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本实用新型提供一种灯光自动控制系统和光刻机，所述灯光自动控制系统包括：控制装置和控制电路；其中，所述控制电路设有第一开关和灯泡；所述控制装置被配置为接收到所述光刻机内晶圆的加工信号，所述控制装置控制所述第一开关断开，且所述灯泡关闭。本实用新...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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