【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及剥离液生产设备，具体是一种剥离液生产用多级过滤装置。
技术介绍
1、剥离液主要用于半导体和显示器制造工艺中光刻胶的玻璃去除，通常的半导体和显示器制造工艺中，需要待加工材料膜层的表面涂覆光刻胶，通过曝光、显影、蚀刻工艺后将掩膜板图形转移到待加工材料层、然后借助剥离液将残留的光刻胶剥离去除，同时不能够腐蚀其他基材，因此，剥离液起到了至关重要的作用。
2、而在剥离液的生产过程中，过滤是至关重要的一个步骤，剥离液生产加工设备在长时间的生产加工的过程中，会导致剥离液生产设备内壁残留较多污垢残渣，而对于内壁的残留污垢，一般都是通过人工通过采用工具对内壁的污垢进行清洁处理，然而剥离液生产设备内部价结构较为复杂，对于设备死角而言，清洁起来不够便捷，因此需要在此基础上作出进一步的改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种剥离液生产用多级过滤装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：
3、一种剥离液生产用多级过滤装置，所述剥离液生产用多级过滤装置包括：
4、过滤设备，所述过滤设备内部设置有除垢机构，除垢机构由动力组、传动组和清洁组件组成，清洁组件安装于过滤设备内部且与动力组和传动组之间传动连接，用于实现对过滤设备底部以及内壁进行除垢；
5、与清洁组件相配合供水结构，供水结构固定安装于过滤设备内外两侧，用于对清洁组件进行供水。
6、作为本专利技术进一步的方
7、驱动件，所述驱动件固定安装于过滤设备内部，驱动件的一端传动连接有驱动轴，驱动轴位于过滤设备内部的一端固定连接有驱动轮；
8、安装盘，所述安装盘转动连接于过滤设备内部且与驱动轮之间通过同步带传动连接。
9、作为本专利技术再一步的方案：所述清洁组件包括：
10、固定圈，所述固定圈固定安装于过滤设备内部顶端，固定圈的内外两端分别设置有内环形槽和外环形槽，固定圈的底部设置有固定齿轮；
11、行星齿轮，所述行星齿轮转动连接于安装盘的一侧且与固定齿轮之间啮合传动，行星齿轮设置有若干且关于安装盘呈圆周阵列分布；
12、连接杆，所述连接杆位于行星齿轮中部的键槽内且与之滑动配合，连接杆的一端设置有连接部一，连接部一的竖直端与连接杆之间转动配合，连接部一的水平端与外环形槽之间滑动配合，连接杆的底部设置有辊刷，辊刷与过滤设备内壁之间滑动配合；
13、连接轴，所述连接轴转动连接于过滤设备内部且为伸缩结构，连接轴的侧面设置有连接部二，连接部二与内环形槽之间滑动配合。
14、作为本专利技术再一步的方案：所述行星齿轮的一侧设置有槽口。
15、作为本专利技术再一步的方案：所述传动组包括：
16、传动轮一，所述传动轮一固定连接于驱动轴位于过滤设备外部的一端；
17、传动轮二，所述传动轮二固定连接于连接轴位于过滤设备外部的一端且与传动轮一之间通过传动带传动连接。
18、作为本专利技术再一步的方案：所述供水结构包括：
19、蓄水箱，所述蓄水箱固定安装于过滤设备外端顶部，固定圈的中部设置有安装槽，安装槽内固定安装有与蓄水箱相连通的连接水管。
20、作为本专利技术再一步的方案：所述过滤设备外部位于地面的一端设置有脚座，脚座均匀设置在过滤设备底部四周。
21、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
22、与现有技术相比较，通过除垢机构与供水结构之间的相互配合，在清洁组件的作用下，能够对过滤设备的底部以及内壁进行除垢处理，避免了工作人员因设备内部结构的复杂化而导致处理不够便捷的现象，通过也能够对过滤设备的死角进行较好的清理，也在一定程度上降低了工作人员的工作强度。
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1.一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述剥离液生产用多级过滤装置包括：
2.根据权利要求1所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述动力组包括：
3.根据权利要求2所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述清洁组件包括：
4.根据权利要求3所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述行星齿轮的一侧设置有槽口。
5.根据权利要求3或4所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述传动组包括：
6.根据权利要求3所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述供水结构包括：
7.根据权利要求1所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述过滤设备外部位于地面的一端设置有脚座，脚座均匀设置在过滤设备底部四周。
【技术特征摘要】
1.一种剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述剥离液生产用多级过滤装置包括：
2.根据权利要求1所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述动力组包括：
3.根据权利要求2所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述清洁组件包括：
4.根据权利要求3所述的剥离液生产用多级过滤装置，其特征在于：所述行星齿轮的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，谈逸铖，茅震宇，陈飞翔，张俭，
申请(专利权)人：江苏龙东新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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