本实用新型专利技术公开了一种用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，包括真空石英窗口，所述的真空石英窗口的内侧设有一片可旋转的石英玻璃，所述的可旋转的石英玻璃侧边连接有旋钮，所述的旋钮通过真空油封延伸到真空石英窗口外，旋钮带动可旋转的石英玻璃围绕自身轴心线转动。在开始进行长时间沉积金刚石时，将可旋转的石英玻璃通过旋钮调整至与真空石英窗口平行的位置。在长时间沉积过程中，当表面吸附和沉积在石英玻璃上的物质严重影响温度观测的时候，将石英玻璃调整至于真空石英窗口，可以继续使用表面干净的真空石英窗口继续监测所沉积金刚石的温度，达到长时间准确测温的目的。目的。目的。
【技术实现步骤摘要】
用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口
[0001]本技术涉及一种用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，尤其是在制备大尺寸、大厚度金刚石自支撑膜的沉积系统中，属于材料制备领域。
技术介绍
[0002]目前，制备金刚石主要使用化学气相沉积法，其中包括微波等离子体化学气相沉积法、直流电弧喷射等离子体化学气相沉积法以及热灯丝化学气相沉积法等广泛使用的方法。这三种方法中微波等离子体化学气相沉积可以沉积最高质量的金刚石，直流电弧喷射等离子体化学气相沉积法在制备金刚石过程中可以获得较快的沉积速率，热灯丝化学气相沉积法可以满足大尺寸金刚石膜的制备需求。
[0003]较慢的沉积速率是阻碍金刚石广泛应用的一个重要原因，尤其是在制备大尺寸、高质量金刚石膜的过程中，这种缺点尤为明显。为了满足人们对大尺寸、大厚度以及高质量金刚石的需求，当前各种主要通过延长沉积时间的方法来实现。
[0004]沉积金刚石的过程中，为了保证沉积工艺的稳定性，需要对沉积的金刚石温度连续不断在线监测。
[0005]鉴于化学气相沉积较高的温度以及较慢的沉积速率，在长时间沉积过程中难免会在真空腔室的窗口上沉积或者吸附上较多物质，这些物质对于测温仪的检测产生较大干扰，导致所测温度与金刚石实际温度存在较大偏差。这种偏差通常会影响工程师对沉积工艺的把控，甚至会导致工程师调整金刚石的沉积工艺，引起制备工艺的波动，导致金刚石的沉积质量受到影响。
[0006]为了避免窗口沉积或者吸附物质对测温产生的影响，通常会在窗口内部添加一个金属挡板。因为金属挡板不是常开的状态，所以无法满足长时间沉积金刚石过程中对样品实时在线测温的需求。
技术实现思路
[0007]鉴于上述过程存在的问题，本技术专利提出一种可以进行长时间实时测温的真空窗口。
[0008]本技术提供的一种用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，可以通过调整内部石英玻璃的角度，减少长时间化学气相沉积过程中粉末以及新产生物质对测温仪的影响，进而达到长时间准确检测沉积温度的目的。
[0009]具体的技术方案为|：
[0010]用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，包括真空石英窗口，所述的真空石英窗口的内侧设有一片可旋转的石英玻璃，所述的可旋转的石英玻璃侧边连接有旋钮，所述的旋钮通过真空油封延伸到真空石英窗口外，旋钮带动可旋转的石英玻璃围绕自身轴心线转动。
[0011]所述的真空石英窗口通过真空法兰和密封真空螺栓安装固定在真空腔体上。
[0012]所述的真空石英窗口上设有石英玻璃。
[0013]在长时间沉积金刚石的过程中，通过调整可旋转的石英玻璃的位置阻挡沉积过程中的粉尘或者沉积物吸附到测温窗口的过程，延长测温窗口布满粉尘和沉积物的时间，达到长时间沉积金刚石膜连续测温的目的。
[0014]可旋转的石英玻璃的运动是由真空油封以及真空腔体外部的旋钮控制的。除此之外，使用真空油封另外目的是用来隔绝空气。
[0015]本技术通过在测温窗口中添加可旋转的石英玻璃，达到延长粉尘以及沉积物覆盖住测温窗口时间的目的，进而实现长时间金刚石沉积过程中连续长时间准确测温的目的。该测温窗口对于保持金刚石沉积过程中工艺的稳定性具有重要意义，值得在实际应用中推广。
附图说明
[0016]图1是本技术的窗口示意图；
[0017]图2是本技术图1的剖面结构示意图；
[0018]图3是真空测温窗口沉积时石英玻璃调整与真空石英窗口平行位置的示意图；
[0019]图4是真空测温窗口沉积时石英玻璃调整与真空石英窗口垂直位置的示意图。
具体实施方式
[0020]结合实施例说明本技术的具体技术方案。
[0021]如图1和图2所示，用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，包括真空石英窗口3，所述的真空石英窗口3上设有石英玻璃。所述的真空石英窗口3通过真空法兰2和密封真空螺栓1安装固定在真空腔体10上。所述的真空石英窗口3的内侧设有一片可旋转的石英玻璃4，所述的可旋转的石英玻璃4侧边连接有旋钮6，所述的旋钮6通过真空油封5延伸到真空石英窗口3外，旋钮6带动可旋转的石英玻璃4围绕自身轴心线转动。
[0022]开机之前，如图3所示，衬底30放置在沉积使用的水冷台20上，两者均位于真空腔体10中。在此之后，调整可旋转的石英玻璃4到与真空石英窗口3平行的位置，测温仪40对准所沉积的金刚石，之后将金刚石的沉积设备开机，开始进行长时间沉积。沉积一定时间之后，石英窗口表面开始吸附或者沉积一些物质影响温度的测定。在该种情况出现之后，通过旋钮6将可旋转的石英玻璃4旋转到与真空石英窗口3垂直的位置，即图4中所示的状态，继续进行后续沉积，通过调整，实现长时间连续测温。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本专利技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口，其特征在于：包括真空石英窗口(3)，所述的真空石英窗口(3)的内侧设有一片可旋转的石英玻璃(4)，所述的可旋转的石英玻璃(4)侧边连接有旋钮(6)，所述的旋钮(6)通过真空油封(5)延伸到真空石英窗口(3)外，旋钮(6)带动可旋转的石英玻璃(4)围绕自身轴心...
【专利技术属性】
技术研发人员：安康，许光宇，吴海平，刘峰斌，崔岩，
申请(专利权)人：北方工业大学，
类型：新型
国别省市：
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