片粘贴装置及片粘贴方法制造方法及图纸

以粘接片可靠保护被粘物外缘端面及与该外缘端面相邻的其他面的外缘端面侧的片粘贴装置及方法。具备：供给单元(10)，供给可弹性变形的粘接片AS；按压单元(20)，将由供给单元供给的粘接片按压于被粘物WK的外缘端面WKE；移动单元(30)，使按压单元与被粘物相对移动，将粘接片粘贴于外缘端面WKE。按压单元将该粘接片按压于外缘端面WKE，使沿粘接片供给方向的一外缘AS1侧及另一外缘AS2侧至少一方形成从外缘端面WKE伸出的伸出区域ASH。具备折弯粘贴单元(40)，对位于供给单元与按压单元间的粘接片施加沿该粘接片供给方向的张力，将伸出区域ASH向与外缘端面WKE相邻的其他面WK1、WK2方向折弯粘贴。折弯粘贴。折弯粘贴。

【技术实现步骤摘要】
片粘贴装置及片粘贴方法


[0001]本专利技术涉及片粘贴装置及片粘贴方法。

技术介绍

[0002]已知将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2012
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84578号公报

技术实现思路

(一)要解决的技术问题
[0004]对于专利文献1所述的片粘贴装置1(片粘贴装置)而言，即使在晶圆W(被粘物)一面的外缘部粘贴了双面粘接带S(粘接片)，也无法在该被粘物的外缘端面粘贴粘接片。因此，例如在将被粘物浸渍于液体中或暴露于气体中来实施规定的处理时，会发生液体或气体等的异物附着于被粘物的外缘端面的不良情况。
[0005]本专利技术的目的在于，提供一种片粘贴装置及片粘贴方法，能够利用粘接片可靠地保护被粘物的外缘端面及与该外缘端面相邻的其他面的外缘端面侧。(二)技术方案
[0006]本专利技术采用权利要求所述的结构。(三)有益效果
[0007]根据本专利技术，由于将粘贴于外缘端面的粘接片的伸出区域向与该外缘端面相邻的另一面方向折弯并粘贴，因此能够利用粘接片可靠地保护被粘物的外缘端面和与该外缘端面相邻的另一面的外缘端面侧。
附图说明
[0008]图1是本专利技术一实施方式的片粘贴装置的说明图以及该装置的动作说明图。附图标记说明EA
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片粘贴装置；10
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供给单元；20
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按压单元；30
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移动单元；40r/>‑
折弯粘贴单元；50
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伸出区域按压单元；60
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能量赋予单元；AS
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粘接片；AS1
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一外缘；AS2
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另一外缘；ASH
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伸出区域；SD
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供给方向；WK
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被粘物；WK1
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一面(其他面)；WK2
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另一面(其他面)；WKE
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外缘端面。
具体实施方式
[0009]以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系，X轴及Y轴设定为规定平面内的轴，Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。而且，在本实施方式中，以从与Y轴平行的、图1中的下方观察的情况为基准，当不指定图来表示方向时，“上”是Z轴的箭头方向且“下”是
其相反方向，“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向，“前”是平行于Y轴的、图1中近前方向且“后”是其相反方向。
[0010]本专利技术的片粘贴装置EA具备：供给单元10，其实施供给可弹性变形的粘接片AS的供给工序；按压单元20，其实施将由供给单元10供给的粘接片AS按压于被粘物WK的外缘端面WKE的按压工序；移动单元30，其实施使按压单元20与被粘物WK相对移动，将粘接片AS粘贴于外缘端面WKE的移动工序；折弯粘贴单元40，其实施折弯粘贴工序：对位于供给单元10与按压单元20之间CL的粘接片AS施加沿着该粘接片AS的供给方向SD的方向的张力，从而将伸出区域ASH向作为与外缘端面WKE相邻的其他面的一面WK1和另一面WK2的方向折弯并粘贴；伸出区域按压单元50，其实施将伸出区域ASH向一面WK1和另一面WK2双方按压的伸出区域按压工序。此外，在本实施方式中，采用以基准位置WKR为中心的圆形形状的被粘物WK。
[0011]供给单元10具备：支撑部件11，其直接或间接地对构成该供给单元10的各部件进行支撑；支撑辊12，其对粘接片AS临时粘接于带状的剥离片RL的原材料RS进行支撑；引导原材料RS的引导辊13；剥离板14，其作为剥离单元，使剥离片RL在剥离缘14A折回，从该剥离片RL剥离粘接片AS；驱动辊15，其支撑于作为驱动设备的转动马达15A的未图示的输出轴，与夹送辊15B夹持剥离片RL；回收辊16，其作为回收单元，支撑于未图示的驱动设备的输出轴，在片粘贴装置EA进行自动运转的期间，始终对回收辊16与夹送辊15B之间存在的剥离片RL施加规定的张力，并回收该剥离片RL；长度调整单元17，其作为切断单元，对粘接片AS进行切断。长度调整单元17具备：作为驱动设备的气缸17A、和切刀17C，切刀17C支撑于气缸17A的输出轴17B。
[0012]按压单元20具备按压辊21，该按压辊21可自由旋转地支撑于未图示的托架。按压单元20能够将粘接片AS按压于外缘端面WKE，使得沿着粘接片AS的供给方向SD的一外缘AS1侧及另一外缘AS2侧双方形成从外缘端面WKE伸出的伸出区域ASH。
[0013]移动单元30具备：线性马达31，其作为驱动设备；转动马达32，其作为驱动设备，支撑于线性马达31的滑块31A；支撑台33，其支撑于转动马达32的输出轴32A，具有能够通过减压泵、真空抽气机等未图示的减压单元(保持单元)进行吸附保持的支撑面33A；以及上按压单元34，其从上方将被粘物WK按压于该支撑台33。此外，支撑台33构成为通过转动马达32以台中心33R为中心进行旋转。上按压单元34具备：直动马达34A，其作为驱动设备；以及上按压板34C，其支撑于直动马达34A的输出轴34B，能够追随支撑台33的移动而旋转。另外，上按压板34C以上按压板中心34R为中心进行旋转。
[0014]折弯粘贴单元40具备：转动马达41，其作为能够进行转矩控制的驱动设备；以及驱动辊42，其支撑于未图示的输出轴，与夹送辊43夹持原材料RS。
[0015]伸出区域按压单元50具备第一、第二、第三按压辊51、52、53，第一、第二、第三按压辊51、52、53可自由旋转地支撑于未图示的托架。在本实施方式中，如图1的(E)～(G)所示，第一、第二、第三按压辊51、52、53分别配置有上下一对，当这些第一、第二、第三按压辊51、52、53将被粘物WK夹持时，成为沿着该被粘物WK的外缘配置第一、第二、第三按压辊51、52、53的状态。另外，第一、第二、第三按压辊51、52、53例如能够以相对于Z轴分别向30度、60度、
90度基准位置WKR方向倾斜的未图示的旋转轴为中心进行旋转。
[0016]对以上的片粘贴装置EA的动作进行说明。首先，对于在如图1的(A)中实线所示的初始位置配置各部件的片粘贴装置EA而言，该片粘贴装置EA的使用者(以下简称为“使用者”)如图示那样设置原材料RS，之后经由操作面板、个人计算机等未图示的操作单元输入开始自动运转的信号。于是，供给单元10使转动马达15A驱动，送出原材料RS，如图1的(A)中实线所示那样，当粘接片AS的供给方向前端部在剥离板14的剥离缘14A剥离了规定长度时，停止转动马达15A的驱动。
[0017]接着，如图1的(A)所示，当使用者或多关节机器人、带式输送机等未图示的输送单元以使得基准位置WKR与台中心33R重叠的方式将被粘物WK载置于支撑面33A上时，移动单元30使未图示的减压单元驱动，开始进行该支撑面33A上的吸附保持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片粘贴装置，具备：供给单元，其供给可弹性变形的粘接片；按压单元，其将由所述供给单元供给的所述粘接片按压于被粘物的外缘端面；以及移动单元，其使所述按压单元与所述被粘物相对移动，将所述粘接片粘贴于所述外缘端面，所述按压单元将该粘接片按压于所述外缘端面，使得沿着所述粘接片的供给方向的一外缘侧及另一外缘侧至少一方形成从所述外缘端面伸出的伸出区域，其特征在于，还具备折弯粘贴单元，该折弯粘贴单元对位于所述供给单元与所述按压单元之间的所述粘接片施加方向沿着该粘接片的供给方向的的张力，从而将所述伸出区域向与所述外缘端面相邻的其他面的方向折弯并粘贴。2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，具备将所述伸出区域向所述其他面按压的伸出区域按压单元。3.根据权利要求1或2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：上道厚史，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：