本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域,具体涉及一种高韧性的钨舟,包括舟槽,所述舟槽包括槽底壁、槽侧壁和缓冲壁;所述缓冲面包括一个连接角;所述连接角连接槽底壁的角部;所述连接角包括两个连接边,每个所述缓冲面的连接边连接相邻缓冲面的连接边或连接槽侧壁的边沿。本实用新型专利技术的有益效果:因为金属钨作为钨舟的材质具有延展性,使连接边可绕槽底壁角部旋转;在钨舟在蒸镀以及蒸镀后冷却的过程中,受热胀冷缩作用影响,相邻缓冲面之间的夹角可增大缩小,使缓冲面承担钨舟热胀冷缩的形变量,避免了槽侧壁的连接断裂。了槽侧壁的连接断裂。了槽侧壁的连接断裂。
【技术实现步骤摘要】
一种高韧性的钨舟
[0001]本技术涉及蒸镀
,具体涉及一种高韧性的钨舟。
技术介绍
[0002]钨舟又称为蒸发舟、蒸发钨舟或镀膜钨舟,是钨片经过焊接或高温冲压而制成的。由于含钨量高达99.95%,所以钨舟具有与金属钨极度相似的物理化学性质。
[0003]钨舟在应用于蒸镀时,因为蒸镀温度可高达上千摄氏度,而冷却时不同蒸镀物料的热胀冷缩比与钨舟不同,热胀冷缩比差异大的在使用过程中频繁热胀冷缩很容易使钨舟断裂报废。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是:提供一种高韧性的钨舟,避免热胀冷缩破坏钨舟结构。
[0005]为了解决上述技术问题,本技术采用的一种技术方案为:一种高韧性的钨舟,包括舟槽,所述舟槽包括槽底壁、槽侧壁和缓冲壁;所述槽侧壁设置在槽底壁的边沿,相邻的所述槽侧壁通过缓冲壁连接;所述缓冲壁包括至少两个不在同一平面的缓冲面,所述缓冲面点连接槽底壁的角部。
[0006]进一步地,所述缓冲面呈三角形;所述缓冲面包括一个连接角;所述连接角连接槽底壁的角部;所述连接角包括两个连接边,每个所述缓冲面的连接边连接相邻缓冲面的连接边或连接槽侧壁的边沿。
[0007]进一步地,所述缓冲面设有两个。
[0008]进一步地,每个所述缓冲面远离槽侧壁一侧的连接边与槽底壁的夹角总是小于某一个槽侧壁与槽底壁所在平面的夹角。
[0009]进一步地,所述槽侧壁包括长向侧壁和宽向侧壁,所述长向侧壁与槽底壁所在平面的夹角为45度;连接所述长向侧壁的缓冲面远离长向侧壁一侧的连接边与槽底壁的夹角为40度。
[0010]进一步地,还包括两个电极片,所述电极片水平连接槽侧壁的上沿;所述槽底壁的长宽比在2.3
‑
2.8之间。
[0011]本技术的有益效果:本技术提供的高韧性的钨舟中,所述缓冲面点连接槽底壁的角部。因为金属钨作为钨舟的材质具有延展性,使缓冲面可绕槽底壁角部旋转;
[0012]相邻所述缓冲面呈V字型连接,在钨舟在蒸镀以及蒸镀后冷却的过程中,受热胀冷缩作用影响,相邻缓冲面之间的夹角可增大缩小,使缓冲壁承担钨舟热胀冷缩的形变量,避免了槽侧壁的连接断裂。
附图说明
[0013]图1为本技术的具体实施方式的一种高韧性的钨舟的整体结构俯视图;
[0014]图2为本技术的具体实施方式的一种高韧性的钨舟的整体结构侧视图;
[0015]图3为本技术的具体实施方式的一种高韧性的钨舟的部分结构正视图;
[0016]标号说明:
[0017]1、舟槽;
[0018]2、槽底壁;21、长向侧壁;22、宽向侧壁;
[0019]3、缓冲面;4、电极片。
具体实施方式
[0020]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0021]请参照图1
‑
3,一种高韧性的钨舟,包括舟槽1,所述舟槽1包括槽底壁2、槽侧壁和缓冲壁;所述槽侧壁设置在槽底壁2的边沿,相邻的所述槽侧壁通过缓冲壁连接;所述缓冲壁包括至少两个不在同一平面的缓冲面3,所述缓冲面3点连接槽底壁2的角部。
[0022]由上描述可知,本技术提供的高韧性的钨舟中,所述缓冲面3点连接槽底壁2的角部。因为金属钨作为钨舟的材质具有延展性,使缓冲面3可绕槽底壁2角部旋转;
[0023]相邻所述缓冲面3呈V字型连接,在钨舟在蒸镀以及蒸镀后冷却的过程中,受热胀冷缩作用影响,相邻缓冲面3之间的夹角可增大缩小,使缓冲壁承担钨舟热胀冷缩的形变量,避免了槽侧壁的连接断裂。
[0024]进一步地,所述缓冲面3呈三角形;所述缓冲面3包括一个连接角;所述连接角连接槽底壁2的角部;所述连接角包括两个连接边,每个所述缓冲面3的连接边连接相邻缓冲面3的连接边或连接槽侧壁的边沿。
[0025]由上描述可知,提供一种缓冲面3的具体结构以及缓冲面3的具体连接结构。
[0026]进一步地,所述缓冲面3设有两个。
[0027]由上描述可知,金属钨是一种稀有材料,设置过多缓冲面3耗费过多钨;故而起到节省制作所述高韧性的钨舟的成本。
[0028]进一步地,每个所述缓冲面3远离槽侧壁一侧的连接边与槽底壁2的夹角总是小于某一个槽侧壁与槽底壁2所在平面的夹角。
[0029]由上描述可知,所述高韧性的钨舟的断裂多数情况下是因为冷却过程中,槽底壁2之间受“冷缩”的应力太大;故而上述设置某个连接边斜度相比于长向侧壁21更往远离槽底壁2方向倾斜,换言之,上述设置使缓冲面3更“外扩”,在所述高韧性的钨舟冷却,受“冷缩”作用时,缓冲面3有更大的形变量可以缓冲“冷缩”的拉应力。
[0030]进一步地,所述槽侧壁包括长向侧壁21和宽向侧壁22,所述长向侧壁21与槽底壁2所在平面的夹角为45度;连接所述长向侧壁21的缓冲面3远离长向侧壁21一侧的连接边与槽底壁2的夹角为40度。
[0031]由上描述可知,上述设置提供一种合适的舟槽1结构。
[0032]进一步地,还包括两个电极片4,所述电极片4水平连接槽侧壁的上沿;所述槽底壁2的长宽比在2.3
‑
2.8之间。
[0033]由上描述可知,上述设置提供一种简单高效的所述高韧性的钨舟结构,上述长宽比的设置使蒸镀物料蒸发速度合适。
[0034]本技术提供的高韧性的钨舟的应用场景为:在需要避免钨舟受热胀冷缩作用而损坏时。
[0035]实施例一
[0036]请参照图1
‑
3,一种高韧性的钨舟,包括舟槽1,所述舟槽1包括槽底壁2、槽侧壁、缓冲壁和两个电极片4;所述槽侧壁设置在槽底壁2的边沿,相邻的所述槽侧壁通过缓冲壁连接;所述缓冲壁包括至少两个不在同一平面的缓冲面3,所述缓冲面3点连接槽底壁2的角部。
[0037]所述缓冲面3呈三角形;所述缓冲面3包括一个连接角;所述连接角连接槽底壁2的角部;所述连接角包括两个连接边,每个所述缓冲面3的连接边连接相邻缓冲面3的连接边或连接槽侧壁的边沿。
[0038]所述缓冲面3设有两个。
[0039]每个所述缓冲面3远离槽侧壁一侧的连接边与槽底壁2的夹角总是小于某一个槽侧壁与槽底壁2所在平面的夹角。
[0040]所述槽侧壁包括长向侧壁21和宽向侧壁22,所述长向侧壁21与槽底壁2所在平面的夹角为45度;连接所述长向侧壁21的缓冲面3远离长向侧壁21一侧的连接边与槽底壁2的夹角为40度。所述电极片4水平连接槽侧壁的上沿;所述槽底壁2的长宽比在2.3
‑
2.8之间。
[0041]本技术提供的高韧性的钨舟的使用及原理:
[0042]所述的钨舟受热胀冷缩作用而断裂的情况中,多数钨舟的断裂发生在蒸镀工艺后的冷却过程中,冷却过程中钨舟受“冷缩”的拉应力过大。
[0043]设置两个缓冲面3呈夹角设置,在钨舟受“冷缩”的拉应本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高韧性的钨舟,其特征在于,包括舟槽,所述舟槽包括槽底壁、槽侧壁和缓冲壁;所述槽侧壁设置在槽底壁的边沿,相邻的所述槽侧壁通过缓冲壁连接;所述缓冲壁包括至少两个不在同一平面的缓冲面,所述缓冲面点连接槽底壁的角部。2.根据权利要求1所述的高韧性的钨舟,其特征在于,所述缓冲面呈三角形;所述缓冲面包括一个连接角;所述连接角连接槽底壁的角部;所述连接角包括两个连接边,每个所述缓冲面的连接边连接相邻缓冲面的连接边或连接槽侧壁的边沿。3.根据权利要求2所述的高韧性的钨舟,其特征在于,所述缓冲面设有两个。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文浩,
申请(专利权)人:福建兆元光电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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