光扫描设备和测距装置制造方法及图纸

光扫描设备(2)构成为具有：光模式转换器(5)，其伴随着从光源(1)输出的光的波长或从光源(1)输出的光的相位的变化，对光的放射方向进行变更；以及致动器(7)，其使光模式转换器(5)绕2个垂直的轴分别旋转。(5)绕2个垂直的轴分别旋转。(5)绕2个垂直的轴分别旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描设备和测距装置


[0001]本专利技术涉及光扫描设备和具有光扫描设备的测距装置，该光扫描设备用于使在朝向测距对象物放射光后被测距对象物反射来的光反射。

技术介绍

[0002]在测距装置中，存在具有光扫描设备的测距装置，该光扫描设备用于使朝向测距对象物放射光后、被测距对象物反射来的光反射。
[0003]在以下的专利文献1中公开了能够用作该光扫描设备的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)扫描仪。
[0004]该MEMS扫描仪具有反射镜，该反射镜用于在使从光源输出的光朝向测距对象物反射后，使被测距对象物反射来的光朝向受光器反射。此外，该MEMS扫描仪具有致动器，该致动器使该反射镜绕第1轴旋转，并使该反射镜绕第2轴旋转。
[0005]在从光源朝向该反射镜输出光时，如果该致动器例如如下所述使该反射镜绕2个轴旋转，则能够对测距对象物进行光扫描。
[0006]首先，致动器使绕第1轴的旋转角度θx从θx1变化到θx2，然后使绕第2轴的旋转角度θy变化Δθ(以下称为“第1旋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描设备，其具有：光模式转换器，其伴随着从光源输出的光的波长或从所述光源输出的光的相位的变化，对所述光的放射方向进行变更；以及致动器，其使所述光模式转换器绕2个垂直的轴分别旋转。2.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，所述光模式转换器通过所述致动器而旋转，由此，来自所述光模式转换器的光的放射方向绕第1轴旋转，所述第1轴是所述致动器的2个旋转轴中的任意旋转轴。3.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，使用多个所述光模式转换器，各个光模式转换器被配置成相互不同的朝向。4.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，使用多个所述光模式转换器，从所述光源向各个光模式转换器输出波长相互不同的光或相位相互不同的光。5.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：白尾瑞基，正田史生，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：