一种用于划片机的视觉检测机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于划片机的视觉检测机构，包括连接于Y轴装配座的视觉检测机构，所述视觉检测机构包括：连接于所述Y轴装配座一侧的连接件；设于所述连接件背离所述Y轴装配座一侧的装配座和支撑座，所述支撑座背离所述连接件的一侧设置有与横向直线导轨滑动连接的滑块。本申请通过设置的滑块与划片机上的横向直线导轨进行滑动连接，使其视觉检测机构在Y轴驱动组件的驱动下能够平稳的移动，减少视觉检测机构的晃动，从而便于视觉检测机构中的相机快速精确的检测产品，而设置的遮挡板在驱动件的作用下可根据需要打开防护罩中的透光孔，用于检测产品以及划切时保护CCD相机组件，减少CCD相机组件的损坏。减少CCD相机组件的损坏。减少CCD相机组件的损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种用于划片机的视觉检测机构


[0001]本技术涉及划片机领域，尤其涉及一种用于划片机的视觉检测机构。

技术介绍

[0002]晶圆是一种制作半导体电路的硅晶片，一般会在晶圆上设置若干组电路模块，利用划片机将其切割方能使用。目前现有划片机上的视觉检测机构一般固定安装于机床横向驱动机构的装配座上，在使用时利用横向驱动机构将其移到到产品的上方进行拍摄，由于视觉检测机构是通过连接块安装于装配座下方主轴的一侧，在移动过程中连接块容易受力产生晃动，从而影响视觉检测机构中的相机检测精度，且相机的底部由于无法进行遮挡，在划切过程中，容易导致相机的底部受损。针对于此，我们研究了一种用于划片机的视觉检测机构。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种用于划片机的视觉检测机构，具有移动稳定以及保护相机镜头的优点。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种用于划片机的视觉检测机构，包括连接于Y轴装配座的视觉检测机构，所述视觉检测机构包括：连接于所述Y轴装配座一侧的连接件；设于所述连接件背离所述Y轴装配座一侧的装配座和支撑座，所述支撑座背离所述连接件的一侧设置有与横向直线导轨滑动连接的滑块；竖直设于所述装配座上的CCD相机组件；以及，设于所述CCD相机组件一侧、并用于提供横向水平移动驱动力的驱动件；连接于所述驱动件、且受所述驱动件所提供的驱动力进行横向移动以遮挡或敞开所述CCD相机组件的遮挡板。
[0006]实现上述技术方案，Y轴装配座受Y轴驱动组件所提供的横向驱动力进行Y轴方向横向移动时，带动所连接的视觉检测机构一起移动，视觉检测机构在移动时通过设置的滑块在一侧横向直线导轨上进行平稳的移动，以将CCD相机组件移动到产品的上方进行拍摄，而驱动件和遮挡板的设置用于视觉检测机构进行检测时，由驱动件驱动遮挡板敞开CCD相机组件进行拍摄，而划片机在进行划片工作时，由驱动件驱动遮挡板遮挡CCD相机组件的底部，以保护CCD相机组件。
[0007]作为本申请的一种优选方案，所述连接件上还设置有防护罩，所述装配座、支撑座、CCD相机组件、驱动件和遮挡板设于所述防护罩的内部。
[0008]实现上述技术方案，利用设置的防护罩保护装配座、CCD相机组件、驱动件和遮挡板。
[0009]作为本申请的一种优选方案，所述连接件背离所述装配座的一侧设置有连接块，所述连接块与所述Y轴装配座连接。
[0010]实现上述技术方案，以便于连接件通过连接块与Y轴装配座进行连接固定，其中，连接块上设至少设置有两个竖直的导向块，导向块与Y轴装配座上设置的导向槽连接。
[0011]作为本申请的一种优选方案，所述CCD相机组件包括：连接于所述装配座的镜头；设于所述镜头顶部的CCD相机；以及，设于所述镜头底部的环形光源座。
[0012]实现上述技术方案，环形光源座用于将光线照射在产品上，以便于CCD相机通过镜头拍摄工作台上的产品。
[0013]作为本申请的一种优选方案，所述驱动件设置为气缸，所述气缸的缸体固定于所述防护罩的底部，所述气缸中的活塞杆连接于所述遮挡板。
[0014]实现上述技术方案，由气缸通过活塞杆驱动所连接的遮挡板以遮挡在环形光源座底部的透光孔上。
[0015]作为本申请的一种优选方案，所述防护罩的底部设置有对应所述环形光源座的透光孔。
[0016]实现上述技术方案，以便于镜头以及环形光源座中的灯光通过透光孔。
[0017]本申请的有益效果：
[0018]1.本申请通过设置的滑块与划片机上的横向直线导轨进行滑动连接，使其视觉检测机构在Y轴驱动组件的驱动下能够平稳的移动，减少视觉检测机构的晃动，从而便于视觉检测机构中的相机快速精确的检测产品；
[0019]2.本申请设置的遮挡板在驱动件的作用下可根据需要打开防护罩中的透光孔，用于检测产品以及划切时保护CCD相机组件，减少CCD相机组件的损坏。
附图说明
[0020]图1为本申请涉及的示意图。
[0021]图2为申请涉及的视觉检测机构示意图。
[0022]图3为申请涉及的滑块与横向直线导轨连接示意图。
[0023]图中：1、视觉检测机构；2、Y轴装配座；201、横向直线导轨；3、连接件；301、连接块；4、装配座；5、CCD相机组件；501、镜头；502、CCD相机；503、环形光源座；6、驱动件；7、遮挡板；8、防护罩；支撑座9；滑块10。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0025]实施例：
[0026]一种用于划片机的视觉检测机构，参照图1、图2和图3，包括划片机以及安装于划片机用于提供主轴横向水平移动的Y轴驱动组件，Y轴驱动组件上安装有Y轴装配座2，而Y轴装配座2上安装有视觉检测机构1，视觉检测机构1包括固定连接于Y轴装配座2一侧的连接件3，连接件3背离Y轴装配座2的一侧安装有装配座4和支撑座9，支撑座9背离连接件3的一侧安装有与横向直线导轨201滑动连接的滑块10，而装配座4上竖直安装有CCD相机组件5，CCD相机组件5的底部一侧安装有用于提供横向水平移动驱动力的驱动件6，驱动件6上连接有遮挡板7，遮挡板7设于CCD相机组件5的底部，受驱动件6所提供的横向驱动力遮挡或敞开CCD相机组件5。在本实施例中，连接件3上安装有防护罩8，防护罩8将装配座4、支撑座9、CCD
相机组件5、驱动件6和遮挡板7置于内部，用于保护各零件，而驱动件采用气缸，气缸的缸体固定于防护罩8的底部，气缸中的活塞杆连接于遮挡板7，在使用时由气缸通过活塞杆驱动所连接的遮挡板7以遮挡在CCD相机组件5的底部。
[0027]参照图2和图3，连接件3背离装配座4的一侧安装有连接块301，连接块301与Y轴装配座2通过螺丝锁紧在一起。在本实施例中，连接块301上设至少设置有两个竖直的导向块，导向块与Y轴装配座2上设置的导向槽连接。在其它实施例中，连接块301上设至少设置有两个定位块，定位块与Y轴装配座2上设置的定位槽连接。
[0028]参照图2，CCD相机组件5包括安装于装配座4上的镜头501，镜头501顶部安装有CCD相机502，而镜头501底部安装有环形光源座503。在本实施例中，镜头501通过连接座与连接件3进行固定，环形光源座503通过支架固定在连接件3上，用于将光线照射在产品上，以便于CCD相机502通过镜头501拍摄工作台上的产品。
[0029]为了便于镜头501拍摄以及环形光源座503中的灯光能够照射在产品上，防护罩8的底部开设有对应环形光源座503的透光孔，而遮挡板7置于透光孔的一侧，用于受驱动件6进行遮挡透光孔或打开透光孔。
[0030]具体的，在实际使用时，Y轴装配座2受Y轴驱动组件所提供的横向驱动力进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于划片机的视觉检测机构，包括连接于Y轴装配座（2）的视觉检测机构（1），其特征在于，所述视觉检测机构（1）包括：连接于所述Y轴装配座（2）一侧的连接件（3）；设于所述连接件（3）背离所述Y轴装配座（2）一侧的装配座（4）和支撑座（9），所述支撑座（9）背离所述连接件（3）的一侧设置有与横向直线导轨（201）滑动连接的滑块（10）；竖直设于所述装配座（4）上的CCD相机组件（5）；以及，设于所述CCD相机组件（5）一侧、并用于提供横向水平移动驱动力的驱动件（6）；连接于所述驱动件（6）、且受所述驱动件（6）所提供的驱动力进行横向移动以遮挡或敞开所述CCD相机组件（5）的遮挡板（7）。2.根据权利要求1所述的一种用于划片机的视觉检测机构，其特征在于，所述连接件（3）上还设置有防护罩（8），所述装配座（4）、支撑座（9）、CCD相机组件（5）、驱动件（6）和遮挡板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：于飞，廖海燕，廖招军，张智广，李旺军，
申请(专利权)人：深圳特斯特半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：