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本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种真空腔内变距装置，用于调整真空腔中相对设置的载板与处理机构之间的距离，真空腔内变距装置包括载板导向机构，载板导向机构包括相对设置的载板架，载板架上设有用于安装载板的载板夹持件；调距机构包括双向...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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