图案形成用基板、电光学装置及它们的制造方法制造方法及图纸

提供提高干燥液滴后形成的图案形状的均匀性的图案形成基板、电光学装置、图案形成基板的制造方法及电光学装置的制造方法。在发光元件形成区域（１５）的外周，形成含有红外线吸收材料（２２ａ）的光热变换层（２２），在该光热变换层（２２）中形成由空穴输送层形成材料溶液构成的液滴和由发光层层形成材料溶液构成的液滴的收容孔（２２ｈ）。然后，用红外光照射显示面（１１ｂ）的整个面，通过加热壁（２２ｗ）做媒介，利用红外线吸收材料（２２ａ）散发的热干燥该收容孔（２２ｈ）内形成的所述液滴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图案形成基板、电光学装置、图案形成基板的制造方法及电光学装置的制造方法。
技术介绍
在现有技术的具有发光元件的显示器中，作为具备有机电致发光元件(有机EL元件)的电光学装置的有机电致发光显示器(有机EL显示器)，已广为人知。有机EL元件的制造方法，通常大致按照其发光层的构成材料划分。就是说，在将低分子有机材料作为发光层的构成材料时，采用所谓“气相工艺”即蒸镀该低分子有机材料后形成其发光层。另一方面，在将高分子有机材料作为发光层的构成材料时，采用所谓“液相工艺”即将该高分子有机材料溶解到有机溶剂中，涂敷该溶液后干燥，从而形成其发光层。其中，在该液相工艺中的喷墨法，以下方面引人注目。就是说，由于喷墨法将所述溶液作为微小的液滴喷出，所以与其它的液相工艺(例如自旋涂敷等)相比，能够形成更细微的液滴(液态图案)而且，由于喷墨法只向形成该液态图案的区域(图案形成区域)喷出所述液滴，所以能够减少高分子有机材料等构成材料的使用量。可是，在这种喷墨法中，通过蒸发(干燥)液态图案的溶剂成分，形成发光层(图案)。因此，干燥条件不同后，在有机EL形成基板(图案形成基板)内的图案之间，其形状(例如各有机EL层的膜厚分布)就出现存在离差的问题。因此，在采用喷墨法形成图案的现有技术中，已有抑制这种图案之间的形状的离差的方案问世(例如专利文献1)。在专利文献1中，使采用喷墨法喷出液滴后直到加热干燥该喷出的液滴为止的时间，成为一定。这样，能够使各液滴的干燥时间相同，能够抑制图案形状的离差。专利文献1特开平9-105938号公报可是，即使使干燥时间相同，也由于从液态图案蒸发的溶剂成分在该液态图案的密集的部位即图案形成基板的中央部较多，所以还会出现以下问题。即图案形成基板的中央部的溶剂分压，比该基板外周部的溶剂分压大。其结果，由于图案形成基板的中央部的干燥速度，比该基板外周部的干燥速度小，所以在图案形成基板内的图案之间，仍旧出现其形状存在离差的问题。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述问题而研制的，其目的在于提供一种提高干燥液滴后形成的图案形状的均匀性的图案形成基板、电光学装置、图案形成基板的制造方法及电光学装置的制造方法。本专利技术的图案形成基板，在具有将含有图案形成材料的液滴干燥后形成的多个图案的图案形成基板中，在与各图案对应形成的图案形成区域的外周，具备将红外光变换成热的光热变换部。采用本专利技术的图案形成基板后，由于在各图案形成区域的外周形成光热变换部，所以能够在图案形成区域密集的部位使光热变换部密集。这样，形成光热变换部后，就能够使各液滴的干燥条件均匀，提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述光热变换部，包含红外线吸收色素。采用这种图案形成基板后，能够利用被光热变换部包含的红外线吸收色素变换的热，使各液滴的干燥条件均匀，能够提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述光热变换部，具备在图案形成区域中收容所述液滴的隔壁。采用这种图案形成基板后，由于利用光热变换部的隔壁收容液滴，所以能够利用光热变换部干燥液滴，直到收容的液滴中的图案形成材料形成图案为止。因此能够使各液滴的干燥条件更加均匀，能够进一步提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述图案形成材料，是发光元件形成材料；所述图案，是发光元件。采用这种图案形成基板后，能够使发光元件形成材料的干燥条件均匀，能够提高发光元件形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述图案形成材料，是滤色器形成材料；所述图案，是滤色器。采用这种图案形成基板后，能够使滤色器形成材料的干燥条件均匀，能够提高滤色器形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述光热变换部，是在所述滤色器的外周遮光的遮光膜。采用这种图案形成基板后，由于作为遮光膜形成光热变换部，所以能够不另外形成遮光膜，能够提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板中，所述图案形成基板，是布线形成材料；所述图案，是布线图案。采用这种图案形成基板后，能够使布线形成材料的干燥条件均匀，能够提高布线图案的形状的均匀性。本专利技术的电光学装置，在具有将含有图案形成材料的液滴干燥后形成的多个发光元件的电光学装置中，在与各发光元件对应形成的发光元件形成区域的外周，具备将红外光变换成热的光热变换部。采用本专利技术的电光学装置后，由于在各发光元件形成区域的外周形成光热变换部，所以能够在图案形成区域密集的部位使光热变换部密集。这样，形成光热变换部后，就能够使各液滴的干燥条件均匀，提高发光元件的形状(例如各发光元件的膜厚分布)的均匀性。在该电光学装置中，所述光热变换部，包含红外线吸收色素。采用这种电光学装置后，能够利用被光热变换部包含的红外线吸收色素变换的热，使各液滴的干燥条件均匀，能够提高发光元件形状的均匀性。在该电光学装置中，所述光热变换部，具备在所述发光元件形成区域中收容所述液滴的隔壁。采用这种电光学装置后，由于利用光热变换部的隔壁收容液滴，所以能够利用光热变换部干燥液滴，直到收容的液滴中的发光元件形成材料形成图案为止。因此能够使各液滴的干燥条件更加均匀，能够进一步提高发光元件形状的均匀性。在该电光学装置中，所述光热变换部，是在所述发光元件的外周遮光的遮光膜。采用这种发光元件形成基板后，由于作为遮光膜形成光热变换部，所以能够不另外形成遮光膜，能够提高图案形状的均匀性。在该电光学装置中，所述发光元件，是在透明电极和背面电极之间具有发光层的电致发光元件。采用这种电光学装置后，能够提高电致发光元件的形状的均匀性。在该电光学装置中，所述发光元件，是具有由有机材料构成的所述发光层的有机电致发光元件。采用这种电光学装置后，能够提高有机电致发光元件的形状的均匀性。本专利技术的图案形成基板的制造方法，在具有将含有图案形成材料的液滴干燥后形成的多个图案的图案形成基板的制造方法中，在与各图案对应形成的图案形成区域的外周，形成将红外光变换成热的光热变换部；在所述图案形成区域内形成所述液滴后，将红外光照射所述图案形成基板，利用所述光热变换部变换的热干燥所述液滴。采用本专利技术的图案形成基板的制造方法后，在各图案形成区域的外周的光热变换部能够通过照射红外光后，将该红外光变换成为热，利用该热干燥图案形成区域的液滴。所以形成光热变换部后，就能够提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板的制造方法中，采用液滴喷出装置喷出所述液滴。采用该图案形成基板的制造方法后，由于采用液滴喷出装置喷出所述液滴，所以能够只向光热变换部内喷出液滴，能够进一步提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板的制造方法中，在所述图案形成区域内形成所述液滴后，将红外光照射所述图案形成基板。采用该图案形成基板的制造方法后，由于在各图案形成区域内形成液滴后照射红外光，所以能够使对各液滴的加热时间均匀，能够进一步提高图案形状的均匀性。在该图案形成基板的制造方法中，一面在所述图案形成区域形成液滴，一面用红外光照射所述图案形成区域的所述光热变换部。采用该图案形成基板的制造方法后，由于一面形成液滴，一面用红外光照射形成该液滴的图案形成区域的光热变换部，所以能够使各液滴的加热时间均匀，能够进一步提高图案形状的均匀性。而且，能够在结束所有的液滴的形成时结束该液滴的加热，所以能够削减加热工序的工序时间，能够提高图案形成基板的生产效率。本专利技术的电光学装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成基板，其特征在于：在具有将含有图案形成材料的液滴干燥后形成的多个图案的图案形成基板中，在与各图案对应形成的图案形成区域的外周，具备将红外光变换成热的光热变换部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：丰田直之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]