一种用于光刻胶生产的呼吸阀制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻胶生产技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶生产的呼吸阀。其技术方案包括阀体、阀盖和活动杆，阀体的顶部固定连接有阀盖，阀体的一侧开设有排气口，阀盖的顶部固定安装有延伸至阀体内部的导杆套，导杆套的前端固定连接有观察窗口，阀体的内部固定安装有密封座，导杆套的内部滑动安装有活动杆。本实用新型专利技术通过设置有活动杆、观察窗口和刻度线之间的相互配合，通过窗口观察和刻度线能够了解贮罐内部的气压强度，通过设置有密封槽、滑柱和密封块之间的相互配合，通过滑柱能够使第一阀盘和第二阀盘在移动时保持垂直状态避免偏移，利用密封块插入密封槽，可以提高阀体的密封性。密封性。密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻胶生产的呼吸阀


[0001]本技术涉及光刻胶生产
，具体为一种用于光刻胶生产的呼吸阀。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，呼吸阀是指既保证贮罐空间在一定压力范围内与大气隔绝、又能在超过或低于此压力范围时与大气相通(呼吸)的一种阀门，其作用是防止贮罐因超压或真空导致破坏，同时可减少贮液的蒸发损失，当贮罐内部的压力过强时，需要通过呼吸阀将贮罐内部的气压进行适当的排出，避免气压过强对贮罐造成破坏，其中申请号为“CN207316167U”所公开的“一种用于油罐的安全呼吸阀”，其已经解决了呼吸阀开合时，油蒸汽会残留在阀盘上形成油液，导致阀盘与阀座粘连，影响呼吸阀正常工作的多种弊端，再经过进一步检索发现，申请号为“CN113101765A”所公开的“一种呼吸阀的过滤装置”，其通过具体的技术结构设置，切实的解决了呼吸阀过滤网易附着大量灰尘，造成堵塞，影响呼吸阀的正常使用等技术弊端，但是在实际使用时类似结构的呼吸阀还存在诸多缺陷，如：不方便工作人员较为直观的观察呼吸阀发生泄气的情况，大多都是利用传感器等精密进行监测提示，长期使用会发生故障，维护成本较高，对贮罐内部释放气压后，无法快速的将呼吸阀内部进行密封，所以需要设计一种用于光刻胶生产的呼吸阀。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于光刻胶生产的呼吸阀，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于光刻胶生产的呼吸阀，包括阀体、阀盖和活动杆，所述阀体的顶部固定连接有阀盖，所述阀体的一侧开设有排气口，所述阀盖的顶部固定安装有延伸至阀体内部的导杆套，所述导杆套的前端固定连接有观察窗口，所述阀体的内部固定安装有密封座，所述导杆套的内部滑动安装有活动杆，所述活动杆的外侧分别螺纹安装有与密封座对应的第一阀盘以及第二阀盘，所述密封座与第一阀盘以及第二阀盘之间通过滑柱滑动安装。
[0005]当储罐内部的气压过强时，使气压可以进入到呼吸阀内部，通过气压将第二阀盘向上推动，同时带动第一阀盘与活动杆同步向上移动，通过滑柱能够使第一阀盘和第二阀盘在移动时保持垂直状态，避免发生偏移，当第一阀盘和第二阀盘与密封座进行分离，使气压能够通过缝隙顺着排气口进行排出，当活动杆顺着导杆套向上移动时，通过观察窗口观察活动杆的上升幅度和上升距离，能够清楚了解到贮罐内部释放的气压强度。
[0006]优选的，所述排气口的内部固定安装有过滤网，且排气口的一侧固定连接有防水罩。利用过滤网能够避免外界的尘土进入到阀体内部，通过防水罩可以避免水渍进入到阀体内部。
[0007]优选的，所述观察窗口的表面刻有刻度线，第二阀盘底部的阀体内部固定安装有阻火层。利用刻度线能够清楚了解到贮罐内部释放的气压强度，通过阻火层可以防止火星或明火进行进入到储罐内部，避免光刻胶发生爆炸。
[0008]优选的，所述第一阀盘与阀体内壁之间通过第一推力弹簧活动安装，第二阀盘与阀体内壁之间通过第二推力弹簧活动连接。通过第一推力弹簧与第二推力弹簧的推力作用，能够快速的推动第一阀盘和第二阀盘与密封座之间进行贴合密封。
[0009]优选的，所述第一阀盘与第二阀盘底部固定安装有密封块，密封座的顶部开设有与密封块对应的密封槽。通过密封块与密封槽之间进行卡合，能够提高密封效果。
[0010]优选的，所述阀体的底部固定安装有对接法兰，活动杆与第一阀盘以及第二阀盘之间通过螺旋纹螺纹安装。利用对接法兰可以将阀体与贮罐之间进行固定安装，通过螺旋纹可以方便对第一阀盘与第二阀盘进行调节。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过设置有活动杆、观察窗口和刻度线之间的相互配合，在释放气压时，能够使阀体内的气压顶住第一阀盘与第二阀盘向上移动，使活动杆能够向上移动，通过观察窗口观察活动杆的上升幅度和上升距离，利用刻度线能够清楚了解到贮罐内部释放的气压强度。
[0013]2、通过设置有密封槽、滑柱和密封块之间的相互配合，当贮罐内部释放完气压后，利用第一推力弹簧和第二推力弹簧的推力作用，能够快速的使第一阀盘和第二阀盘与密封座之间进行贴合密封，通过滑柱能够使第一阀盘和第二阀盘在移动时保持垂直状态，避免发生偏移，利用密封块插入密封槽内，能够增加第一阀盘和第二阀盘与密封座之间的密封效果，可以有效的提高阀体内部的密封性。
附图说明
[0014]图1为本技术的主视剖面结构示意图；
[0015]图2为本技术的主视外观结构示意图；
[0016]图3为本技术的第二阀盘局部结构示意图；
[0017]图4为本技术的防水罩局部结构示意图。
[0018]图中：1、阀体；101、排气口；102、过滤网；103、防水罩；2、阀盖；3、导杆套；301、观察窗口；302、刻度线；4、第一阀盘；401、第一推力弹簧；402、滑柱；403、密封块；5、第二阀盘；501、第二推力弹簧；6、密封座；601、密封槽；7、阻火层；8、对接法兰；9、活动杆；901、螺旋纹。
具体实施方式
[0019]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0020]实施例一
[0021]如图1、图2、图3和图4所示，本技术提出的一种用于光刻胶生产的呼吸阀，包括阀体1、阀盖2和活动杆9，阀体1的一侧开设有排气口101，阀盖2的顶部固定安装有延伸至阀体1内部的导杆套3，导杆套3的前端固定连接有观察窗口301，观察窗口301的表面刻有刻度线302，阀体1的内部固定安装有密封座6，导杆套3的内部滑动安装有活动杆9，活动杆9的外侧分别螺纹安装有与密封座6对应的第一阀盘4以及第二阀盘5，密封座6与第一阀盘4以
及第二阀盘5之间通过滑柱402滑动安装。
[0022]阀体1的顶部固定连接有阀盖2，第二阀盘5底部的阀体1内部固定安装有阻火层7，第一阀盘4与阀体1内壁之间通过第一推力弹簧401活动安装，第二阀盘5与阀体1内壁之间通过第二推力弹簧501活动连接，第一阀盘4与第二阀盘5底部固定安装有密封块403，密封座6的顶部开设有与密封块403对应的密封槽601。
[0023]基于实施例1的用于光刻胶生产的呼吸阀工作原理是：当储罐内部的气压过强时，使气压可以进入到呼吸阀内部，通过气压将第二阀盘5向上推动，同时带动第一阀盘4与活动杆9同步向上移动，通过滑柱402能够使第一阀盘4和第二阀盘5在移动时保持垂直状态，避免发生偏移，当第一阀盘4和第二阀盘5与密封座6进行分离，使气压能够通过缝隙顺着排气口101进行排出，当活动杆9顺着导杆套3向上移动时，通过观察窗口301观察活动杆9的上升幅度和上升距离，利用刻度线302能够清楚了解到贮罐内部释放的气压强度。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶生产的呼吸阀，包括阀体(1)、阀盖(2)和活动杆(9)，其特征在于：所述阀体(1)的顶部固定连接有阀盖(2)，所述阀体(1)的一侧开设有排气口(101)，所述阀盖(2)的顶部固定安装有延伸至阀体(1)内部的导杆套(3)，所述导杆套(3)的前端固定连接有观察窗口(301)，所述阀体(1)的内部固定安装有密封座(6)，所述导杆套(3)的内部滑动安装有活动杆(9)，所述活动杆(9)的外侧分别螺纹安装有与密封座(6)对应的第一阀盘(4)以及第二阀盘(5)，所述密封座(6)与第一阀盘(4)以及第二阀盘(5)之间通过滑柱(402)滑动安装。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的呼吸阀，其特征在于：所述排气口(101)的内部固定安装有过滤网(102)，且排气口(101)的一侧固定连接有防水罩(103)。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：茅震宇，陈飞翔，李峰，
申请(专利权)人：江苏龙东新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：