片粘贴装置及片粘贴方法制造方法及图纸

以粘接片可靠保护被粘物外缘端面和与该外缘端面相邻的其他面的外缘端面侧的片粘贴装置及方法。具备：供给单元(10)，供给可利用规定的能量变形的粘接片AS；按压单元(20)，将由供给单元供给的粘接片按压于被粘物WK的外缘端面WKE；移动单元(30)，使按压单元与被粘物相对移动，将粘接片粘贴于外缘端面WKE。按压单元将该粘接片按压于外缘端面WKE，使沿粘接片供给方向的一外缘AS1侧及另一外缘AS2侧至少一方形成从外缘端面WKE伸出的伸出区域ASH。具备折弯粘贴单元(40)，向伸出区域ASH施加热使其变形，将伸出区域ASH向与外缘端面WKE相邻的其他面WK1、WK2方向折弯粘贴。WK2方向折弯粘贴。WK2方向折弯粘贴。

【技术实现步骤摘要】
片粘贴装置及片粘贴方法


[0001]本专利技术涉及片粘贴装置及片粘贴方法。

技术介绍

[0002]已知将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2012
‑
84578号公报

技术实现思路

(一)要解决的技术问题
[0004]对于专利文献1所述的片粘贴装置1(片粘贴装置)而言，即使在晶圆W(被粘物)一面的外缘部粘贴了双面粘接带S(粘接片)，也无法在该被粘物的外缘端面粘贴粘接片。因此，例如在将被粘物浸渍于液体中或暴露于气体中来实施规定的处理时，会发生液体或气体等的异物附着于被粘物的外缘端面的不良情况。
[0005]本专利技术的目的在于，提供一种片粘贴装置及片粘贴方法，能够利用粘接片可靠地保护被粘物的外缘端面和与该外缘端面相邻的其他面的外缘端面侧。(二)技术方案
[0006]本专利技术采用权利要求所述的结构。(三)有益效果
[0007]根据本专利技术，由于向伸出区域施加规定的能量而使该粘接片变形，并将该伸出区域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片粘贴装置，具备：供给单元，其供给可利用规定的能量变形的粘接片；按压单元，其将由所述供给单元供给的所述粘接片按压于被粘物的外缘端面；以及移动单元，其使所述按压单元与所述被粘物相对移动，将所述粘接片粘贴于所述外缘端面，所述按压单元将该粘接片按压于所述外缘端面，使得沿着所述粘接片的供给方向的一外缘侧及另一外缘侧至少一方形成从所述外缘端面伸出的伸出区域，其特征在于，还具备折弯粘贴单元，该折弯粘贴单元向所述伸出区域施加所述规定的能量使其变形，并将该伸出区域向与所述外缘端面相邻的其他面的方向折弯并粘贴。2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，具备将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：上道厚史，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：