硅棒支撑装置、上料装置及硅棒抛光机制造方法及图纸

技术编号:37079421 阅读:50 留言:0更新日期:2023-03-29 19:55
本申请提供了一种硅棒支撑装置、上料装置及抛光机,涉及硅棒加工技术领域,旨在解决相关技术中经过抛光的硅棒表面经常出现线痕或抛光过程中磨量异常的问题。硅棒支撑装置包括设置在支撑座上的两根支撑件,两根支撑件间隔设置;支撑件的第一端沿朝向硅棒的方向凸起形成第一支撑部,支撑件的第二端沿朝向硅棒的方向凸起形成第二支撑部,且第一支撑部和第二支撑部之间具有凹陷部;一个支撑件的凹陷部与另一个支撑件的凹陷部对齐;第一支撑部用于支撑硅棒的第一端,第二支撑部用于支撑硅棒的第二端。支撑件支撑硅棒的第一端和第二端,而悬空第一端和第二端之间的中段,使硅棒的位置更加稳固,不容易发生倾斜。不容易发生倾斜。不容易发生倾斜。

【技术实现步骤摘要】
硅棒支撑装置、上料装置及硅棒抛光机


[0001]本专利技术涉及硅棒加工
,特别是涉及一种硅棒支撑装置、上料装置及硅棒抛光机。

技术介绍

[0002]在制备用于太阳能电池的硅棒时,其中一个工序是抛光半成品硅棒。
[0003]在抛光工序中,通常是将硅棒放置在硅棒支撑装置上,通过夹紧机构夹紧后送入抛光机中,以使抛光机的夹持机构夹持硅棒并进行抛光。
[0004]然而,经过抛光的硅棒表面经常出现线痕或抛光过程中磨量异常。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种硅棒支撑装置、上料装置及硅棒抛光机,旨在解决相关技术中经过抛光的硅棒表面经常出现线痕或抛光过程中磨量异常的问题。
[0006]第一方面,本申请提供了一种硅棒支撑装置,包括设置在支撑座上的两根支撑件,所述两根支撑件间隔设置;所述支撑件的第一端沿朝向硅棒的方向凸起形成第一支撑部,所述支撑件的第二端沿朝向硅棒的方向凸起形成第二支撑部,且所述第一支撑部和所述第二支撑部之间具有凹陷部;一个支撑件的凹陷部与另一个支撑件的凹陷部对齐;所述第一支撑部用于支撑硅棒的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒支撑装置,其特征在于,包括设置在支撑座上的两根支撑件,所述两根支撑件间隔设置;所述支撑件的第一端沿朝向硅棒的方向凸起形成第一支撑部,所述支撑件的第二端沿朝向硅棒的方向凸起形成第二支撑部,且所述第一支撑部和所述第二支撑部之间具有凹陷部;一个支撑件的凹陷部与另一个支撑件的凹陷部对齐;所述第一支撑部用于支撑硅棒的第一端,所述第二支撑部用于支撑硅棒的第二端。2.根据权利要求1所述的硅棒支撑装置,其特征在于,所述第一支撑部和所述第二支撑部朝向硅棒的面与所述凹陷部的底面之间的距离大于或等于1mm。3.根据权利要求1所述的硅棒支撑装置,其特征在于,所述第一支撑部和所述第二支撑部上与硅棒接触的棱角设有倒角结构。4.根据权利要求1所述的硅棒支撑装置,其特征在于,所述第一支撑部和所述第二支撑部朝向硅...

【专利技术属性】
技术研发人员:任帅陆宇海金明马小林
申请(专利权)人:银川隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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