一种齿轮真空镀膜工件转架制造技术

技术编号:37138546 阅读:32 留言:0更新日期:2023-04-06 21:40
本发明专利技术公开一种齿轮真空镀膜工件转架,包括驱动盘、安装板、环形轨道和滑块,所述安装板的顶部中间固定安装有主轴,所述驱动盘安装在所述安装板的上方并与真空室固定,所述安装板的底壁上沿其周向开设有径向驱动槽;所述环形轨道固定安装在所述安装板的底部上,所述滑块滑动安装在环形轨道内,所述滑块的两侧分别固定安装有横向支撑板,所述横向支撑板的底部上转动安装有固定轴。通过设置径向驱动槽和驱动销的相互配合,改变滑块与环形轨道的相对位置,实现调整镀膜齿轮不同姿态的目的;通过设置凹槽,在对齿轮齿面进行镀膜时,滚轮移动至凹槽处时无法继续转动,使齿牙部分镀膜具有一定的静止停留时间,从而提高齿牙部分镀膜效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种齿轮真空镀膜工件转架


[0001]本专利技术涉及真空镀膜设备
具体地说是一种齿轮真空镀膜工件转架。

技术介绍

[0002]在进行真空镀膜时,样品放入真空室后,无法直接的接触工件对其姿态进行调整,需要驱动工件转架移动并带动工件进行翻转,以实现对工件的各个表面进行镀膜。
[0003]现有技术中的翻转结构,大多仅能够进行正面和反面的翻转,而对于齿轮来说,不仅仅要对其两侧面进行镀膜,并且其齿牙部分也需要镀膜,并且齿牙部分由于不是平面,相对来说镀膜难度更大,现有技术中的工件转架不能很好的适用于齿轮的镀膜。

技术实现思路

[0004]为此,本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能够适用于齿轮镀膜并提高齿轮镀膜效果的一种齿轮真空镀膜工件转架。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:一种齿轮真空镀膜工件转架,包括驱动盘、安装板、环形轨道和滑块,所述安装板的顶部中间固定安装有主轴,所述驱动盘安装在所述安装板的上方并与真空室固定,所述安装板的底壁上沿其周向开设有径向驱动槽;所述环形轨道固定安装在所述安装板的底部上,所述滑块滑动安装在环形轨道内,所述滑块的两侧分别固定安装有横向支撑板,所述横向支撑板的底部上转动安装有固定轴;所述安装板内沿其长度方向开设有安装腔,所述安装腔的顶部贯穿所述安装板的顶部,所述安装腔的一端内滑动安装有旋转驱动机构,所述安装腔另一端内固定安装有第一传动机构,所述滑块内安装有第二传动机构,所述安装腔内转动安装有驱动轴,所述驱动轴的一端可转动的安装在旋转驱动机构上,所述旋转驱动机构的动力输入端穿出安装腔并与驱动盘的底壁紧密接触,所述旋转驱动机构的动力输出端与驱动轴驱动连接,所述旋转驱动机构带动驱动轴周向旋转,所述驱动轴的另一端穿过第一传动机构并与第一传动机构周向传动连接,所述第二传动机构的动力输入端与所述第一传动机构的动力输出端传动连接,所述第二传动机构的动力输出端与固定轴传动连接;所述驱动轴靠近所述旋转驱动机构的一端上安装有径向驱动机构,所述径向驱动机构的动力输入端穿出安装腔并插入径向驱动槽内;所述径向驱动机构上安装有驱动链,所述驱动链的另一端穿出安装板的底壁并穿入环形轨道内后与滑块连接,所述径向驱动机构轴向移动时通过驱动链带动滑块在环形轨道内周向移动。
[0006]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述旋转驱动机构包括滑动支撑板和滚轮,所述滑动支撑板滑动安装在安装板的安装腔内,所述驱动轴的一端转动连接在所述滑动支撑板的侧壁面上,所述滚轮转动安装在滑动支撑板伸出安装腔位置的侧壁面上,所述滚轮的一侧上同轴固定安装有第一齿轮,所述滑动支撑板的侧壁中部上转动安装有第二齿轮,所述驱动轴上同轴固定安装有第三齿轮,所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合,所述第二齿轮与所述第三齿轮啮合,所述滚轮与驱动盘的底壁紧密接触。
[0007]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述径向驱动机构包括驱动块、驱动销和定位环,所述驱动块滑动安装在安装板的安装腔内,所述驱动轴的一端穿过驱动块并与驱动块转动连接,所述驱动块的一侧靠近所述旋转驱动机构,所述定位环固定安装在所述驱动块另一侧的驱动轴上,所述驱动轴上位于驱动块和第三齿轮之间安装有垫环,所述驱动轴上位于驱动块和定位环之间也安装有垫环,所述驱动块的顶部固定安装有驱动销,所述驱动销插入径向驱动槽内;所述驱动链的一端与驱动块的底壁铰接。
[0008]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述驱动链包括两节以上通过销轴依次铰接的链节,所述销轴的端部突出所述链节的侧壁,所述安装腔的两侧壁面上和所述环形轨道的内侧壁面上均开设有导槽,所述销轴的端部插入所述导槽内;位于所述驱动链一端端部的链节通过销轴与径向驱动机构的侧壁铰接,位于所述驱动链另一端端部的链节通过销轴与滑块铰接。
[0009]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述第一传动机构包括挡板、端面齿轮和第一传动轴,所述驱动轴的中部横截面形状为矩形,所述端面齿轮的中心孔为矩形孔,所述端面齿轮套在所述驱动轴的中部上,所述端面齿轮的两端均设置有挡板,所述挡板与所述安装腔的侧壁面固定连接,两个所述挡板的相对面上均转动安装有限位筒,所述限位筒套在所述驱动轴上,两个所述限位筒相互靠近的端部分别与端面齿轮的两端固定连接,所述第一传动轴转动安装在安装板上,所述第一传动轴的第一端穿入所述安装腔并安装有传动齿轮,所述第一传动轴第一端的传动齿轮与端面齿轮啮合,所述第一传动轴的第二端穿入所述环形轨道内并且也安装有传动齿轮,所述第一传动轴第二端的传动齿轮与第二传动机构传动连接。
[0010]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述第二传动机构包括齿环和第二传动轴,所述齿环同轴转动安装在所述环形轨道内,所述齿环的两侧壁面上均设置有齿牙,所述第二传动轴转动安装在滑块内,所述第二传动轴的一端上安装有齿轮并与齿环的一侧啮合,所述第一传动轴第二端的传动齿轮与齿环的另一侧啮合,所述横向支撑板内开设有通槽,所述通槽内设置有传动链,所述固定轴和所述第二传动轴通过传动链传动连接。
[0011]上述一种齿轮真空镀膜工件转架,所述径向驱动槽包括与驱动盘同心设置且位于不同方向的第一弧形槽、第二弧形槽和第三弧形槽,所述第一弧形槽、第二弧形槽和第三弧形槽至驱动盘圆心的径向距离逐渐缩小,所述第一弧形槽和第二弧形槽之间通过第一连接槽连接,所述第二弧形槽和第三弧形槽之间通过第二连接槽连接,所述第三弧形槽和第一弧形槽之间通过第三连接槽连接,所述驱动盘上位于所述第二弧形槽的外侧上间隔开设有两个以上的凹槽,所述凹槽沿所述驱动盘的径向设置。
[0012]本专利技术的技术方案取得了如下有益的技术效果:
[0013]1、本专利技术,通过设置径向驱动槽和驱动销的相互配合,使驱动轴轴向位移,改变滑块与环形轨道的相对位置,实现调整镀膜齿轮不同姿态的目的,进行两个侧面和齿面的镀膜;通过设置凹槽,在对齿轮齿面进行镀膜时,滚轮移动至凹槽处时无法继续转动,使得镀膜齿轮间歇停转,使齿牙部分镀膜具有一定的静止停留时间,从而提高齿牙部分镀膜效果。
[0014]2、本专利技术,通过设置第一传动机构、第二传动机构,能够将滚轮传递至驱动轴的旋转动力传递至镀膜齿轮上,使其在不同的姿态下均能够保持自转,以提高镀膜均匀性。
[0015]3、本专利技术,通过设置安装板和旋转驱动机构,不仅使得镀膜齿轮能够自转,还能够
使其沿主轴进行公转,从而有效提高镀膜的均匀性。
附图说明
[0016]图1本专利技术的整体剖面结构示意图;
[0017]图2本专利技术的立体结构示意图;
[0018]图3本专利技术的局部剖面结构示意图;
[0019]图4本专利技术旋转驱动机构的立体结构示意图;
[0020]图5本专利技术驱动链的剖面结构示意图;
[0021]图6本专利技术第一传动机构的局部结构示意图;
[0022]图7本专利技术环形轨道的横截面结构示意图;
[0023]图8本专利技术径向驱动槽的结构示意图。
[0024]图中附图标记表示为:1

驱动盘;2本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种齿轮真空镀膜工件转架,其特征在于,包括驱动盘(1)、安装板(2)、环形轨道(7)和滑块(8),所述安装板(2)的顶部中间固定安装有主轴(14),所述驱动盘(1)安装在所述安装板(2)的上方并与真空室固定,所述安装板(2)的底壁上沿其周向开设有径向驱动槽(13);所述环形轨道(7)固定安装在所述安装板(2)的底部上,所述滑块(8)滑动安装在环形轨道(7)内,所述滑块(8)的两侧分别固定安装有横向支撑板(10),所述横向支撑板(10)的底部上转动安装有固定轴(11);所述安装板(2)内沿其长度方向开设有安装腔(21),所述安装腔(21)的顶部贯穿所述安装板(2)的顶部,所述安装腔(21)的一端内滑动安装有旋转驱动机构(3),所述安装腔(21)另一端内固定安装有第一传动机构(6),所述滑块(8)内安装有第二传动机构(9),所述安装腔(21)内转动安装有驱动轴(5),所述驱动轴(5)的一端可转动的安装在旋转驱动机构(3)上,所述旋转驱动机构(3)的动力输入端穿出安装腔(21)并与驱动盘(1)的底壁紧密接触,所述旋转驱动机构(3)的动力输出端与驱动轴(5)驱动连接,所述旋转驱动机构(3)带动驱动轴(5)周向旋转,所述驱动轴(5)的另一端穿过第一传动机构(6)并与第一传动机构(6)周向传动连接,所述第二传动机构(9)的动力输入端与所述第一传动机构(6)的动力输出端传动连接,所述第二传动机构(9)的动力输出端与固定轴(11)传动连接;所述驱动轴(5)靠近所述旋转驱动机构(3)的一端上安装有径向驱动机构(4),所述径向驱动机构(4)的动力输入端穿出安装腔(21)并插入径向驱动槽(13)内;所述径向驱动机构(4)上安装有驱动链(12),所述驱动链(12)的另一端穿出安装板(2)的底壁并穿入环形轨道(7)内后与滑块(8)连接,所述径向驱动机构(4)轴向移动时通过驱动链(12)带动滑块(8)在环形轨道(7)内周向移动。2.根据权利要求1所述的一种齿轮真空镀膜工件转架,其特征在于,所述旋转驱动机构(3)包括滑动支撑板(301)和滚轮(302),所述滑动支撑板(301)滑动安装在安装板(2)的安装腔(21)内,所述驱动轴(5)的一端转动连接在所述滑动支撑板(301)的侧壁面上,所述滚轮(302)转动安装在滑动支撑板(301)伸出安装腔(21)位置的侧壁面上,所述滚轮(302)的一侧上同轴固定安装有第一齿轮(303),所述滑动支撑板(301)的侧壁中部上转动安装有第二齿轮(304),所述驱动轴(5)上同轴固定安装有第三齿轮(305),所述第一齿轮(303)与所述第二齿轮(304)啮合,所述第二齿轮(304)与所述第三齿轮(305)啮合,所述滚轮(302)与驱动盘(1)的底壁紧密接触。3.根据权利要求1所述的一种齿轮真空镀膜工件转架,其特征在于,所述径向驱动机构(4)包括驱动块(401)、驱动销(402)和定位环(403),所述驱动块(401)滑动安装在安装板(2)的安装腔(21)内,所述驱动轴(5)的一端穿过驱动块(401)并与驱动块(401)转动连接,所述驱动块(401)的一侧靠近所述旋转驱动机构(3),所述定位环(403)固定安装在所述驱动块(401)另一侧的驱动轴(5)上,所述驱动轴(5)上位于驱动块(401)和第三齿轮(305)之间安装有垫环(404),所述驱动轴(5)上位于驱动块(401)和定位环(4...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾瑞灵翟熙伟张华金志刚李志国
申请(专利权)人:中山职业技术学院
类型:发明
国别省市:

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