一种光刻薄膜测试用的加热板结构制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻薄膜测试用的加热板结构技术领域，具体为一种光刻薄膜测试用的加热板结构，包括加热板，加热板上端面设置弧形槽，加热板上端面开设矩形槽，矩形槽连接具有角度调节功能的载台机构；通过扳手转动螺杆，螺杆的转动，使凸起块沿着矩形槽滑动，同时凸起块端部沿着倒斜面滑动，随着凸起块端部的滑动，真空隔热板带动翻转座主体沿着弧形槽旋转，从而实现对真空隔热板的翻转，翻转座主体转动将带动支撑轴转动，一组支撑轴带动指针翻转，指针指向角度测量尺上的刻度值为真空隔热板的翻转角度，实现对真空隔热板的角度调节，因此通过指针与角度测量尺的辅助，工作人员可快速精准调节真空隔热板与加热板之间的角度。快速精准调节真空隔热板与加热板之间的角度。快速精准调节真空隔热板与加热板之间的角度。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻薄膜测试用的加热板结构


[0001]本技术涉及光刻薄膜测试用的加热板结构
，具体为一种光刻薄膜测试用的加热板结构。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，半导体器件的特征尺寸(CD)变得越来越小，光刻薄膜在光刻过程中所采用的烘焙条件对半导体器件制程的影响也越来越大。光刻薄膜中的各层材料都是由不同的厂商提供，为了光刻过程最优化，在涂覆后的烘焙过程中，需要考虑各层材料性质，使得选取的烘焙条件综合的满足各层发挥光刻作用最优化。
[0003]现有技术进行光刻薄膜烘焙测试装置使用过程中，该烘焙测试装置的反应腔的底部为加热器，用于对其上方的加热板加热，在加热器的上方设置有加热板，用于在其上斜放控片，控片是测试用的半导体器件，将加热器加热的热量通过加热板均匀的传导到控片上，加热板上设置突起物，控片一端位于突起物上，另一端直接接触加热板，因此控片离加热板越近端温度越高，该突起物的升降高度为0～10毫米，放置的控片与加热板之间存在的角度为0～2度，适用于12寸制程或8寸制程的控片，因此在测试不同制程的光刻薄膜时，需要调节控片与加热板之间角度，而实际操作过程中，需要调节突起物的高度，为了确保突起物高度的精确，因此需要借助测量工具反复光刻薄膜测试用的加热板结构进行测量，从而使突起物的高度调节比较麻烦，进而影响光刻薄膜烘焙测试的效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光刻薄膜测试用的加热板结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻薄膜测试用的加热板结构，包括加热板，加热板上端面设置弧形槽，加热板上端面开设矩形槽，矩形槽连接具有角度调节功能的载台机构；
[0006]载台机构包括真空隔热板，真空隔热板一端设置翻转座机构，真空隔热板另一端设置倒斜面，倒斜面贴合凸起块，凸起块螺接螺杆。
[0007]优选的，翻转座机构包括翻转座主体，翻转座主体上设置放置槽，翻转座主体两端对称固定连接两组支撑轴，支撑轴旋接支座，一组支座上设置角度测量尺，一组支撑轴一端固定连接指针。
[0008]优选的，真空隔热板一端固定连接翻转座主体，螺杆两端设置两组轴承，轴承嵌入矩形槽的内壁，凸起块滑动连接矩形槽。
[0009]优选的，翻转座主体平行于弧形槽，并且翻转座主体转动连接弧形槽。
[0010]优选的，支撑轴上设置轴承，轴承嵌入支座，支座固定在加热板上。
[0011]优选的，指针与角度测量尺山的零度刻度线平行。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.当需要对光刻薄膜涂覆进行测试时，首先根据实际情况控片的制程，调节真空隔热板与加热板之间的角度，通过扳手转动螺杆，螺杆的转动，使凸起块沿着矩形槽滑动，同时凸起块端部沿着倒斜面滑动，随着凸起块端部的滑动，真空隔热板带动翻转座主体沿着弧形槽旋转，从而实现对真空隔热板的翻转。
[0014]2.翻转座主体转动将带动支撑轴转动，一组支撑轴带动指针翻转，指针指向角度测量尺上的刻度值为真空隔热板的翻转角度，实现对真空隔热板的角度调节，因此通过指针与角度测量尺的辅助，工作人员可快速精准调节真空隔热板与加热板之间的角度。
附图说明
[0015]图1为本技术示意图。
[0016]图2为本技术剖视示意图。
[0017]图3为本技术翻转座机构示意图。
[0018]图中：1、加热板；2、弧形槽；3、矩形槽；4、载台机构；401、真空隔热板；402、翻转座机构；403、倒斜面；404、凸起块；405、螺杆；4021、翻转座主体；4022、放置槽；4023、支撑轴；4024、支座；4025、角度测量尺；4026、指针。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种光刻薄膜测试用的加热板结构，包括加热板1，加热板1上端面设置弧形槽2，加热板1上端面开设矩形槽3，矩形槽3连接具有角度调节功能的载台机构4，载台机构4包括真空隔热板401，真空隔热板401一端设置翻转座机构402，真空隔热板401另一端设置倒斜面403，倒斜面403贴合凸起块404，凸起块404螺接螺杆405，真空隔热板401一端固定连接翻转座主体4021，螺杆405两端设置两组轴承，轴承嵌入矩形槽3的内壁，凸起块404滑动连接矩形槽3，其中加热器固定在加热板1的下端面，光刻薄膜涂覆在控片上，控片放置在真空隔热板401上，并且控片一端位于放置槽4022内，真空隔热板401它有效地避免空气对流引起的热传递，因此导热系数可大幅度降低，并且不含有任何ODS材料，具有环保和高效节能的特性，具有优异的保温隔热效果，当需要对光刻薄膜涂覆进行测试时，首先根据实际情况控片的制程，调节真空隔热板401与加热板1之间的角度，通过扳手转动螺杆405，螺杆405的转动，使凸起块404沿着矩形槽3滑动，同时凸起块404端部沿着倒斜面403滑动，随着凸起块404端部的滑动，真空隔热板401带动翻转座主体4021沿着弧形槽2旋转，从而实现对真空隔热板401的翻转。
[0021]翻转座机构402包括翻转座主体4021，翻转座主体4021上设置放置槽4022，翻转座主体4021两端对称固定连接两组支撑轴4023，支撑轴4023旋接支座4024，一组支座4024上设置角度测量尺4025，一组支撑轴4023一端固定连接指针4026，翻转座主体4021平行于弧形槽2，并且翻转座主体4021转动连接弧形槽2，支撑轴4023上设置轴承，轴承嵌入支座4024，支座4024固定在加热板1上，指针4026与角度测量尺4025山的零度刻度线平行，其中
翻转座主体4021转动将带动支撑轴4023转动，一组支撑轴4023带动指针4026翻转，指针4026指向角度测量尺4025上的刻度值为真空隔热板401的翻转角度，实现对真空隔热板401的角度调节，因此通过指针4026与角度测量尺4025的辅助，工作人员可快速精准调节真空隔热板401与加热板1之间的角度，调节完毕后，直接将涂覆有光刻薄膜的控片放置在真空隔热板401上即可。
[0022]使用过程中，通过扳手转动螺杆405，螺杆405的转动，使凸起块404沿着矩形槽3滑动，同时凸起块404端部沿着倒斜面403滑动，随着凸起块404端部的滑动，真空隔热板401带动翻转座主体4021沿着弧形槽2旋转，翻转座主体4021转动将带动支撑轴4023转动，一组支撑轴4023带动指针4026翻转，指针4026指向角度测量尺4025上的刻度值为真空隔热板401的翻转角度，调节完毕后，直接将涂覆有光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻薄膜测试用的加热板结构，包括加热板(1)，所述加热板(1)上端面设置弧形槽(2)，加热板(1)上端面开设矩形槽(3)，其特征在于：所述矩形槽(3)连接具有角度调节功能的载台机构(4)；所述载台机构(4)包括真空隔热板(401)，所述真空隔热板(401)一端设置翻转座机构(402)，真空隔热板(401)另一端设置倒斜面(403)，所述倒斜面(403)贴合凸起块(404)，所述凸起块(404)螺接螺杆(405)。2.根据权利要求1所述的一种光刻薄膜测试用的加热板结构，其特征在于：所述翻转座机构(402)包括翻转座主体(4021)，所述翻转座主体(4021)上设置放置槽(4022)，翻转座主体(4021)两端对称固定连接两组支撑轴(4023)，所述支撑轴(4023)旋接支座(4024)，一组所述支座(4024)上设置角度测量尺(4025)，一组所...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟，陆永荣，刘洁，王海峰，
申请(专利权)人：深圳市志凌伟业光电有限公司，
类型：新型
国别省市：