行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法技术方案

本发明专利技术涉及一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法，采用行星轮式设计与梯度预处理方式，使当前在用蒸发材料耗尽后可以迅速更换填满料的蒸发容器，避免了降温、工艺腔室充气（破真空）、取出材料容器、填料、腔室抽真空、升温、稳定等繁复步骤，使蒸镀能连续稳定运行，适合大规模生产，能有效减少时间与能源浪费，提高制备效率，并延长设备使用寿命。同时，因为填料过程不需要对工艺腔室破真空，适用于空气敏感材料的蒸镀，不需要将整个工艺腔室都罩在惰性气体中。惰性气体中。惰性气体中。

【技术实现步骤摘要】
行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法


[0001]本专利技术属于真空镀膜设备
，特别涉及一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法。

技术介绍

[0002]真空蒸镀简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，蒸发粒子沉积至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，在半导体、光伏、微纳米加工等领域有广泛应用。
[0003]现有真空镀膜的实现方式为采用电热丝、电子束或激光等方式直接或间接加热盛装在容器内的蒸发材料。当容器内的蒸发材料耗尽后需要通过降温、工艺腔室充气（破真空）、取出材料容器、填料、腔室抽真空、升温、稳定等繁复步骤才能继续蒸镀，无法连续生产，造成大量生产时间的浪费，降低生产制备效率，同时反复破真空和升降温还会造成能源浪费，加速设备老化并降低设备使用寿命。
[0004]如果蒸镀对空气敏感的材料，需要将整个腔体置于惰性环境如手套箱中，以避免蒸镀材料与空气在破真空和填料时的接触，这将使蒸镀设备成本大幅提高，从而限制空气敏感蒸镀材料的使用。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法，在当前蒸发材料耗尽后可以迅速更换填满料的容器，避免了降温、工艺腔室充气（破真空）、取出材料容器、填料、腔室抽真空、升温、稳定等繁复步骤，使蒸镀能连续稳定运行，更适合大规模生产，能有效减少时间与能源浪费，提高制备效率，并延长设备使用寿命。同时，因为填料不需要对工艺腔破真空，适用于空气敏感材料的蒸镀，不需要将整个工艺腔体都罩在惰性气体中。
[0006]本专利技术是这样实现的，提供一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统，包括多层共轴的筒体，在筒体内分别设置有相互隔离且独立密闭的蒸镀室、一级预备区和二级预备区，蒸镀室位于筒体的轴心位置，一级预备区位于蒸镀室与二级预备区之间，在蒸镀室内设置有蒸镀设备和输送蒸镀容器的转运轨道及其驱动装置，在一级预备区和二级预备区内分别设置运输蒸镀容器的一级环形轨道及其驱动装置以及二级环形轨道及其驱动装置；在蒸镀室与一级预备区之间分别设置开闭的蒸镀室进门和蒸镀室出门，在一级预备区与二级预备区之间分别设置开闭的一级区进门和一级区出门，在筒体上分别设置开闭的二级区进门和二级区出门与二级预备区相连通；在蒸镀室进门和蒸镀室出门处分别设置蒸镀室进门通道及其驱动装置以及蒸镀室出门通道及其驱动装置，蒸镀室进门通道和蒸镀室出门通道分别与转运轨道和一级环形轨道连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过蒸镀室进门通道及其驱动装置由一级环形轨道进入到转运轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过蒸镀室出门通道由转运
轨道回到一级环形轨道；在一级区进门和一级区出门处分别设置一级区进门通道及其驱动装置以及一级区出门通道及其驱动装置，一级区进门通道和一级区出门通道分别与一级环形轨道和二级环形轨道相互连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过一级区进门通道及其驱动装置由二级环形轨道进入一级环形轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过一级区出门通道及其驱动装置由一级环形轨道回到二级环形轨道；在二级区进门和二级区出门处分别设置二级区进门通道及其驱动装置和二级区出门通道及其驱动装置，二级区进门通道和二级区出门通道分别与二级环形轨道和筒体的外部相互连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过二级区进门通道及其驱动装置由筒体外部进入到二级环形轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过二级区出门通道及其驱动装置由二级环形轨道移出到筒体外部。
[0007]进一步地，在所述蒸镀室内还分别设置有蒸镀加热装置和蒸镀真空装置。
[0008]进一步地，在所述一级预备区内分别设置一级加热装置和一级真空装置。
[0009]进一步地，所述一级预备区的真空度高于10
‑5Pa。
[0010]进一步地，在所述二级预备区内分别设置二级加热装置和二级真空装置。
[0011]进一步地，所述二级预备区的真空度高于10
‑3Pa。
[0012]进一步地，在所述二级预备区内还设置用于压紧蒸镀容器内蒸镀填料的压力装置。
[0013]进一步地，所述蒸镀室进门和蒸镀室出门分别与一级区进门和一级区出门相互错开排布，所述一级区进门和一级区出门分别与二级区进门和二级区出门相互错开排布。
[0014]本专利技术是这样实现的，提供一种连续蒸镀填料供给方法，其使用如前所述的行星轮式连续蒸镀填料供给系统，所述连续蒸镀填料供给方法包括如下步骤：步骤一、将盛装有蒸镀填料的蒸镀容器放置在二级区进门通道上，通过二级区进门通道的驱动装置在二级区进门开启后将蒸镀容器送入二级预备区的二级环形轨道，再通过二级环形轨道及其驱动装置将蒸镀容器输送到一级区进门通道处；蒸镀容器进入二级预备区后二级区进门再关闭；步骤二、通过一级区进门通道的驱动装置在一级区进门开启后将蒸镀容器送入一级预备区的一级环形轨道，再通过一级环形轨道及其驱动装置将蒸镀容器输送到蒸镀室进门通道处；蒸镀容器进入一级预备区后一级区进门再关闭；步骤三、通过蒸镀室进门通道的驱动装置在蒸镀室进门开启后将蒸镀容器送入蒸镀室的转运轨道，再通过转运轨道及其驱动装置将蒸镀容器输送到蒸镀工作区域；蒸镀容器进入蒸镀室后蒸镀室进门再关闭；步骤四、蒸镀完成的蒸镀容器通过转运轨道及其驱动装置输送到蒸镀室出门通道，通过蒸镀室出门通道的驱动装置在蒸镀室出门开启后将蒸镀容器送回到一级预备区的一级环形轨道；蒸镀容器进入一级预备区后蒸镀室出门再关闭；步骤五、通过一级环形轨道及其驱动装置将蒸镀容器输送到一级区出门通道处，再通过一级区出门通道的驱动装置在一级区出门开启后将蒸镀容器送回到二级预备区的二级环形轨道；蒸镀容器进入二级预备区后一级区出门再关闭；步骤六、通过二级环形轨道及其驱动装置将蒸镀容器输送到二级区出门通道处，再通过二级区出门通道的驱动装置在二级区出门开启后将蒸镀容器送回到筒体外；蒸镀容器被送出筒体后二级区出门再关闭。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的行星轮式连续蒸镀填料供给系统及其方法具有如下特点：1、实现真空镀膜工艺腔室不破真空地连续生产；2、可以蒸镀空气敏感材料，不用把整个工艺腔室罩在惰性气体中。
附图说明
[0016]图1为本专利技术行星轮式连续蒸镀填料供给系统一较佳实施例的立体示意图；图2为图1中筒体去除上部遮盖板后的立体示意图；图3为图2的俯视图。
具体实施方式
[0017]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0018]请同时参照图1、图2以及图3所示，本专利技术行星轮式连续蒸镀填料供给系统的较佳实施例，包括顶部带遮盖板的多层共轴的筒体1，在筒体1内分别设置有相互隔离且独立密闭的蒸镀室A、一级预备区B和二级预备区C。蒸镀室A位于筒体1的轴心位置，一级预备区B位于蒸镀室A与二级预备区C本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种行星轮式连续蒸镀填料供给系统，其特征在于，包括多层共轴的筒体，在筒体内分别设置有相互隔离且独立密闭的蒸镀室、一级预备区和二级预备区，蒸镀室位于筒体的轴心位置，一级预备区位于蒸镀室与二级预备区之间，在蒸镀室内设置有蒸镀设备和输送蒸镀容器的转运轨道及其驱动装置，在一级预备区和二级预备区内分别设置运输蒸镀容器的一级环形轨道及其驱动装置以及二级环形轨道及其驱动装置；在蒸镀室与一级预备区之间分别设置开闭的蒸镀室进门和蒸镀室出门，在一级预备区与二级预备区之间分别设置开闭的一级区进门和一级区出门，在筒体上分别设置开闭的二级区进门和二级区出门与二级预备区相连通；在蒸镀室进门和蒸镀室出门处分别设置蒸镀室进门通道及其驱动装置以及蒸镀室出门通道及其驱动装置，蒸镀室进门通道和蒸镀室出门通道分别与转运轨道和一级环形轨道连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过蒸镀室进门通道及其驱动装置由一级环形轨道进入到转运轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过蒸镀室出门通道由转运轨道回到一级环形轨道；在一级区进门和一级区出门处分别设置一级区进门通道及其驱动装置以及一级区出门通道及其驱动装置，一级区进门通道和一级区出门通道分别与一级环形轨道和二级环形轨道相互连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过一级区进门通道及其驱动装置由二级环形轨道进入一级环形轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过一级区出门通道及其驱动装置由一级环形轨道回到二级环形轨道；在二级区进门和二级区出门处分别设置二级区进门通道及其驱动装置和二级区出门通道及其驱动装置，二级区进门通道和二级区出门通道分别与二级环形轨道和筒体的外部相互连通，盛装有待蒸镀填料的蒸镀容器通过二级区进门通道及其驱动装置由筒体外部进入到二级环形轨道，蒸镀完成的蒸镀容器通过二级区出门通道及其驱动装置由二级环形轨道移出到筒体外部。2.如权利要求1所述的行星轮式连续蒸镀填料供给系统，其特征在于，在所述蒸镀室内还分别设置有蒸镀加热装置和蒸镀真空装置。3.如权利要求1所述的行星轮式连续蒸镀填料供给系统，其特征在于，在所述一级预备区内分别设置一级加热装置和一级真空装置。4.如权利要求3所述的行星轮式连续蒸镀填料供给系统，其特征在于，所述一级预备区的真空度高于10
‑5Pa。5.如权利要求1所述的行星轮式连续蒸镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：衢州纤纳新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：