一种光刻胶加工用冷却降温结构制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻胶加工设备技术领域，尤其涉及一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶加工用冷却降温结构


[0001]本技术涉及光刻胶加工设备
，具体为一种光刻胶加工用冷却降温结构
。

技术介绍

[0002]光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光
、
电子束
、
离子束
、X
射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂
、
增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻胶生产加工过程中需要通过冷却降温结构进行降温处理，为此需要用到冷却降温结构，其中申请号为“CN211487649U”所公开的“一种光刻胶生产加工用冷却降温装置”，其已经解决了现有冷却降温结构中冷却水套距离制冷系统的距离较远，进行长距离连接的冷却水管路在输送冷却水过程中存在较大的冷量散失，造成冷量浪费的多种弊端，再经过进一步检索发现，申请号为“CN213238100U”所公开的“一种阻燃胶搅拌加工用辅助降温装置”，其已经解决了基料混合物温度耗时过长，影响其生产效率，难以保持温度一致导致光刻胶的加工生产效率和品质的问题，但是在实际使用时类似结构的冷却降温结构还存在诸多缺陷，如：不具有节能环保的性能，现有的冷却降温结构采用管道进行输送冷源，管道输送容易导致冷量的损耗，从而增加了装置制冷成本，不符合节能的市场需求；不具有快速降温冷却的功能，在光刻胶加工过程中由于冷却降温结构内部的降温速度不能达到要求，从而导致冷却降温结构对光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温，不仅降低光刻胶加工生产效率和影响光刻胶生产品质，所以需要设计一种光刻胶加工用冷却降温结构
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种光刻胶加工用冷却降温结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体
、
刮板和制冷器，所述罐体内部分别设有冷却腔体
、
光刻胶腔体，所述罐体顶部固定安装有调速电机，所述调速电机输出端安装有连接杆，所述连接杆底部固定安装有传动杆，所述传动杆两侧固定安装有搅拌杆，所述搅拌杆一端固定安装有刮板，所述罐体底部一侧固定安装有制冷器，所述制冷器包括安装支架，所述安装支架内部固定安装有半导体制冷板，所述半导体制冷板正面固定安装有散热风机，所述半导体制冷板顶部固定安装有导冷齿板，所述罐体底部另一侧固定安装有温控器
。
[0005]利用冷却腔体与光刻胶腔体相邻，从而冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，降低了冷却降温结构对光刻胶冷却降温成本，使得冷却降温结构符合节能的市场需求，同时通过温控器实时监测冷却腔体内部温度，温控器根据监测结果进行控制制冷器运行，通
过制冷器通电运行对冷却腔体内部冷源进行降温，使其冷却腔体内部冷源保持在设定温度，保证冷却腔体内部冷源的吸热降温效果，同时也保证冷却腔体内部冷源可以持续性吸热冷却作业；通过调速电机通电运行带动连接杆旋转，旋转的连接杆通过传动杆带动搅拌杆以及刮板进行旋转，旋转的搅拌杆可以对光刻胶腔体内部的光刻胶进行搅拌，使其光刻胶均匀降温，解决了光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温的问题，保证了光刻胶均匀受冷降温，降低了光刻胶的冷却过程，达到了快速降温冷却的目的，同时旋转的刮板可对光刻胶腔体内壁进行清理，避免光刻胶腔体内壁残留光刻胶影响后期光刻胶加工质量，通过旋转的搅拌杆以及刮板的配合提升了光刻胶加工生产效率和保证了光刻胶生产品质
。
[0006]优选的，所述罐体的正面固定安装有控制器，罐体的顶部安装有进料口
。
控制器通过导线与调速电机
、
半导体制冷板
、
散热风机
、
出料阀管电线连接，便于工作人员通过控制器控制装置内的电气设备，且控制器的正面固定安装有温度器，便于实时监测光刻胶腔体内部光刻胶冷却温度，通过进料口可向光刻胶腔体内部注入光刻胶原料，方便光刻胶进行散热
。
[0007]优选的，所述罐体的底部一侧固定安装有贯穿冷却腔体的出液阀，罐体的顶部一侧固定安装有贯穿安装有冷却腔体的进液阀
。
出液阀通过贯通冷却腔体内部，便于通过出液阀将冷却腔体冷源进行排出收集，进液阀通过贯通冷却腔体的内部，便于通过进液阀向冷却腔体内部注入冷源
。
[0008]优选的，所述罐体的底部固定安装有出料阀管，且出料阀管的顶部贯穿至光刻胶腔体内部
。
打开出料阀管便于将光刻胶腔体内部的光刻胶排出，方便工作人员对冷却降温后的光刻胶进行收集
。
[0009]优选的，所述罐体的底部固定安装有防护围板，防护围板的底部固定安装有底座，底座的底部固定安装有支撑架
。
通过防护围板对罐体底部的结构进行防护，避免受到外力的破坏，通过底座与支撑架配合可对防护围板进行支撑，保证了整体装置放置的稳定性
。
[0010]优选的，所述温控器一侧固定安装有泄压阀，且泄压阀顶部延伸至冷却腔体内部
。
通过泄压阀可以对冷却腔体内部气压进行泄压，保证了冷却腔体内部气压稳定，避免冷却腔体内部气压过高罐体容易发生膨胀爆炸的危险，提升了罐体使用的安全性
。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、
利用冷却腔体与光刻胶腔体相邻，从而冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，降低了冷却降温结构对光刻胶冷却降温成本，使得冷却降温结构符合节能的市场需求，同时通过温控器实时监测冷却腔体内部温度，温控器根据监测结果进行控制制冷器运行，通过制冷器通电运行对冷却腔体内部冷源进行降温，使其冷却腔体内部冷源保持在设定温度，保证冷却腔体内部冷源的吸热降温效果，同时也保证冷却腔体内部冷源可以持续性吸热冷却作业
。
[0013]2、
通过调速电机通电运行带动连接杆旋转，旋转的连接杆通过传动杆带动搅拌杆以及刮板进行旋转，旋转的搅拌杆可以对光刻胶腔体内部的光刻胶进行搅拌，使其光刻胶均匀降温，解决了光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温的问题，保证了光刻胶均匀受冷降温，降低了光刻胶的冷却过程，达到了快速降温冷却的目的，同时旋转的刮板可对
光刻胶腔体内壁进行清理，避免光刻胶腔体内壁残留光刻胶影响后期光刻胶加工质量，通过旋转的搅拌杆以及刮板的配合提升了光刻胶加工生产效率和保证了光刻胶生产品质
。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视结构示意图；
[0015]图2为本技术的内部结构示意图；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体
(1)、
刮板
(303)
和制冷器
(4)
，其特征在于：所述罐体
(1)
内部分别设有冷却腔体
(105)、
光刻胶腔体
(106)
，所述罐体
(1)
顶部固定安装有调速电机
(3)
，所述调速电机
(3)
输出端安装有连接杆
(301)
，所述连接杆
(301)
底部固定安装有传动杆
(302)
，所述传动杆
(302)
两侧固定安装有搅拌杆
(304)
，所述搅拌杆
(304)
一端固定安装有刮板
(303)
，所述罐体
(1)
底部一侧固定安装有制冷器
(4)
，所述制冷器
(4)
包括安装支架
(402)
，所述安装支架
(402)
内部固定安装有半导体制冷板
(403)
，所述半导体制冷板
(403)
正面固定安装有散热风机
(404)
，所述半导体制冷板
(403)
顶部固定安装有导冷齿板
(401)
，所述罐体
(1)
底部另一侧固定安装有温控器
(203)。2.
根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈逸铖，李峰，茅震宇，陈飞翔，
申请(专利权)人：江苏龙东新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：