一种灯光自动控制系统和光刻机技术方案

本实用新型专利技术提供一种灯光自动控制系统和光刻机，所述灯光自动控制系统包括：控制装置和控制电路；其中，所述控制电路设有第一开关和灯泡；所述控制装置被配置为接收到所述光刻机内晶圆的加工信号，所述控制装置控制所述第一开关断开，且所述灯泡关闭。本实用新型专利技术提供的灯光自动控制系统用于所述光刻机，通过所述控制装置及时关闭所述灯泡，从而避免在铜以及黄光制程中，晶圆因所述灯泡发出的灯光而发生光交联的现象，以及降低晶圆出现铜腐蚀和氧化缺陷的风险。缺陷的风险。缺陷的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种灯光自动控制系统和光刻机


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种灯光自动控制系统和光刻机。

技术介绍

[0002]半导体制造过程中，在进行铜以及黄光制程时，需要在全黄光条件底下进行，以避免造成晶圆表面材料受到白光照射后，产生腐蚀、氧化以及光交联的缺陷而造成晶圆电性异常，并由此导致晶圆良率偏低的问题。在现有技术中，通常在机台的全区域皆设置为黄光灯，避免上述情形发生。然而机台内部常因需要维修保养而需要在充足光源环境下进行，因此机台内仍配置部分白光灯。但是常发生维修保养完毕后，操作人员忘记关闭白光灯而导致上述缺陷产生。
[0003]因此，如何提供一种灯光自动控制系统和光刻机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种灯光自动控制系统和光刻机，以解决现有技术存在的机台内的白光灯无法自动关闭，使得晶圆表面材料受到白光照射后，产生腐蚀、氧化以及光交联的缺陷，以及因电性异常导致晶圆良率偏低的问题。
[0005]为了达到上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种灯光自动控制系统，其特征在于，包括：控制装置和控制电路；其中，所述控制电路设有第一开关和灯泡；所述控制装置被配置为接收到光刻机内晶圆的加工信号，所述控制装置控制所述第一开关断开，且所述灯泡关闭。2.如权利要求1所述的一种灯光自动控制系统，其特征在于，所述控制电路包括：第一控制回路、第二控制回路和前端回路；其中，所述第一控制回路和所述第二控制回路并联；所述第一控制回路和所述第二控制回路并联后与所述前端回路串联；所述灯泡设置在所述前端回路上。3.如权利要求2所述的一种灯光自动控制系统，其特征在于，所述控制电路还包括一控制芯片，所述控制芯片包括数个输入端和数个输出端；其中，所述第一控制回路和所述第二控制回路分别与所述控制芯片的不同所述输入端串联；所述第一控制回路和所述第二控制回路分别与所述控制芯片串联后，通过所述控制芯片的输出端与所述前端回路串联。4.如权利要求3所述的一种灯光自动控制系统，其特征在于，还包括第二开关；其中，所述第一开关设置在所述第一控制回路上；所述第二开关设置在所述第二控制回路上。5.如权利要求4所述的一种灯光自动控制系统，其特征在于，所述第一控制回路设有第一电阻，所述第二控制回路设有第二电阻，所述前端回路设有第三电阻；其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林士闵，刘苏涛，苏财宝，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：