被玻璃管或陶瓷管包覆的、之间有相同间隙的上下金属管电极构成，该包覆上下金属管电极的两个绝缘材料管在电极之间形成双介质，上下电极管的两端分别与轴承连接，上电极管通过电机马达带动自转，下电极管由穿过两个电极之间的薄膜带动自转，上下金属管分别与一个高频电源连接，上下电极管放置在一个壳体中，当薄膜材料通过上下金属管电极之间时，其表面得到等离子体的改性处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王守国，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，王守国，
类型：发明
国别省市：11[]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。