一种钢带传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种钢带传输装置。该钢带传输装置主要包括转轴、上转盘、下转盘和钢带绝缘组件。其中转轴上设置有上转盘和下转盘，上转盘上设置有上钢带，下转盘上设置有下钢带，转轴能够驱动上转盘和/或下转盘进行转动。钢带绝缘组件套设在转轴上，下转盘设置在钢带绝缘组件上，钢带绝缘组件被配置为绝缘下钢带和转轴。本实用新型专利技术提供的钢带传输装置结构简单，能够使上钢带和下钢带绝缘，避免下钢带电镀上金属，提高产品良率和品质；同时能够延长电解液的使用寿命，节约成本。节约成本。节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种钢带传输装置


[0001]本技术涉及半导体电镀
，尤其涉及一种钢带传输装置。

技术介绍

[0002]在利用半导体电镀设备加工电镀产品时，需要对产品进行通电，使得电解工艺槽体内的铜电镀至产品上。在实际生产过程中，由于下钢带是和产品一起被浸没在电解液中的，因此会出现铜被电镀到下钢带上的现象，从而影响产品镀铜的均匀性，影响产品的良率和品质。同时，下钢带上被镀铜后，在下钢带传输的过程中会导致下钢带上的铜掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的现象，缩短电解液的使用寿命，增加成本。
[0003]因此，亟需设计一种钢带传输装置，来解决以上技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种钢带传输装置，结构简单，能够使上钢带和下钢带绝缘，避免下钢带镀金属，提高产品良率和品质；能够延长电解液的使用寿命，节约成本。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]本技术提供一种钢带传输装置，包括：
[0007]转轴，所述转轴上设置有上转盘和下转盘，所述上转盘上设置有上钢带，所述下转盘上设置有下钢带，所述转轴能够驱动所述上转盘和/或所述下转盘进行转动；
[0008]钢带绝缘组件，所述钢带绝缘组件套设在所述转轴上，所述下转盘设置在所述钢带绝缘组件上，所述钢带绝缘组件被配置为绝缘所述下钢带和所述转轴。
[0009]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件包括第一绝缘部和第二绝缘部，所述第一绝缘部与所述第二绝缘部一体成型，所述第一绝缘部套设在所述转轴上，所述第二绝缘部位于所述第一绝缘部的下方，所述第二绝缘部用于支撑所述下转盘。
[0010]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部的截面和所述第二绝缘部的截面均呈圆形，且所述第二绝缘部的直径大于所述第一绝缘部的直径。
[0011]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述下转盘上开设有第一安装孔，所述第二绝缘部上开设有第二安装孔，所述钢带传输装置包括固定件，所述固定件穿设在所述第一安装孔和所述第二安装孔中。
[0012]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述第一绝缘部内壁上凸设有凸出部，所述凸出部将所述第一绝缘部限定出第一容置空间和第二容置空间；所述转轴上设置有第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承之间限定出第三容置空间，所述凸出部容置在所述第三容置空间内，所述第一轴承容置于所述第一容置空间，所述第二轴承容置于所述第二容置空间。
[0013]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括拖轮，所述拖轮套设在所述转轴上，且所述拖轮设置在所述钢带绝缘组件的下方，所述拖轮被配置为托衬所述钢带绝缘组件。
[0014]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述转轴上设置有键槽，所述钢带传输装置包括花键，所述花键设置在所述键槽内，所述上转盘通过所述花键装配在所述转轴上。
[0015]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带绝缘组件为硅胶件。
[0016]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置包括上连接板和下连接板，所述转轴的两端分别与所述上连接板和所述下连接板连接。
[0017]作为一种钢带传输装置的可选技术方案，所述钢带传输装置还包括架体，所述上连接板和所述下连接板均固定连接在所述架体上。
[0018]本技术的有益效果至少包括：
[0019]本技术提供一种钢带传输装置，该钢带传输装置主要包括转轴、上转盘、下转盘和钢带绝缘组件。其中转轴上设置有上转盘和下转盘，上转盘上设置有上钢带，下转盘上设置有下钢带，转轴能够驱动上转盘和/或下转盘进行转动。钢带绝缘组件套设在转轴上，下转盘设置在钢带绝缘组件上，钢带绝缘组件被配置为绝缘下钢带和转轴。通过在下转盘与转轴之间设置钢带绝缘组件，进而实现转轴与下钢带的绝缘，这样使得转轴上的电流无法传递至下转盘，进而也就使得下钢带无法实现电流的导通，从而使得电解工艺槽体内的电解液无法电镀至下钢带上，保证了下钢带的稳定性和可靠性，能够避免下钢带由于电镀上金属后在传输过程中导致下钢带上的金属掉落入电解工艺槽体内，从而出现污染电解液的危险，也就是说，避免了电解液被污染，延长电解液的使用寿命，节约成本。同时，提升产品电镀的均匀性，提高产品良率。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例所提供的钢带传输装置(去除架体)的结构示意图；
[0022]图2为图1中A处的局部放大图；
[0023]图3为本技术实施例所提供的钢带传输装置(去除架体)在另一视角下的结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例所提供的钢带传输装置(去除架体、上连接板和下连接板)的爆炸图；
[0025]图5为本技术实施例所提供的钢带传输装置的结构示意图。
[0026]附图标记
[0027]100、转轴；110、第一轴承；120、第二轴承；130、拖轮；140、键槽；
[0028]200、上转盘；
[0029]300、下转盘；310、第一安装孔；
[0030]400、钢带绝缘组件；410、第一绝缘部；4101、凸出部；420、第二绝缘部；430、第二安装孔；
[0031]500、上连接板；600、下连接板；700、架体。
具体实施方式
[0032]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0033]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0035]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钢带传输装置，其特征在于，包括：转轴(100)，所述转轴(100)上设置有上转盘(200)和下转盘(300)，所述上转盘(200)上设置有上钢带，所述下转盘(300)上设置有下钢带，所述转轴(100)能够驱动所述上转盘(200)和/或所述下转盘(300)进行转动；钢带绝缘组件(400)，所述钢带绝缘组件(400)套设在所述转轴(100)上，所述下转盘(300)设置在所述钢带绝缘组件(400)上，所述钢带绝缘组件(400)被配置为绝缘所述下钢带和所述转轴(100)。2.根据权利要求1所述的钢带传输装置，其特征在于，所述钢带绝缘组件(400)包括第一绝缘部(410)和第二绝缘部(420)，所述第一绝缘部(410)与所述第二绝缘部(420)一体成型，所述第一绝缘部(410)套设在所述转轴(100)上，所述第二绝缘部(420)位于所述第一绝缘部(410)的下方，所述第二绝缘部(420)用于支撑所述下转盘(300)。3.根据权利要求2所述的钢带传输装置，其特征在于，所述第一绝缘部(410)的截面和所述第二绝缘部(420)的截面均呈圆形，且所述第二绝缘部(420)的直径大于所述第一绝缘部(410)的直径。4.根据权利要求2所述的钢带传输装置，其特征在于，所述下转盘(300)上开设有第一安装孔(310)，所述第二绝缘部(420)上开设有第二安装孔(430)，所述钢带传输装置包括固定件，所述固定件穿设在所述第一安装孔(310)和所述第二安装孔(430)中。5.根据权利要求2所述的钢带传输装置，其特征在于，所述第一绝缘部(410)内壁上凸设有凸出部(4101...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，方荣平，赵改兵，殷玲飞，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：