一种可加热的涂布平台制造技术

本发明专利技术涉及一种可加热的涂布平台，包括底座以及设置在底座上的涂布底板，在底座上还设置至少三个支撑杆，在每个支撑杆的顶部分别设置用于悬浮支撑涂布底板的气浮装置，在每个支撑杆上分别设置弹性臂，每个弹性臂的另一端分别固定在涂布底板上，在涂布底板内设置用于给涂布底板加热的加热装置，在涂布底板的四周边缘分别设置多个用于定位涂布基板的基板定位装置。本发明专利技术在保证涂布平台的平面度的前提下，满足了涂布过程中的加热需求，解决了涂布过程中现有的涂布平台加热后无法满足平面度的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可加热的涂布平台


[0001]本专利技术属于涂布设备
，特别涉及一种可加热的涂布平台。

技术介绍

[0002]在现有的制备钙钛矿太阳电池工艺中，基本使用挤压式平板涂布的方式。平板涂布工艺对平台的平面度要求非常高，一般在5μm，故挤压式平板涂布机基本使用大理石作为涂布平台。但是当工艺需要边涂布边加热时，因大理石涂布平台导热性差，而无法满足需求。若采用不锈钢或者铝合金作为涂布平台的话，如果结构设计不当，很容易引起因不锈钢或者铝合金平台受热形变导致平面度无法满足要求。另外，产线需要实现自动化时，在平台上要开很多供顶杆运动的孔，大理石平台开孔的成本较高，难以推广。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种可加热的涂布平台，在保证涂布平台的平面度的前提下，满足了涂布过程中的加热需求，解决了涂布过程中现有的涂布平台加热后无法满足平面度的问题。
[0004]本专利技术是这样实现的，提供一种可加热的涂布平台，包括底座以及设置在底座上的涂布底板，在底座上还设置至少三个支撑杆，在每个支撑杆的顶部分别设置用于悬浮支撑涂布底板的气浮装置，在每个支撑杆上分别设置弹性臂，每个弹性臂的另一端分别固定在涂布底板上，在涂布底板内设置用于给涂布底板加热的加热装置，在涂布底板的四周边缘分别设置多个用于定位涂布基板的基板定位装置。
[0005]进一步地，所述涂布平台还包括顶升装置，所述顶升装置包括分别设置在底座上的若干限位杆和至少三个顶升气缸，以及设置在限位杆与涂布底板之间的顶升台，每个顶升气缸的伸出端分别固定在顶升台的底面，顶升气缸同时驱动顶升台上下移动，限位杆限制顶升台的下降高度，在所述顶升台与涂布底板之间分别设置多个顶升杆，在涂布底板上设置与顶升杆相对应的多个顶杆通孔，每个顶升杆的下端与顶升台活动地磁性吸附连接，其上端位于相应的涂布底板的顶杆通孔内。
[0006]进一步地，所述弹性臂包括定位杆和弹性杆，定位杆的一端固定在支撑杆上，弹性杆设置在定位杆的另一端上，弹性杆与涂布底板的侧边相连接。
[0007]进一步地，所述基板定位装置包括定位气缸和挡板，定位气缸固定在底座的底面上，挡板设置在定位气缸的伸出端上。
[0008]进一步地，在所述底座的底部设置多个地脚滚轮。
[0009]与现有技术相比，本专利技术的可加热的涂布平台，包括底座以及设置在底座上的涂布底板，在底座上还设置至少三个支撑杆，在每个支撑杆的顶部分别设置用于悬浮支撑涂布底板的气浮装置，涂布底板悬浮在气浮装置的顶部。在每个支撑杆上分别设置弹性臂，每个弹性臂的另一端分别固定在涂布底板的侧面上。设置弹性臂使得涂布底板悬浮设置，便于涂布底板受热后伸展变形，保证其平面度在受热后不变。在涂布底板内设置用于给涂布
底板加热的加热装置，在涂布底板的四周边缘分别设置多个用于定位涂布基板的基板定位装置。本专利技术在在保证涂布平台的平面度的前提下，满足了涂布过程中的加热需求，解决了涂布过程中现有的涂布平台加热后无法满足平面度的问题。另一方面，在涂布平台四周设置用于顶升涂布基板的顶杆孔，与机械臂配合以实现机器人的自动上料，便于实现基板涂布产线的自动化。
附图说明
[0010]图1为本专利技术可加热的涂布平台一较佳实施例的立体示意图；图2为图1另一角度立体示意图；图3为图1的主视图；图4为图3的顶升装置处于顶升状态下的平面示意图。
具体实施方式
[0011]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0012]请同时参照图1至图4所示，本专利技术可加热的涂布平台的较佳实施例，包括底座1以及设置在底座1上的涂布底板2，以及顶升装置3。
[0013]在底座1上还设置至少三个支撑杆4，在每个支撑杆4的顶部分别设置用于悬浮支撑涂布底板2的气浮装置5。涂布底板2悬浮在气浮装置5的顶部。在每个支撑杆4上分别设置弹性臂6。每个弹性臂6的另一端分别固定在涂布底板2的侧面上。在涂布底板2内设置用于给涂布底板2加热的加热装置7。在涂布底板2的四周边缘分别设置多个用于定位涂布基板A的基板定位装置8。
[0014]在本实施例中，在底座1上设置四个支撑杆4。四个支撑杆4分别位于涂布底板2的四个角落的底部。
[0015]涂布底板2加热时的应力通过气浮装置5充分释放，从而最大程度地减小涂布底板的热形变，保证涂布底板2在受热状态的平面度不变。设置弹性臂6既保证了使用气浮装置8的涂布底板2的位置固定，又能使涂布底板2的热应力、热形变充分释放，也进一步减少涂布底板2在受热状态下对平面度的不利影响。
[0016]气浮装置5包括进气口、减压阀、气量调节阀和出气口。在安装调试时，通过调节减压阀和气量调节阀使涂布底板2悬浮起1mm~2mm。使用高精度水平尺查看涂布底板2的水平情况，分别调节各气浮装置5的悬浮高度，使涂布底板2达到水平要求。
[0017]具体地，所述顶升装置3包括分别设置在底座1上的若干限位杆31和至少三个顶升气缸32，以及设置在限位杆31与涂布底板2之间的顶升台33。每个顶升气缸32的伸出端分别固定在顶升台33的底面，顶升气缸32同时驱动顶升台33上下移动。限位杆31限制顶升台33的下降高度。
[0018]在本实施例中，所述顶升装置3设置有四个顶升气缸32，四个顶升气缸32分别位于顶升台33的四个角落的底部，增强顶升台33上下移动的平稳性。
[0019]在所述顶升台33与涂布底板2之间分别设置多个顶升杆34，在涂布底板2上设置与
顶升杆34相对应的多个顶杆通孔21。每个顶升杆34的下端与顶升台33活动地磁性吸附连接，其上端位于相应的涂布底板2的顶杆通孔21内。每个顶升杆34的上端沿相对应的顶杆通孔21随顶升台33同时上下移动，多个顶升杆34同时顶起放置在涂布底板2上的涂布基板A。
[0020]顶升杆34与顶升台33之间磁性吸附连接，使得在涂布底板的加热形变过程中，顶升杆34亦可在顶升台33表面滑动，从而保证了顶升杆34能在涂布底板2的顶杆通孔21内上下升降，顺利实现顶升功能。当机器人把涂布基板A放置在顶升杆34上后，如图4所示，顶升装置3下降，涂布基板A被稳定地放置在涂布底板1上，基板定位装置8再对涂布基板A的周边进行定位固定，从而实现机器人的自动上料。
[0021]在本实施例中，所述顶升装置3包括十二个顶升杆34，十二个顶升杆34分别均布在顶升台33的四周边。
[0022]具体地，所述弹性臂6包括定位杆61和弹性杆62。定位杆61的一端固定在支撑杆4上，弹性杆62设置在定位杆61的另一端上，弹性杆62与涂布底板2的侧边相连接。弹性杆62的材质为橡胶或硅胶。
[0023]具体地，所述基板定位装置8包括定位气缸81和挡板82，定位气缸81固定在底座1的底面上，挡板82设置在定位气缸81的伸出端上。在顶升杆34下降，把涂布基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可加热的涂布平台，包括底座以及设置在底座上的涂布底板，其特征在于，在底座上还设置至少三个支撑杆，在每个支撑杆的顶部分别设置用于悬浮支撑涂布底板的气浮装置，在每个支撑杆上分别设置弹性臂，每个弹性臂的另一端分别固定在涂布底板上，在涂布底板内设置用于给涂布底板加热的加热装置，在涂布底板的四周边缘分别设置多个用于定位涂布基板的基板定位装置。2.如权利要求1所述的可加热的涂布平台，其特征在于，所述涂布平台还包括顶升装置，所述顶升装置包括分别设置在底座上的若干限位杆和至少三个顶升气缸，以及设置在限位杆与涂布底板之间的顶升台，每个顶升气缸的伸出端分别固定在顶升台的底面，顶升气缸同时驱动顶升台上下移动，限位杆限...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：衢州纤纳新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：