一种防震悬吊暂存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。本实用新型专利技术能够通过防震垫起到减震作用，防止由于搬运车行驶产生的微震动传递至承载盘面，进而有效保证晶圆盒内的晶圆片不受损坏。片不受损坏。片不受损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种防震悬吊暂存装置


[0001]本技术涉及半导体装置领域，特别涉及一种防震悬吊暂存装置。

技术介绍

[0002]悬吊暂存装置是悬挂在空中轨道或天花板的晶圆盒储存装置，在晶圆制造过程中作为晶圆盒的储存工位(晶圆存放于晶圆盒内)，通过悬挂于空中轨道或天花板上的搬运车实现转运，此装置配置在制程设备旁，能够有效缩短晶圆盒转运至设备Load Port的时间。现有的悬吊暂存装置由于搬运车的行驶而与轨道之间产生微振动并传送至晶圆盒的承载盘面，进而带动晶圆盒一同震动，容易导致晶圆盒内的晶圆片震动破裂，影响晶圆片的品质。

技术实现思路

[0003]针对现有悬吊暂存装置在由于搬运车的行驶会与轨道会产生微震动并传送至晶圆盒的承载盘面，进而导致晶圆片震动破裂的问题，本技术提供了一种防震悬吊暂存装置。
[0004]为实现本技术的目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。2.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：所述盘面本体设有与所述第一连接螺杆配合的第一连接孔，所述盘面本体安装于所述第一连接螺杆并通过螺栓锁紧固定；所述安装板设有与所述第二连接螺杆配合第二连接孔，所述安装板安装于所述第二连接螺杆并通过螺栓锁紧固定。3.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：所述第一连接螺杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯庆雄，王志峰，杨大鹏，丘晓明，
申请(专利权)人：厦门普诚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：