真空腔内变距装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种真空腔内变距装置，用于调整真空腔中相对设置的载板与处理机构之间的距离，真空腔内变距装置包括载板导向机构，载板导向机构包括相对设置的载板架，载板架上设有用于安装载板的载板夹持件；调距机构包括双向调节件，双向调节件的输出端与相对设置的载板架连接，用于同步调节载板架靠近或远离处理机构。通过调距机构可以调整载板架靠近或远离处理机构，通过设置双向调节件调整相对设置的载板上的硅片同步靠近或远离处理机构，实现多个调节部件协同驱动的功能，避免了真空腔的左上、左下控制一侧载板；右上、右下控制另一侧载板，减少了调节距离装置的设置数量，减少设备的成本。减少设备的成本。减少设备的成本。

【技术实现步骤摘要】
真空腔内变距装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种真空腔内变距装置。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池生产中，利用化学气相沉积(CVD)工艺在表面织构化后的N型晶体硅的一面上沉积很薄的I型本征非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜时，载板上的硅片与处理机构之间的距离，是薄膜沉积工艺的重要参数之一。现有生产线中需要设置多组调距机构对相对设置的载板进行调距，从而实现载板上的硅片与处理机构之间距离的改变。由于多组调距机构的设置互相应的增加多组密封以及调节配件，导致现有设备需要装置较多，结构复杂，成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空腔内变距装置，通过双向调节件即可实现多个调节部件协同驱动的功能，减少传统设备中调节距离装置的设置数量。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]真空腔内变距装置，所述真空腔内变距装置用于调整真空腔中的载板与处理机构之间的距离，所述真空腔内变距装置包括：
[0006]载板导向机构，所述载板导向机构包括相对设置的载板架，所述载板架用于安装所述载板；
[0007]调距机构，所述调距机构包括双向调节件，所述双向调节件的输出端与相对设置的所述载板架连接，用于调节所述载板架同步靠近或远离所述处理机构；
[0008]驱动动力部，所述驱动动力部的输出端与所述双向调节件的输入端连接。
[0009]作为优选，所述双向调节件包括双向丝杆和丝杆螺母，所述丝杆螺母成对设置，成对设置的所述丝杆螺母分别与相对设置的两个所述载板架连接，用于同步调节所述载板架的位置。
[0010]作为优选，所述调距机构还包括安装基板，所述安装基板设置在所述真空腔的内壁上，所述安装基板上安置有相对设置的两个转接件，所述双向丝杆的两端分别转接在所述转接件上。
[0011]作为优选，所述载板导向机构还包括导向件，所述导向件与所述载板架连接，对所述载板架导向。
[0012]作为优选，所述导向件包括导轨，所述导轨沿远离所述处理机构的方向延伸设置于所述真空腔的内壁上，所述载板架滑接于所述导轨上。
[0013]作为优选，所述导向件还包括导轨安装板，所述导轨安装板设在所述真空腔的内壁上，所述导轨安置在所述导轨安装板上，所述导轨上滑接有导轨座，每个所述载板架通过所述导轨座与所述导轨滑接。
[0014]作为优选，所述载板导向机构与所述调距机构具有两组以共同安装所述载板，其
中一组设置在所述真空腔的内顶壁，另一组对称地设置在所述真空腔的内底壁。
[0015]作为优选，所述驱动动力部设置在所述真空腔的外部，所述驱动动力部的输出端密封地穿过所述真空腔的外壁与所述双向调节件的输入端连接。
[0016]作为优选，所述驱动动力部的输出端与所述真空腔的外壁之间具有密封件。
[0017]作为优选，所述密封件为磁流体，所述磁流体安装在所述真空腔的外壁上，所述磁流体的输入端与所述驱动动力部的输出端连接，所述磁流体的输出端与所述双向调节件的输入端连接。
[0018]本技术的有益效果：
[0019]通过设置双向调节件调整相对设置的载板上的硅片同步靠近或远离处理机构，实现多个调节部件协同驱动的功能，避免了设置多组调距机构共同来控制载板相对于处理机构之间的距离，减少了调节距离机构的设置数量，进而也减少了密封以及调节配件的设置数量，减少设备的成本，节约资源。
附图说明
[0020]图1是本技术真空腔内变距装置装设有载板的侧视图；
[0021]图2是本技术真空腔内变距装置位于真空腔内的示意图；
[0022]图3是本技术真空腔内变距装置中双向调节件与驱动动力部连接的示意图；
[0023]图4是本技术真空腔内变距装置中位于真空腔内顶壁的载板导向机构与调距机构的示意图；
[0024]图5是本技术真空腔内变距装置位于真空腔内底壁的载板导向机构与调距机构的示意图。
[0025]图中：
[0026]1‑
真空腔；2
‑
载板；3
‑
处理机构；4
‑
载板导向机构；41
‑
载板架；42
‑
载板安装件；43
‑
导向件；431
‑
导轨；432
‑
导轨安装板；433
‑
导轨座；5
‑
调距机构；51
‑
双向调节件；52
‑
安装基板；53
‑
转接件；6
‑
驱动动力部；7
‑
密封件。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0028]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特
征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0031]如图1
‑
5所示，本实施例提供一种真空腔内变距装置，用于调整真空腔1中相对设置的载板2与处理机构3之间的距离，真空腔内变距装置包括载板导向机构4，载板导向机构4包括两个相对设置的载板架41，载板架41上设有用于安装载板2的载板安装件42；还包括调距机构5和驱动动力部6，调距机构5包括双向调节件51，驱动动力部6的输出端与双向调节件51的输入端连接，双向调节件51的输出端与相对设置的载板架41连接，用于同步调节载板架41靠近或远本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空腔内变距装置，其特征在于，所述真空腔内变距装置用于调整真空腔(1)中的载板(2)与处理机构(3)之间的距离，所述真空腔内变距装置包括：载板导向机构(4)，所述载板导向机构(4)包括相对设置的两个载板架(41)，所述载板架(41)用于安装所述载板(2)；调距机构(5)，所述调距机构(5)包括双向调节件(51)，所述双向调节件(51)的输出端与相对设置的所述载板架(41)连接，用于调节所述载板架(41)同步靠近或远离所述处理机构(3)；驱动动力部(6)，所述驱动动力部(6)的输出端与所述双向调节件(51)的输入端连接。2.根据权利要求1所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述双向调节件(51)包括双向丝杆和丝杆螺母，所述丝杆螺母成对设置，成对设置的所述丝杆螺母分别与相对设置的两个所述载板架(41)连接，用于同步调节所述载板架(41)的位置。3.根据权利要求2所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述调距机构(5)还包括安装基板(52)，所述安装基板(52)设置在所述真空腔(1)的内壁上，所述安装基板(52)上安置有相对设置的两个转接件(53)，所述双向丝杆的两端分别转接在所述转接件(53)上。4.根据权利要求1所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述载板导向机构(4)还包括导向件(43)，所述导向件(43)与所述载板架(41)连接，对所述载板架(41)进行导向。5.根据权利要求4所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述导向件(43)包括导轨(431)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：