一种双轴扫描微镜的测试设备及测试方法技术

本申请提出一种双轴扫描微镜的测试设备及测试方法。该测试设备包括：底板；机架，固定于底板；信号输入模组，其配置于机架上，该信号输入模组包括：测角仪滑台；探针座模组，其固定于测角仪滑台，底部有凸台，凸台上安装有探针；此外还包括光源模组，其固定于机架顶部；半透半反镜，其固定于机架；透射屏，其固定于机架；定位相机，其固定于机架顶部；送料模组，其固定于底板；测试相机，其固定于底板。在微镜封装之前测试，设备自动将测试探针与微镜引脚接触，使微镜发生摆动，并使用激光反射投射出图案，以测量微镜摆动角度的大小，避免因参数问题浪费封装成本，激光投射图案由计算机自动识别并判断良率，测试效率高。测试效率高。测试效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种双轴扫描微镜的测试设备及测试方法


[0001]本申请涉及激光扫描显示
，尤其涉及一种双轴扫描微镜的测试设备及测试方法。

技术介绍

[0002]激光扫描显示技术利用激光聚光性好的特点，通过扫描器件(例如振镜，多面体转镜等)动态地改变激光束的方向，使其在投影屏幕上扫描形成画面，这种技术不需要复杂的光学元件，结构简单，光的利用效率高，此外激光具有很好的单色性、方向性，使用激光三基色作为显示光源所表示的颜色，包含了人眼所能分辨颜色的90％，用激光显示色彩丰富、饱和度高、对比度强、与各种视频信号都有好的匹配性。在当前众多形式不同的显示技术中，激光扫描显示技术代表着显示技术未来发展的趋势和主流方向，是未来显示领域竞争的焦点。微镜作为激光扫描显示器中的扫描器件，是显示器中最核心的元件之一，其良率将很大程度影响显示器的显示效果。现有的微镜测试设备大多都是将微镜与mems(微机电系统)封装后在实际应用中测试，并且测试模组自动化程度低，效率低下。

技术实现思路

[0003]为解决上述提到的技术问题，本申请提出一种双轴扫描微镜的测试设备及测试方法。该测试设备在微镜封装之前测试，设备自动将测试探针与微镜引脚接触，使微镜发生摆动，并使用激光反射投射出图案，以测量微镜摆动角度的大小，避免因参数问题浪费封装成本，激光投射图案由计算机自动识别并判断良率，安全可靠，测试效率高。
[0004]为了达到以上目的，本申请采用如下技术方案：
[0005]一种双轴扫描微镜的测试设备，包括：
[0006]底板；<br/>[0007]机架，其机架固定于底板；
[0008]信号输入模组，其配置于机架上，信号输入模组包括：
[0009]测角仪滑台，测角仪滑台配置于信号输入模组；及
[0010]探针座模组，探针座模组固定连接于测角仪滑台，探针座模组底部有凸台，凸台上安装有探针；
[0011]光源模组，其固定于机架顶部，用于给微镜提供标准光源；
[0012]半透半反镜，固定于机架，用于在测试时将微镜的反射光线反射至透射屏面；
[0013]透射屏，固定于机架，用于接收激光投射的画面；
[0014]定位相机，其固定于机架，用于拍摄待测微镜的相对位置，以找出微镜的中心；
[0015]送料模组，固定于底板，用于将微镜移动至测试位置；及
[0016]测试相机，固定于底板，测试相机正对透射屏安装，用于拍摄测试微镜的反射光线在透射屏上组成的图像，并将画面传送到处理模块中，处理模块根据投射矩形的边长计算微镜的扫描角度。
[0017]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，信号输入模组还包括：
[0018]压力传感器，其固定于测角仪滑台，且活动连接于探针座模组。
[0019]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，信号输入模组还包括：
[0020]防翘曲凸台，防翘曲凸台设置于探针座模组底部与凸台相对配置。
[0021]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，探针座模组中部有通孔，用于测试时通过微镜的反射光线。
[0022]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，信号输入模组还包括：高度调节装置，高度调节装置固定连接于机架。
[0023]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，送料模组上配置有载物台，载物台上配置有复数微镜。
[0024]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试设备，
[0025]光源模组发出单束激光，该激光射向微镜中心。
[0026]本申请还提出一种双轴扫描微镜的测试方法，包括如下步骤：
[0027]S1：基于送料模组将待测的微镜通过送料模组移动至测试位置，并利用定位拍摄微镜的相对位置，在视野中找出微镜的中心和旋转角度；
[0028]S2：基于送料模组将微镜移动至探针座模组的下方，
[0029]探针座模组根据步骤S1中的角度α1调节测角仪滑台，
[0030]再由高度调节装置调节探针座模组的高度使得探针座模组的探针与引脚接触；将整个探针座模组下移直到压力传感器反馈确认探针与引脚接触；
[0031]S3：通过探针向微镜输入测试信号，启动光源模组，光源模组发出的光通过半透半反镜反射至透射屏上，基于测试相机拍摄透射屏上的扫描图像，并反馈至数据处理模块，
[0032]数据处理模块基于反馈的图像信息经处理得到扫描图像外接矩形的边长，根据矩形的长和宽分别计算出微镜的快轴和慢轴的光学偏转角度，并以此判断是否为良品。
[0033]优选的，作为一种实施方式的双轴扫描微镜的测试方法，在步骤S3之后还包括：
[0034]S4：送料模组移动预设的距离以每个微镜中心的间隔距离移动，以测将下一个待测试微镜，重复步骤S1至S3，直至完成测试(当重复次数为N时即完成测试，其中N为送料模组上微镜的数量减1)。
[0035]优选的，上述实施方式的双轴扫描微镜的测试方法，探针座模组包括压力传感器，基于压力传感器反馈的信息确认探针与引脚接触。
[0036]有益效果
[0037]与现有技术相比，本申请提出的一种双轴扫描微镜的测试设备，在微镜封装之前测试，设备自动将测试探针与微镜引脚接触，使微镜发生摆动，并使用激光反射投射出图案，以测量微镜摆动角度的大小，避免因参数问题浪费封装成本，激光投射图案由计算机自动识别并判断良率，此外还设置压力传感器保护微镜不会在测试过程中损坏，测试过程自动化程度高，安全可靠，测试效率高。
附图说明
[0038]图1为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备的立体结构示意图；
[0039]图2为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备侧视立体结构示意图；
[0040]图3为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备后视立体结构示意图；
[0041]图4为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备的信号输入模组上下二等角轴测的结构示意图；
[0042]图5为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备的信号输入模组仰视的上下二等角轴测的结构示意图；
[0043]图6为本申请实施例装置双轴扫描微镜的测试设备的信号输入模组A区的结构放大示意图；
[0044]图7为本申请实施例装置双轴扫描微镜测试设备的测试对象双轴扫描微镜结构示意图；
[0045]图8为本申请实施例装置双轴扫描微镜测试设备的定位相机视角下的双轴扫描微镜示意图；
[0046]图9为本申请实施例装置双轴扫描微镜测试设备的光路原理图；
[0047]图10为本申请实施例双轴扫描微镜的测试方法的流程示意图；
[0048]图11为本申请实施例双轴扫描微镜光学偏转角计算的示意图。
具体实施方式
[0049]以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本申请而不限于限制本申请的范围。实施例中采用的实施条件可以如具体厂家的条件做本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双轴扫描微镜的测试设备，其特征在于，包括：底板；机架，其所述机架固定于所述底板；信号输入模组，其配置于机架上，所述信号输入模组包括：测角仪滑台，所述测角仪滑台配置于所述信号输入模组；及探针座模组，所述探针座模组固定连接于所述测角仪滑台，所述探针座模组底部有凸台，所述凸台上安装有探针；光源模组，其固定于所述机架顶部，用于给微镜提供标准光源；半透半反镜，固定于所述机架，用于在测试时将微镜的反射光线反射至透射屏面；透射屏，固定于所述机架，用于接收激光投射的画面；定位相机，其固定于所述机架，用于拍摄待测微镜的相对位置，以找出微镜的中心；送料模组，固定于所述底板，用于将微镜移动至测试位置；及测试相机，固定于所述底板，所述测试相机正对透射屏安装，用于拍摄测试微镜的反射光线在透射屏上组成的图像，并将画面传送到处理模块中，所述处理模块根据投射矩形的边长计算微镜的扫描角度。2.如权利要求1所述的双轴扫描微镜的测试设备，其特征在于，所述信号输入模组还包括：压力传感器，其固定于所述测角仪滑台，且活动连接于所述探针座模组。3.如权利要求1所述的双轴扫描微镜的测试设备，其特征在于，所述信号输入模组还包括：防翘曲凸台，所述防翘曲凸台设置于所述探针座模组底部与所述凸台相对配置。4.如权利要求1所述的双轴扫描微镜的测试设备，其特征在于，所述探针座模组中部有通孔，用于测试时通过微镜的反射光线。5.如权利要求1所述的双轴扫描微镜的测试设备，其特征在于，信号输入模组还包括：高度调节装置，所述高度调节装置固...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨天民，李小光，陈羽，司继成，
申请(专利权)人：苏州龙马璞芯芯片科技有限公司，
类型：发明
国别省市：