一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于ITO靶材生产技术领域，尤其是一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法，针对现有技术中坯体受热不均匀导致横向的烧结收缩率差异较大，靶材利用率低下，坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，坯体的收缩阻力表现为收缩率从上到下呈梯度减小的问题，现提出如下方案，其包括：烧结炉，以及位于烧结炉内的承烧台，所述烧结炉内滑动连接有门板，所述烧结炉远离门板的一侧内壁固定连接有弧形限位板，所述承烧台的底部设有多个万向轮，本发明专利技术中，通过带动承烧台和胚体转动，使胚体在烧结炉内受热均匀，避免胚体出现变形，且扇叶转动将烧结炉内的热气向上吹动，避免坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，使得胚体形状不可控。控。控。

【技术实现步骤摘要】
一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法


[0001]本专利技术涉及ITO靶材生产
，尤其涉及一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法。

技术介绍

[0002]国内外ITO靶材的生产工艺主要包括：ITO粉的制备、成形、烧结、后加工和检测等。国内在管状IT0靶材坯体烧结时，大多采用直接放置承烧板上，或者在承烧板上铺洒一层铺料后再放置IT0靶材坯体，以减少烧结时的收缩阻力。但IT0靶材坯体在烧结时由于烧结温度不均匀导致竖向的烧结收缩率差异较大，且由于坯体下部承受重量大于上部，且烧结收缩时受到坯体底部与承烧板接触面的摩擦力作用，整个坯体的收缩阻力不同，表现为收缩率从上到下呈梯度减小。
[0003]但现有技术中在对光伏板进行安装时仍存在以下不足之处：
[0004]1、但IT0靶材坯体在烧结时由于烧结炉中烧结温度不均匀导致横向的烧结收缩率差异较大，导致IT0靶材坯体烧结后形状不可控，烧结后需要再次进行处理，导致靶材利用率低下，造成IT0靶材的浪费；
[0005]2、且由于坯体下部承受重量大于上部，且坯体下部与承烧板接触，导致坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，另外烧结收缩时受到坯体底部与承烧板接触面的摩擦力作用，整个坯体的收缩阻力不同，表现为收缩率从上到下呈梯度减小，因此IT0靶材坯体烧结后形状不可控，导致靶材利用率低下。
[0006]针对上述问题，本专利技术文件提出了一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法。

技术实现思路

[0007]本专利技术提供了一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置及方法，解决了现有技术中坯体受热不均匀导致横向的烧结收缩率差异较大，靶材利用率低下，坯体下部与坯体其他部位受热存在差距，坯体的收缩阻力表现为收缩率从上到下呈梯度减小的缺点。
[0008]本专利技术提供了如下技术方案：
[0009]一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，包括：烧结炉，以及位于烧结炉内的承烧台，所述烧结炉内滑动连接有门板，所述烧结炉远离门板的一侧内壁固定连接有弧形限位板，所述承烧台的底部设有多个万向轮；
[0010]转动组件，设置在烧结炉内，用于使承烧台平稳的在烧结炉内转动，使胚体受热均匀；
[0011]吹风组件，设置在承烧台内，用于使胚体底部与胚体上部受热均匀；
[0012]控制组件，设置在承烧台的顶部，用于控制胚体底部的收缩率。
[0013]在一种可能的设计中，所述转动组件包括设置在烧结炉内的传动腔，所述传动腔的底部内壁固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有第一滑杆，所述第一滑杆的外壁滑动连接有滑套，且滑套的顶端滑动贯穿烧结炉的底部内壁并固定连接有圆
盘，且圆盘的顶部与承烧台的底部相碰触。
[0014]在一种可能的设计中，所述吹风组件包括设置在承烧台顶部的凹槽，所述凹槽的底部内壁转动连接有转轴，所述转轴的外壁固定连接有多个扇叶，所述转轴的外壁固定套设有位于扇叶下方的第一伞齿轮，所述承烧台内转动贯穿有转动轴，所述转动轴的一端延伸至凹槽内并固定连接有第二伞齿轮，且第二伞齿轮与第一伞齿轮相啮合，所述转动轴的另一端固定连接有锥齿轮，所述弧形限位板靠近承烧台的一侧设有弧形槽，所述弧形槽的顶部内壁固定连接有伞齿环，且锥齿轮延伸至弧形槽内并与伞齿环相啮合。
[0015]在一种可能的设计中，所述控制组件包括滑动连接在承烧台顶部的多个滑动块，所述承烧台内设有圆槽，所述承烧台的顶部设有多个与圆槽相连通的矩形孔，所述矩形孔内滑动连接有与滑动块底部固定连接的滑动杆，所述圆槽的底部内壁固定连接有转动电机，所述转动电机的输出轴固定连接有转动盘，所述转动盘内设有多个弧形孔，且滑动杆的底端延伸至弧形孔内并与弧形孔滑动连接，所述滑动块的顶部固定连接有承烧板，所述承烧板内设有多个通孔，转动轴的一端贯穿其中一个滑动杆，所述圆槽的底部固定连接有保护转动电机的隔温罩。
[0016]在一种可能的设计中，所述承烧台的底部设有六角槽，圆盘的顶部固定连接有与六角槽相配合的六角凸块，在圆盘上移时，六角凸块卡入六角槽中，进而后期圆盘转动时，六角凸块与六角槽的配合能够带动承烧台进行转动，使得胚体在烧结炉中受热均匀。
[0017]在一种可能的设计中，所述传动腔内转动连接有连杆，所述烧结炉的底部内壁滑动贯穿有延伸至传动腔内的第二滑杆，且第二滑杆的底端与连杆的一端顶部相碰触，第二滑杆的顶端与门板的底部相碰触，所述滑套的外壁转动套设有圆环，且连杆远离第二滑杆的一端与圆环转动连接，门板下移推动第二滑杆下移，第二滑杆推动连杆顺时针转动，连杆能够与圆环配合推动滑套和圆盘上移，不但能够使六角凸块卡入六角槽中方便带动承烧台转动，同样能够推动承烧台上移，进而在承烧台转动时能够使承烧台转动的更加平稳，防止承烧台转动过程中出现晃动，导致胚体受热不均匀，致使胚体外形不可控。
[0018]在一种可能的设计中，所述烧结炉的顶部内壁设有第一放置槽，所述烧结炉的一侧内壁设有第二放置槽，所述第一放置槽的顶部内壁固定连接有第一高温窑炉摄像仪，所述第二放置槽远离承烧台的一侧内壁固定连接有第二高温窑炉摄像仪，所述第一放置槽和第二放置槽内均设有用于保护第一高温窑炉摄像仪和第二高温窑炉摄像仪的隔温玻璃。
[0019]在一种可能的设计中，所述承烧台靠近门板的一侧设有横杆，所述门板靠近承烧台的一侧固定连接有弧形挡板，当门板下移复位后，弧形限位板与弧形挡板配合能够对承烧台进行限位，方便六角凸块与六角槽的对齐，在胚体烧结结束后，通过带勾推杆勾住横杆，将承烧台拉至烧结炉的外侧，避免人工将承烧台拉出时，导致工作人员烫伤。
[0020]在一种可能的设计中，所述烧结炉的一侧固定连接有冷风扇和放置台，且冷风扇位于放置台的上方，所述放置台内转动连接有放置盘，通过带勾推杆勾住横杆，将承烧台拉至放置盘上，将放置好的待烧结的胚体放置在放置盘的一侧，转动放置盘，将烧结完成与待烧结的胚体位置互换，将待烧结的胚体重新推入烧结炉中进行烧结，烧结完成的胚体再次转动至冷风扇的下方，启动冷风扇对胚体进行冷却，加速胚体冷却时间，方便将胚体进行搬运。
[0021]所述一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置的使用方法，包括以下步骤：
[0022]S1、将ITO靶材胚体放置在多个承烧板的顶部，胚体位于多个承烧板的中心位置，向上拉动门板，门板带动弧形挡板上移，通过带勾推杆将承烧台推入烧结炉中，直至承烧台与弧形限位板相碰触，而锥齿轮能够延伸至弧形槽内，将门板向下推动；
[0023]S2、门板下移封闭烧结炉，门板的底部推动第二滑杆下移，第二滑杆带动连杆顺时针转动，连杆与圆环配合带动滑套、圆盘和六角凸块上移，六角凸块延伸至六角槽中，且滑套继续上移，圆盘带动承烧台向上移动一定距离，承烧台带动锥齿轮上移，锥齿轮刚好与伞齿环相啮合，万向轮与烧结炉的底部内壁脱离碰触，此时门板下移到底部，而弧形挡板刚好与弧形限位板配合能够对承烧台起到限位作用；
[0024]S3、烧结炉开始对承烧板上方的胚体进行烧结，启动驱动电机驱动第一滑杆转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，包括：烧结炉(1)，以及位于烧结炉(1)内的承烧台(3)，所述烧结炉(1)内滑动连接有门板(5)，所述烧结炉(1)远离门板(5)的一侧内壁固定连接有弧形限位板(2)，所述承烧台(3)的底部设有多个万向轮(4)；转动组件，设置在烧结炉(1)内，用于使承烧台(3)平稳的在烧结炉(1)内转动，使胚体受热均匀；吹风组件，设置在承烧台(3)内，用于使胚体底部与胚体上部受热均匀；控制组件，设置在承烧台(3)的顶部，用于控制胚体底部的收缩率。2.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述转动组件包括设置在烧结炉(1)内的传动腔(6)，所述传动腔(6)的底部内壁固定连接有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出轴固定连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)的外壁滑动连接有滑套(9)，且滑套(9)的顶端滑动贯穿烧结炉(1)的底部内壁并固定连接有圆盘(10)，且圆盘(10)的顶部与承烧台(3)的底部相碰触。3.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述吹风组件包括设置在承烧台(3)顶部的凹槽(23)，所述凹槽(23)的底部内壁转动连接有转轴(24)，所述转轴(24)的外壁固定连接有多个扇叶(32)，所述转轴(24)的外壁固定套设有位于扇叶(32)下方的第一伞齿轮(25)，所述承烧台(3)内转动贯穿有转动轴(26)，所述转动轴(26)的一端延伸至凹槽(23)内并固定连接有第二伞齿轮(27)，且第二伞齿轮(27)与第一伞齿轮(25)相啮合，所述转动轴(26)的另一端固定连接有锥齿轮(28)，所述弧形限位板(2)靠近承烧台(3)的一侧设有弧形槽(29)，所述弧形槽(29)的顶部内壁固定连接有伞齿环(30)，且锥齿轮(28)延伸至弧形槽(29)内并与伞齿环(30)相啮合。4.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述控制组件包括滑动连接在承烧台(3)顶部的多个滑动块(16)，所述承烧台(3)内设有圆槽(19)，所述承烧台(3)的顶部设有多个与圆槽(19)相连通的矩形孔(44)，所述矩形孔(44)内滑动连接有与滑动块(16)底部固定连接的滑动杆(18)，所述圆槽(19)的底部内壁固定连接有转动电机(20)，所述转动电机(20)的输出轴固定连接有转动盘(21)，所述转动盘(21)内设有多个弧形孔(22)，且滑动杆(18)的底端延伸至弧形孔(22)内并与弧形孔(22)滑动连接，所述滑动块(16)的顶部固定连接有承烧板(17)，所述承烧板(17)内设有多个通孔(38)，转动轴(26)的一端贯穿其中一个滑动杆(18)，所述圆槽(19)的底部固定连接有保护转动电机(20)的隔温罩(31)。5.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述承烧台(3)的底部设有六角槽(12)，圆盘(10)的顶部固定连接有与六角槽(12)相配合的六角凸块(11)。6.根据权利要求2所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述传动腔(6)内转动连接有连杆(14)，所述烧结炉(1)的底部内壁滑动贯穿有延伸至传动腔(6)内的第二滑杆(15)，且第二滑杆(15)的底端与连杆(14)的一端顶部相碰触，第二滑杆(15)的顶端与门板(5)的底部相碰触，所述滑套(9)的外壁转动套设有圆环(13)，且连杆(14)远离第二滑杆(15)的一端与圆环(13)转动连接。7.根据权利要求1所述的一种避免浪费ITO靶材的尺寸控制装置，其特征在于，所述烧
结炉(1)的顶部内壁设有第一放置槽(33)，所述烧结炉(1)的一侧内壁设有第二放置槽(34)，所述第一放置槽(33)的顶部内壁固定连接有第一高温窑炉摄像仪(35)，所述第二放置槽(34)远离承烧台(3)的一侧内壁固定连接有第二高温窑炉摄像仪(36)，所述第一放置槽(33)和第二放...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智勇，唐安泰，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：