离子平衡调整方法以及使用它的工件的除电方法技术

当通过在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而在除电区域内使正负离子发生，并将带电工件搬进此除电区域内进行除电之际，在工件被搬进上述除电区域内以前，利用表面电位传感器来测定该除电区域内的离子平衡，并依照其测定结果使上述电极针上所施加的脉冲状高电压的脉冲宽度和／或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及当对带电工件进行除电之际使从离子发生器发射出的正负离子平衡用的离子平衡调整方法、和使用了该调整方法的工件的除电方法。
技术介绍
作为对以静电方式带电的工件进行除电的方法，以往采用如下方法，即从离子发生器对被送入除电区域的工件发射正负离子，使该工件所持有的正或负的电荷，用与该电荷反极性的离子进行中和来进行除电。上述离子发生器，一般构成为具有正的电极针和负的电极针，在正的电极针上施加正的脉冲状高电压，在负的电极针上施加负的脉冲状高电压，由此使电晕放电产生而从两电极发生正负离子。在使用这样的离子发生器来对工件进行除电的情况下，如果依照该工件的带电极性多发射与其反极性的离子，就能够提高除电效率，但根据除电条件的不同有时候无法正确地得知工件以正负哪种极性带电。从而，当在这样的状况下进行除电时，人们希望不论以哪种极性带电的工件被搬入都能够进行对应。作为用于此的一个手段，考虑对从离子发生器发射出的正负离子事先进行调整以使其成为预先取得离子平衡的状态、即正负离子变得大致相等。在此情况下，就要求能够用简单的手段可靠地将其执行。另一方面，作为调整离子平衡的方法，在专利文献1中记载有以下技术在工件除电时，用电流传感器检测依照所消耗的正负离子量而流到接地线的电流，使所需要极性的离子多发生这样来控制正负高电压发生电路，由此对离子平衡进行调整的技术。另外，在专利文献2中记载有以下技术在正负电极针间配置电流检测电极，在工件除电时用此电流检测电极来检测在两电极针间流过的离子电流，并依照此离子电流的极性及离子量之差来调整施加在上述电极针上的电压或者脉冲宽度，由此谋求离子平衡。但是，由于这些技术都是检测流过上述接地线或者两电极针间的电流来谋求离子平衡，所以实际上无法直接确认正负离子是否取得平衡。而且，还担心在上述电流因离子以外的某种要因而变化的情况下，进行误动作反而破坏离子平衡，在可靠性上存在问题。另外，在专利文献3中公开了以下技术使用测定除电对象物(工件)的静电位的静电位传感器、和测定离子发生器周围的离子平衡的静电位传感器这两个静电位传感器，在工件除电中基于两传感器的测定值来调整来自离子发生器的离子的发射量。即、在除电的前半阶段工件的带电电位非常高时，照射与其带电极性反极性的离子急剧地进行除电，在静电位变小的除电的最终阶段，照射已获得离子平衡状态的离子来进行除电。但是，因为此技术是借助于两个静电位传感器来测定工件的带电极性和离子发生器周围的离子平衡，由此依照工件的带电极性来控制离子的照射量的方式，所以装置的构成及控制复杂。而且，由于是在工件除电中即存在带电工件的状态下测定离子平衡，并基于此时的测定结果来控制离子的照射量，所以受到由带电工件造成的影响而成为干扰状态，实际上谋求离子平衡很困难。特别是，若带电工件通过输送机一件一件连续送入，离子平衡的调整就来不及进行，而难以进行可靠的除电。专利文献1特开平11-135293号公报专利文献2特开平3-266398号公报专利文献3特开2003-217892号公报
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种简单可靠的技术手段，其能够对从离子发生器发射出的正负离子精度良好地进行调整，以使得在工件的除电之前就成为已取得离子平衡的状态、即正负离子变得大致相等。为了达到上述目的，根据本专利技术的技术方案，提供一种离子平衡调整方法，其特征在于使用在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而使之电晕放电，由此从两电极针发生正负离子以对工件进行除电的离子发生器；和用于测定正负离子的离子平衡的表面电位传感器，在进行上述工件的除电以前，在该工件不存在的状态下通过上述表面电位传感器来测定从上述离子发生器发射出的正负离子的离子平衡，并依照其测定结果使施加在上述电极针上的脉冲状高电压的脉冲宽度和/或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。在本专利技术的技术方案中，上述表面电位传感器一体地具有与来自离子发生器的离子接触而带电的检测板，并根据此检测板的带电极性来测定离子平衡。另外，根据本专利技术的技术方案，提供一种工件的除电方法，在离子发生器中的正负电极针上施加正负脉冲状高电压而使之电晕放电，由此在除电区域内使正负离子发生，并将带电工件用输送装置搬进此除电区域内进行除电，所述除电方法的特征在于在工件被搬进上述除电区域内以前，利用表面电位传感器来测定该除电区域内的离子平衡，并在依照其测定结果使上述电极针上所施加的脉冲状高电压的脉冲宽度和/或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整而将正负离子的离子平衡进行了调整以后，将工件搬进此除电区域内进行除电。在本专利技术的技术方案中，最好是与上述输送装置的动作关联起来进行上述离子平衡的调整。另外，在本专利技术的技术方案中，希望每对一个处理单位的工件进行除电处理，就进行上述离子平衡的调整。进而，在本专利技术的技术方案中，构成为上述表面电位传感器一体地具有与来自离子发生器的离子接触而带电的检测板，并根据此检测板的带电极性来测定离子平衡。根据上述的本专利技术的技术方案，通过在工件不存在的状态下测定离子平衡并进行其平衡调整，就能够将从离子发生器发射出的正负离子调整成在除电开始前已正确地取得离子平衡的状态，而不会受到由带电工件造成的影响、即不会受到由干扰造成的影响。附图说明图1是本专利技术的方法中所用的除电装置的构成。图2是图1的要部扩大剖面图。图3是表面电位传感器的剖面图。图4是概念性地表示离子平衡的调整状态的构成图。图5是施加在电极针上的脉冲状高电压的波形图。具体实施例方式图1表示在本专利技术的方法的实施中所使用的除电装置，在图中1是用于发射正负离子的离子发生器，2是用于测定从该离子发生器1发射出的正负离子的离子平衡的表面电位传感器。上述离子发生器1，如图4所示意那样朝向输送带电工件W的输送机等输送装置C进行配置，在除电区域14内发射正负离子对上述工件W进行除电。在图中18是用于对上述输送装置C进行动作控制的输送控制装置。上述离子发生器1在机架4中形成多个离子发射口，如从图2及图4也可得知那样，在各离子发射口分别配置正的电极针6和负的电极针7，并且在上述机架4之内部内置发生正脉冲状高电压的正高电压发生电路8；发生负脉冲状高电压的负高电压发生电路9；以及用于控制这些高电压发生电路8、9的控制装置10，上述正高电压发生电路8连接到正的电极针6，负高电压发生电路9连接到负的电极针7。然后，用上述控制装置10使两高电压发生电路8、9例如以数十Hz左右的周期交互进行动作，由此从这些高电压发生电路8、9交互发生如图5所示的、具有脉冲宽度t1的正脉冲状高电压V1和具有脉冲宽度t2的负脉冲状高电压V2，正脉冲状高电压V1施加在正的电极针6上，负脉冲状高电压V2施加在负的电极针7上。据此，在这些两电极针6、7上分别发生电晕放电，从正的电极针6发射正的离子，从负的电极针7发射负的离子。上述脉冲宽度t1和t2根据控制状态有时彼此相等有时不等。虽然上述正负脉冲状高电压V1及V2的电压值，在图示的例子中被设定成+8,000V和-8,000V，但也可以是其以外的大小。为了使从各电极针6、7发生的正负离子均等且良好地扩散到除电区域14中，在上述各离子发射口设有送风口15，另外在机架4内设有风扇16本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子平衡调整方法，其特征在于：使用在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而使之电晕放电，由此从两电极针发生正负离子以对工件进行除电的离子发生器；和用于测定正负离子的离子平衡的表面电位传感器，在进行上述工件的除电以前，在该工件不存在的状态下通过上述表面电位传感器来测定从上述离子发生器发射出的正负离子的离子平衡，并依照其测定结果使施加在上述电极针上的脉冲状高电压的脉冲宽度和／或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤俊夫，铃木智，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]