真空腔内变距装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种真空腔内变距装置，用于调整真空腔中相对设置的载板与处理机构之间的距离，真空腔内变距装置包括载板导向机构，载板导向机构包括相对设置的载板架，载板架上设有用于安装载板的载板夹持件；调距机构包括双向调节件，双向调节件的输出端与相对设置的载板架连接，用于同步调节载板架靠近或远离处理机构。通过调距机构可以调整载板架靠近或远离处理机构，通过设置双向调节件调整相对设置的载板上的硅片同步靠近或远离处理机构，实现多个调节部件协同驱动的功能，避免了真空腔的左上、左下控制一侧载板；右上、右下控制另一侧载板，减少了调节距离装置的设置数量，减少设备的成本。减少设备的成本。减少设备的成本。

【技术实现步骤摘要】
真空腔内变距装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，尤其涉及一种真空腔内变距装置。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池生产中，利用化学气相沉积(CVD)工艺在表面织构化后的N型晶体硅的一面上沉积很薄的I型本征非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜时，载板上的硅片与处理机构之间的距离，是薄膜沉积工艺的重要参数之一。现有生产线中需要设置多组调距机构对相对设置的载板进行调距，从而实现载板上的硅片与处理机构之间距离的改变。由于多组调距机构的设置互相应的增加多组密封以及调节配件，导致现有设备需要装置较多，结构复杂，成本高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空腔内变距装置，通过双向调节件即可实现多个调节部件协同驱动的功能，减少传统设备中调节距离装置的设置数量。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]真空腔内变距装置，所述真空腔内变距装置用于调整真空腔中的载板与处理机构之间的距离，所述真空腔内变距装置包括：
[0006]载板导向机构，所述载板导向机构包括相对设置的载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空腔内变距装置，其特征在于，所述真空腔内变距装置用于调整真空腔(1)中的载板(2)与处理机构(3)之间的距离，所述真空腔内变距装置包括：载板导向机构(4)，所述载板导向机构(4)包括相对设置的两个载板架(41)，所述载板架(41)用于安装所述载板(2)；调距机构(5)，所述调距机构(5)包括双向调节件(51)，所述双向调节件(51)的输出端与相对设置的所述载板架(41)连接，用于调节所述载板架(41)同步靠近或远离所述处理机构(3)；驱动动力部(6)，所述驱动动力部(6)的输出端与所述双向调节件(51)的输入端连接。2.根据权利要求1所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述双向调节件(51)包括双向丝杆和丝杆螺母，所述丝杆螺母成对设置，成对设置的所述丝杆螺母分别与相对设置的两个所述载板架(41)连接，用于同步调节所述载板架(41)的位置。3.根据权利要求2所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述调距机构(5)还包括安装基板(52)，所述安装基板(52)设置在所述真空腔(1)的内壁上，所述安装基板(52)上安置有相对设置的两个转接件(53)，所述双向丝杆的两端分别转接在所述转接件(53)上。4.根据权利要求1所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述载板导向机构(4)还包括导向件(43)，所述导向件(43)与所述载板架(41)连接，对所述载板架(41)进行导向。5.根据权利要求4所述的真空腔内变距装置，其特征在于，所述导向件(43)包括导轨(431)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹤囡，戴佳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：