本实用新型专利技术公开了一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置，在基板上设置有旋转夹持机构、第一平板、第二平板和第三平板，该第一平板、第二平板、第三平板分别与第一侧面对准机构、第二侧面调整机构、第三侧面调整机构相连，旋转夹持机构与PA设备中的晶圆支撑台相配合，用于夹持或者释放晶圆支撑台；第一侧面对准机构用于调整第一平板与PA设备中基座的一个侧面之间的间隙；第二侧面调整机构用于调整OCR设备的第一侧面的角度并记录其和第二平板的相对位置；第三侧面调整机构用于调整OCR设备的第二侧面的角度并记录其和第三平板的相对位置；在OCR设备的上方设置有高度检测机构，用于测量OCR设备的顶部与基板之间的间距。距。距。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置
[0001]本技术涉及半导体设备的
，具体涉及一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置。
技术介绍
[0002]目前行业内使用的吸附式手爪和吸附式调整器(以下简称PA)，不能保证与晶圆wafer在晶圆ID读取时的相对位置保持一致。
[0003]一方面，当晶圆wafer在晶圆盒的位置会有微小差异，会导致取片时晶圆wafer与手爪的相对位置不同，放到PA设备后，晶圆wafer的中心与PA设备中心的相对位置也会不同，导致晶圆wafer的最终位置与OCR设备的相对位置不同，这样在利用OCR设备读取晶圆ID时，由于晶圆wafer的位置不同影响读取的成功率，进而影响整个机台的工作效率。
[0004]另一方面，当多个机台设备同时进行生成时，如果有一个机台发生了OCR读取失败，经现场工程师调试成功后，为了确保后续生产的顺畅，需再利用同样方法调试剩余多个机台设备，不能实现将调试成功的位置快速复制到其他机台，费时费力。
技术实现思路
[0005]本技术提供了一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置，能够对放置在PA设备上的晶圆相对OCR设备的位置进行快速标定和调整，从而能够快速完成对OCR设备的调整，以及将晶圆相对PA设备和OCR设备的位置快速复制到其他机台上，节省人工成本，提高工作效率。
[0006]本技术可通过以下技术方案实现：
[0007]一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置，包括基板，在所述基板上设置有旋转夹持机构、第一平板、第二平板和第三平板，所述第一平板与第一侧面对准机构相连，所述第二平板与第二侧面调整机构相连，所述第三平板与第三侧面调整机构相连，
[0008]所述旋转夹持机构与PA设备中的晶圆支撑台相配合，采用三爪夹持结构，用于夹持或者释放晶圆支撑台；
[0009]所述第一侧面对准机构用于调整第一平板与PA设备中基座的一个侧面之间的间隙，使两者相接触；所述第二侧面调整机构用于调整OCR设备的第一侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，并记录第一侧面和第二平板的相对位置；所述第三侧面调整机构用于调整OCR设备的第二侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，并记录第二侧面和第三平板的相对位置，所述第一侧面和第二侧面相连接；
[0010]在所述OCR设备顶部的上方设置有高度检测机构，所述高度检测机构用于测量OCR设备的顶部与基板之间的间距。
[0011]进一步，所述第一侧面对准机构包括设置在第一平板顶部的第一燕尾槽滑块，所述第一燕尾槽滑块与第一滑轨配合，所述第一滑轨设置在PA设备一个侧面的正上方，其所在直线与PA设备一个侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述基板上设置有第一旋钮，
所述第一旋钮穿过基板、第一滑轨与第一燕尾槽滑块的顶部活动接触，旋松第一旋钮，第一燕尾槽滑块连同第一平板能够沿第一滑轨移动；旋紧第一旋钮，锁定第一燕尾槽滑块连同第一平板在第一滑轨的位置；
[0012]所述第二侧面调整机构包括设置在第二平板顶部的第二燕尾槽滑块，所述第二燕尾槽滑块与第二滑轨配合，所述第二滑轨设置在OCR设备第一侧面的正上方，其所在直线与第一侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述第二平板上垂直设置有三个调整螺栓，它们不共线，均穿过第二平板朝向第一侧面设置，通过调整三个调整螺栓伸出第二平板的长度，改变第一侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，
[0013]在所述基板上设置有第二旋钮，所述第二旋钮穿过基板、第二滑轨与第二燕尾槽滑块的顶部活动接触，旋松第二旋钮，第二燕尾槽滑块连同第二平板能够沿第二滑轨移动；旋紧第二旋钮，锁定第二燕尾槽滑块连同第二平板在第二滑轨的位置；
[0014]所述第三侧面调整机构包括设置在第三平板顶部的第三燕尾槽滑块，所述第三燕尾槽滑块与第三滑轨配合，所述第三滑轨设置在OCR设备第二侧面的正上方，其所在直线与第二侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述第三平板上垂直设置有两个调整螺栓，它们不共线，均穿过第三平板朝向第二侧面设置，通过调整两个调整螺栓伸出第三平板的长度，改变第二侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，
[0015]在所述基板上设置有第三旋钮，所述第三旋钮穿过基板、第三滑轨与第三燕尾槽滑块的顶部活动接触，旋松第三旋钮，第二燕尾槽滑块连同第三平板能够沿第三滑轨移动；旋紧第三旋钮，锁定第三燕尾槽滑块连同第三平板在第三滑轨的位置。
[0016]进一步，所述第一滑轨和第二滑轨所在的轴向中心线共线或者相互平行，在所述基板的表面对应第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块的位置设置有标尺，所述标尺沿第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块的移动方向设置，在所述第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块的侧面设置有指向标尺的指示箭头。
[0017]进一步，所述第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块与对应的第一滑轨、第二滑轨、第三滑轨的接触面上均设置有凹槽，在上下对应的两个凹槽组成的空腔内部均设置有刹车块，所述刹车块与空腔之间的间隙小于第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块与对应的第一滑轨、第二滑轨、第三滑轨之间的间隙，
[0018]所述第一旋钮、第二旋钮、第三旋钮分别穿过第一燕尾槽滑块、第二燕尾槽滑块、第三燕尾槽滑块底面的凹槽与对应的刹车块活动接触。
[0019]进一步，所述高度检测机构包括笔状的标高尺，所述标高尺的笔尖穿过基板朝向OCR设备的顶面设置，在所述基板对应标高尺位置的侧面设置有第四旋钮，所述第四旋钮穿过基板与标高尺活动接触；
[0020]旋松第四旋钮，标高尺相对基板上下移动，以使标高尺的笔尖与OCR设备的顶面相接触；旋紧第四旋钮，锁定标高尺在基板的位置。
[0021]进一步，所述旋转夹持机构包括星形旋钮，所述星形旋钮的转轴穿过基板与凸轮的中心连接，所述凸轮与两个挡块间隔120度设置在晶圆支撑台周围，旋转星形旋钮，改变凸轮与晶圆支撑台的接触位置，实现对晶圆支撑台的夹持或者释放。
[0022]进一步，在所述凸轮、挡块与晶圆支撑台接触的位置均设置延伸面。
[0023]本技术有益的技术效果在于：
[0024]1、通过将本技术的快速定位装置设置在PA设备和OCR设备上，借助旋转夹持机构、第一侧面对准机构实现对PA设备的定位，再结合第二侧面调整机构、第三侧面调整机构和高度检测机构实现对OCR设备的定位和调整，确保OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，同时，借助旋转夹持机构，可以很方便地将整个快速定位装置从PA设备上移走，再安装到其他待调试机台上，然后根据快速定位装置上记录的OCR设备相对PA设备的位置，实现对待调整机台上的OCR设备调整，确保所有机台的一致性，为后续生产的顺畅提供基础；
[0025]2、旋转夹持机构采用三爪夹持结构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置，其特征在于：包括基板，在所述基板上设置有旋转夹持机构、第一平板、第二平板和第三平板，所述第一平板与第一侧面对准机构相连，所述第二平板与第二侧面调整机构相连，所述第三平板与第三侧面调整机构相连，所述旋转夹持机构与PA设备中的晶圆支撑台相配合，采用三爪夹持结构，用于夹持或者释放晶圆支撑台；所述第一侧面对准机构用于调整第一平板与PA设备中基座的一个侧面之间的间隙，使两者相接触；所述第二侧面调整机构用于调整OCR设备的第一侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，并记录第一侧面和第二平板的相对位置；所述第三侧面调整机构用于调整OCR设备的第二侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，并记录第二侧面和第三平板的相对位置，所述第一侧面和第二侧面相连接；在所述OCR设备顶部的上方设置有高度检测机构，所述高度检测机构用于测量OCR设备的顶部与基板之间的间距。2.根据权利要求1所述的用于半导体晶圆传输系统的OCR快速定位装置，其特征在于：所述第一侧面对准机构包括设置在第一平板顶部的第一燕尾槽滑块，所述第一燕尾槽滑块与第一滑轨配合，所述第一滑轨设置在PA设备一个侧面的正上方，其所在直线与PA设备一个侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述基板上设置有第一旋钮，所述第一旋钮穿过基板、第一滑轨与第一燕尾槽滑块的顶部活动接触；所述第二侧面调整机构包括设置在第二平板顶部的第二燕尾槽滑块，所述第二燕尾槽滑块与第二滑轨配合，所述第二滑轨设置在OCR设备的第一侧面正上方，其所在直线与第一侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述第二平板上垂直设置有三个调整螺栓，它们不共线，均穿过第二平板朝向第一侧面设置，通过调整三个调整螺栓伸出第二平板的长度，改变第一侧面的位置和角度，使OCR设备能够准确读取PA设备上的晶圆ID，在所述基板上设置有第二旋钮，所述第二旋钮穿过基板、第二滑轨与第二燕尾槽滑块的顶部活动接触；所述第三侧面调整机构包括设置在第三平板顶部的第三燕尾槽滑块，所述第三燕尾槽滑块与第三滑轨配合，所述第三滑轨设置在OCR设备第二侧面的正上方，其所在直线与第二侧面相垂直，且与基板的底面相接触，在所述第三平板上垂直设置有两个调整螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹洁，马刚，张贤龙，刘恩龙，乐佳浩，朱运东，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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