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本申请提供了一种硅棒支撑装置、上料装置及抛光机，涉及硅棒加工技术领域，旨在解决相关技术中经过抛光的硅棒表面经常出现线痕或抛光过程中磨量异常的问题。硅棒支撑装置包括设置在支撑座上的两根支撑件，两根支撑件间隔设置；支撑件的第一端沿朝向硅棒的方向...
该专利属于银川隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过银川隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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