一种晶圆用自动清洗槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆用自动清洗槽，涉及晶圆清洗技术领域，包括超声波清洗槽,所述超声波清洗槽的内腔转动设置有转轴，所述转轴的右端贯穿所述超声波清洗槽并与通过连接杆与第二抱闸电机外壳固定连接的安装环固定连接，所述第二抱闸电机的输出轴上固定有限位块，所述第二抱闸电机的输出轴和限位块均与转动设置在所述转轴内腔的螺杆一端插接，所述螺杆上安装定位单元。本实用新型专利技术结构合理，可同时对多个晶圆同时进行夹持固定，无需单个进行固定，操作方便简单，且在利用定位单元对晶圆夹持完毕后，第二抱闸电机进行抱闸，螺杆无法转动，可有效防止定位单元因超声波清洗槽工作时产生的震动而减弱对晶圆的夹持固定效果。时产生的震动而减弱对晶圆的夹持固定效果。时产生的震动而减弱对晶圆的夹持固定效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆用自动清洗槽


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，特别涉及一种晶圆用自动清洗槽。

技术介绍

[0002]半导体晶圆片清洗旨在去除半导体晶圆片制造过程中引入的各种污染物质，半导体晶圆片清洗质量的优劣对晶圆片的成品率以及可靠性有非常大的影响。
[0003]针对申请号为CN202020375691.4名称为一种多通道晶圆体清洗槽的中国专利文件，包括清洗槽、转动轴和中空腔，所述清洗槽的一侧通过安装板安装有超声波发生器，所述清洗槽的壳体内设置有中空腔，且中空腔内通过螺栓安装有保温棉，所述清洗槽内表层设置有防腐固化层，所述清洗槽内壁一侧嵌设有一号轴承，所述清洗槽内壁另一侧嵌设有轴套，所述一号轴承和轴套之间设置有转动轴，所述转动轴的底部通过螺栓安装有支撑杆，所述支撑杆的底部焊接有夹具，所述夹具内设置有橡胶压块，所述橡胶压块一侧嵌设有二号轴承，所述夹具的一侧设置有螺纹套，且螺纹套内贯穿有压紧螺杆，所述压紧螺杆的一端部通过定位螺钉固定在二号轴承的内转动圈上。
[0004]但上述设备在使用时存在以下问题：
[0005]一：需要逐一对放置在夹具上的晶圆进行定位固定，比较麻烦；
[0006]二：在利用超声清洗时，气泡爆炸会使得压紧螺杆产生震动发生松动，从而降低对晶圆的紧固效果。
[0007]因此，本申请提供了一种晶圆用自动清洗槽来满足需求。

技术实现思路

[0008]本申请的目的在于提供一种晶圆用自动清洗槽，利用第二抱闸电机带动螺杆旋转，利用螺杆驱动若干个定位单元运动对多个晶圆同时进行夹持固定，无需单个进行固定，操作方便简单，且在利用定位单元对晶圆夹持完毕后，第二抱闸电机进行抱闸，螺杆无法转动，可有效防止定位单元因超声波清洗槽工作时产生的震动而减弱对晶圆的夹持固定效果。
[0009]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆用自动清洗槽，包括超声波清洗槽,所述超声波清洗槽的内腔转动设置有转轴，所述转轴的右端贯穿所述超声波清洗槽并与通过连接杆与第二抱闸电机外壳固定连接的安装环固定连接，所述第二抱闸电机的输出轴上固定有限位块，所述第二抱闸电机的输出轴和限位块均与转动设置在所述转轴内腔的螺杆一端插接，所述螺杆上安装有若干个可同时对多个晶圆进行夹持固定的定位单元，所述转轴的右端通过齿轮与固定在所述超声波清洗槽外壁上的第一抱闸电机的输出轴啮合连接，所述第一抱闸电机和第二抱闸电机与所述超声波清洗槽外壁上的控制器电性连接。
[0010]优选的，所述定位单元包括分别螺纹套接在所述螺杆的正向螺纹段和反向螺纹段上的两个螺纹管和对称固定安装在所述转轴外壁上的两个呈V形夹角设置的斜柱，两个所
述螺纹管的上端均固定有立柱，且所述立柱的上端穿过所述转轴上设有的上开口并与夹持块固定连接，所述夹持块的夹持端面上固定连接有弹性夹持垫，两个所述斜柱的上端均固定有U形的限位支撑块。
[0011]优选的，其中一个所述弹性夹持垫上设置有凹槽，且所述凹槽内安装有压力传感器，所述压力传感器与所述控制器信号连接。
[0012]优选的，所述转轴的底部与所述上开口相对设置有下开口。
[0013]优选的，所述上开口和下开口的内腔均固定安装有若干个加强柱。
[0014]优选的，所述转轴的左端与安装在所述超声波清洗槽内壁上的套管活动插接，所述转轴的右端通过第一轴承与所述超声波清洗槽转动连接。
[0015]优选的，所述螺杆的左端固定有柱形插杆，且所述柱形插杆的左端与所述转轴内壁上设有的插孔插接，所述螺杆的右端通过第二轴承与所述转轴转动连接，所述第二轴承的安装端、所述安装环的安装端和所述转轴的安装端通过螺栓、螺母固定在一起。
[0016]综上，本技术的技术效果和优点：
[0017]1、本技术结构合理，利用第二抱闸电机带动螺杆旋转，利用螺杆驱动若干个定位单元运动对多个晶圆同时进行夹持固定，无需单个进行固定，操作方便简单，且在利用定位单元对晶圆夹持完毕后，第二抱闸电机进行抱闸，螺杆无法转动，可有效防止定位单元因超声波清洗槽工作时产生的震动而减弱对晶圆的夹持固定效果，清洗完毕后，控制第一抱闸电机反向转动使得转轴恢复原位后再进行抱闸，可防止转轴自转；
[0018]2、本技术中，与上开口相对设置有下开口，其开口的设置为了防止通过上开口进入转轴内部并在其内部堆积造成螺杆的运动卡死，下开口的设置使得灰尘无法在转轴内形成堆积；
[0019]3、本技术中，上开口和下开口的内腔均固定安装有若干个加强柱，可通过加强柱增强转轴整体的结构强度，防止转轴因所承载的晶圆过多导致弯曲变形。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术立体结构示意图；
[0022]图2为本技术转轴结构示意图；
[0023]图3为本技术图2转轴拆分结构示意图；
[0024]图4为本技术图3中定位单元结构示意图；
[0025]图5为本技术图2中第二抱闸电机结构示意图；
[0026]图6为本技术图3中转轴侧视截面图。
[0027]图中：1、超声波清洗槽；2、转轴；3、第一抱闸电机；4、齿轮；5、第二抱闸电机；51、安装环；52、限位块；6、定位单元；61、斜柱；62、限位支撑块；63、螺纹管；64、立柱；65、夹持块；66、弹性夹持垫；67、压力传感器；7、第一轴承；8、上开口；9、螺杆；10、第二轴承；11、加强柱；12、下开口；13、柱形插杆；14、套管。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例：参考图1
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5所示的一种晶圆用自动清洗槽，包括超声波清洗槽1,超声波清洗槽1的内腔转动设置有转轴2，转轴2的右端贯穿超声波清洗槽1并与通过连接杆与第二抱闸电机5外壳固定连接的安装环51固定连接，第二抱闸电机5的输出轴上固定有限位块52，第二抱闸电机5的输出轴和限位块52均与转动设置在转轴2内腔的螺杆9一端插接，螺杆9上安装有若干个可同时对多个晶圆进行夹持固定的定位单元6，转轴2的右端通过齿轮4与固定在超声波清洗槽1外壁上的第一抱闸电机3的输出轴啮合连接，第一抱闸电机3和第二抱闸电机5与超声波清洗槽1外壁上的控制器电性连接，在使用时，可将多个晶圆分别放置在相对应的定位单元6上，通过第二抱闸电机5工作带动螺杆9运动，利用螺杆9驱动若干个定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用自动清洗槽，包括超声波清洗槽（1）,所述超声波清洗槽（1）的内腔转动设置有转轴（2），其特征在于：所述转轴（2）的右端贯穿所述超声波清洗槽（1）并与通过连接杆与第二抱闸电机（5）外壳固定连接的安装环（51）固定连接，所述第二抱闸电机（5）的输出轴上固定有限位块（52），所述第二抱闸电机（5）的输出轴和限位块（52）均与转动设置在所述转轴（2）内腔的螺杆（9）一端插接，所述螺杆（9）上安装有若干个可同时对多个晶圆进行夹持固定的定位单元（6），所述转轴（2）的右端通过齿轮（4）与固定在所述超声波清洗槽（1）外壁上的第一抱闸电机（3）的输出轴啮合连接，所述第一抱闸电机（3）和第二抱闸电机（5）与所述超声波清洗槽（1）外壁上的控制器电性连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆用自动清洗槽，其特征在于：所述定位单元（6）包括分别螺纹套接在所述螺杆（9）的正向螺纹段和反向螺纹段上的两个螺纹管（63）和对称固定安装在所述转轴（2）外壁上的两个呈V形夹角设置的斜柱（61），两个所述螺纹管（63）的上端均固定有立柱（64），且所述立柱（64）的上端穿过所述转轴（2）上设有的上开口（8）并与夹持块（65）固定连接，所述夹持块（65）的夹持端面上固定连接有弹性夹持垫（66），两个所述斜柱（61）的上端均固...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思远，韩五静，王晨，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：