温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

当通过在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而在除电区域内使正负离子发生，并将带电工件搬进此除电区域内进行除电之际，在工件被搬进上述除电区域内以前，利用表面电位传感器来测定该除电区域内的离子平衡，并依照其测定结果使上述电极针上所施加的脉冲状高电...
该专利属于ＳＭＣ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＳＭＣ株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。