本发明专利技术公开了一种在线加热装置，包括：加热腔壳体，所述加热腔壳体的底部的两侧分别设置有进液口和出液口；进液管，设置在所述加热腔壳体的内部，所述进液管的顶部连通所述加热腔壳体的内部，所述进液管的底部与所述进液口连通；加热管，螺旋环绕设置于所述进液管的外部；螺旋叶片，设置在所述加热腔壳体的内壁，沿所述进液管的高度方向安插在指定的上下层加热管之间的流动间隙，以螺旋分隔流体空间，建立流体螺旋通道。本发明专利技术设置双层螺旋间隔加热管，内外层加热管螺旋方向相同，加热管相互之间存在间隙，使加热管周围的液体相互流通，散热性好。热性好。热性好。
【技术实现步骤摘要】
在线加热装置
[0001]本专利技术属于在线加热
，具体涉及一种在线加热装置。
技术介绍
[0002]在线加热器是一种在半导体行业流行的加热设备，用于对流动液态介质的升温、保温、加热。当加热介质在压力作用下进入电加热器的加热腔体，利用流体热力学原理均匀地带走电热元件工作中所产生的巨大热量，使被加热介质温度达到用户工艺要求，电加热是将电能转换为热能的过程。另外，在湿法清洗设备工艺中，液体里会添加各种清洗用的化学添加剂。
[0003]目前的在线加热器存在以下问题：(1)半导体湿法清洗对工艺有特殊要求，需要保证化学药液的洁净度，由于化学药液具有腐蚀性，特别容易腐蚀加热器产生污染；(2)现有加热器的结构达不到工艺要求的加热效果，持续加热能力低、效率低、能耗高、温度低、热传递时间短；(3)现有加热器采用在本体是安装加工螺纹，在装配拆卸时非常麻烦，而且螺牙容易损坏，密封不好容易漏水，更换维护成本极高。
[0004]针对上述问题主要采取的措施如下：(1)采用PFA包覆加热管；虽然解决了防腐问题，但是存在PFA管一旦出现问题破裂将无法察觉，没有任何安全防滑措施；(2)采用大功率、大尺寸的加热器或者大幅降低药液流量；使用大功率的加热器会导致加热器体积增大，设备没有足够的安装空间，同时用电成本也成倍增加，降低药液流量速度会导致清洗效率降低，不能从根本上解决问题；(3)安排两名工人共同安装拆装工作，或使用专用工具和夹具拆装，对于螺牙损坏无法使用的情况，采取更换整个加热器的方式，但这样的措施就导致企业用工成本、维修成本极高，人机操作性差。
技术实现思路
[0005]针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种在线加热装置，通过在加热容器内部设置扰流结构，将液态控制在加热管周围均匀受热，提高液体的热传递效率。
[0006]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]本专利技术提供一种在线加热装置，包括：
[0008]加热腔壳体，所述加热腔壳体的底部的两侧分别设置有进液口和出液口；
[0009]进液管，设置在所述加热腔壳体的内部，所述进液管的顶部连通所述加热腔壳体的内部，所述进液管的底部与所述进液口连通；
[0010]加热管，螺旋环绕设置于所述进液管的外部；
[0011]螺旋叶片，设置在所述加热腔壳体的内壁，沿所述进液管的高度方向安插在指定的上下层加热管之间的流动间隙，以螺旋分隔流体空间，建立流体螺旋通道。
[0012]作为优选的技术方案，所述加热管设置为内外两层，内外两层的螺旋方向、螺距相同。
[0013]作为优选的技术方案，所述加热管采用等螺距螺旋环绕，或所述加热管采用变螺
距螺旋环绕。
[0014]作为优选的技术方案，所述加热管采用上下双层间隔式螺旋环绕，所述螺旋叶片安插在上下双层加热管之间。
[0015]作为优选的技术方案，所述加热管的外部包覆设置PFA管，所述加热管与所述PFA管之间填充氮气。
[0016]作为优选的技术方案，所述PFA管的一端与所述加热管的一端密封连接，所述PFA管的另一端与所述加热管之间设置有密封接头。
[0017]作为优选的技术方案，所述密封接头连接压力监测仪。
[0018]作为优选的技术方案，所述螺旋叶片的外径与所述加热腔壳体的内径配合，所述螺旋叶片的内径与所述进液管的外径配合，以使所述螺旋叶片固定在所述加热腔壳体和所述进液管之间。
[0019]作为优选的技术方案，所述螺旋叶片固定在所述加热腔壳体的内壁，所述螺旋叶片的内径大于外层加热管沿进液管围成圆柱的外径，以使所述螺旋叶片与与外层加热管间隙配合。
[0020]作为优选的技术方案，所述加热腔壳体包括上壳体与下壳体，所述进液管、所述加热管、所述螺旋叶片设置于所述上壳体内，所述进液口、所述出液口设置于所述下壳体上，所述下壳体与所述上壳体通过螺钉套件连接。
[0021]作为优选的技术方案，所述上壳体的底部向外延伸设置有上圆台，所述下壳体的顶部向外延伸设置有下圆台，所述下圆台、所述上圆台的圆周均设置有用于安装所述螺钉套件的U型槽，所述上圆台与所述下圆台之间设置有密封O型圈。
[0022]作为优选的技术方案，所述上圆台的上端面固定安装有第一钢圈，所述下圆台的下端面固定安装有第二钢圈，所述第一钢圈与所述U型槽相对应的位置设置有圆形安装孔，所述第二钢圈与所述U型槽相对应的位置设置有螺纹安装孔，所述螺纹安装孔的螺纹与所述螺钉套件相匹配。
[0023]作为优选的技术方案，所述上壳体与所述下壳体的连接处环绕设置有防护罩壳，所述防护罩壳包括第一护罩与第二护罩，所述第一护罩与所述第二护罩的纵向截面均为L型，所述第一护罩安装于所述下壳体上，所述第二护罩与所述第一护罩卡扣式连接。
[0024]作为优选的技术方案，还包括接线盒，所述接线盒设置在加热腔壳体的底部，所述接线盒的外径与所述加热腔壳体的外径相同，所述接线盒安装于所述加热腔壳体的出线端部并与所述加热腔壳体通过螺丝固定，所述接线盒的端部设置有密封盖板。
[0025]作为优选的技术方案，所述出液口处设置有温度传感器。
[0026]作为优选的技术方案，所述加热腔壳体的外部设有安装凹槽，适用于T型、L型、法兰型支座的安装固定。
[0027]与现有技术相比，本专利技术具有以下技术效果：
[0028](1)本专利技术设置双层螺旋间隔加热管，内外层加热管螺旋方向相同，加热管相互之间存在间隙，加热管之间可以是变距可以是等距，使加热管周围的液体相互流通，散热性好。
[0029](2)本专利技术在加热腔壳体与加热管之间设置螺旋叶片，通过螺旋叶片控制引流，可以使加热回路增加5～20倍，让液体的受热时间延长，基于流体力学分析，螺旋分隔空间可
以使液体热传递效率更高效科学，螺旋通道可以让每一处液体流体性受热均匀，持续加热能力强。
[0030](3)本专利技术采用氮气侦测保护，在加热管外层包裹一层PFA管防止污染，同时在加热管和PFA管之间填充氮气，氮气连接压力检测仪，后台可监测检查更加方便，可以满足客户数字化安全生产。
[0031](4)本专利技术设置有法兰钢圈锁紧结构，钢圈之间通过螺钉套件连接，钢圈外侧设置有密闭防护罩，防护罩设置有旋紧卡扣，连接更加牢靠，拆装更加方便。
[0032](5)本专利技术设置有圆形集成接线盒，整体外观设计更加科学，避免线管杂乱无章的裸露在外部，起到安全和美观的作用。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本专利技术在线加热装置的结构示意图。
[0035]图2为图1中A处的局部放大图。
[0036]图3为图1中B处的局部放大图。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在线加热装置，其特征在于，包括：加热腔壳体，所述加热腔壳体的底部的两侧分别设置有进液口和出液口；进液管，设置在所述加热腔壳体的内部，所述进液管的顶部连通所述加热腔壳体的内部，所述进液管的底部与所述进液口连通；加热管，螺旋环绕设置于所述进液管的外部；螺旋叶片，设置在所述加热腔壳体的内壁，沿所述进液管的高度方向安插在指定的上下层加热管之间的流动间隙，以螺旋分隔流体空间，建立流体螺旋通道。2.如权利要求1所述的在线加热装置，其特征在于，所述加热管设置为内外两层，内外两层的螺旋方向、螺距相同。3.如权利要求1所述的在线加热装置，其特征在于，所述加热管采用等螺距螺旋环绕，或所述加热管采用变螺距螺旋环绕。4.如权利要求1所述的在线加热装置，其特征在于，所述加热管采用上下双层间隔式螺旋环绕，所述螺旋叶片安插在上下双层加热管之间。5.如权利要求1所述的在线加热装置，其特征在于，所述加热管的外部包覆设置PFA管，所述加热管与所述PFA管之间填充氮气。6.如权利要求5所述的在线加热装置，其特征在于，所述PFA管的一端与所述加热管的一端密封连接，所述PFA管的另一端与所述加热管之间设置有密封接头。7.如权利要求6所述的在线加热装置，其特征在于，所述密封接头连接压力监测仪。8.如权利要求2所述的在线加热装置，其特征在于，所述螺旋叶片的外径与所述加热腔壳体的内径配合，所述螺旋叶片的内径与所述进液管的外径配合，以使所述螺旋叶片固定在所述加热腔壳体和所述进液管之间。9.如权利要求2所述的在线加热装置，其特征在于，所述螺旋叶片固定在所述加热腔壳体的内壁，所述螺旋叶片的内径大于外层加热管沿进液管围成圆柱的外径，以使所述螺旋叶片与外层加热管间隙配合。10.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雷雷，陆磊，陶明生，刘大威，郭琳焱，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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