SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质。方法包括步骤：获取待处理的SEM图像并从SEM图像中提取出若干个轮廓点；采用聚类算法对若干个轮廓点进行分组；采用第一预设算法求解每组轮廓点的连接顺序；以第一预设算法求解得到的连接顺序作为启发，并采用第二预设算法求解所有轮廓点的连接顺序；及以第二预设算法求解得到的连接顺序对所有轮廓点进行有序连接。本发明专利技术的轮廓获取方法的连接速度快且计算量低。本发明专利技术的轮廓获取装置、计算机设备及存储介质具有与SEM图像的轮廓获取方法相同的有益效果，在此不再赘述。在此不再赘述。在此不再赘述。

【技术实现步骤摘要】
SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及计算光刻
，具体涉及一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(SEM)图像是计算光刻建模过程中的重要数据，如何准确提取SEM图像中的图形轮廓点并有序连接是一项重要的工作。传统的SEM图像轮廓提取和连接是以设计版图为参考，在设计版图中图形出现的位置进行轮廓提取，并依据图形中点的连接顺序将轮廓点依次连接。然而传统方法具有一定的局限性，它必须依赖设计版图才能进行工作，且对于SEM图形和设计版图有较大差异时不能正确工作。为了摆脱这种局限性，非版图依赖的SEM图像提取技术开始发展，在不依赖于设计版图的情况下，首先提取SEM图像中的图形轮廓点，并对轮廓点按照图形区域进行分类，其次是将各区域内的轮廓点有序连接。轮廓点连接是非版图依赖的SEM图像提取技术中的重要节点，但现有的轮廓点连接方式比较复杂，因此如何高效有序连接轮廓点是一个有待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：所述SEM图像的轮廓获取方法包括以下步骤：获取待处理的SEM图像并从所述SEM图像中提取出若干个轮廓点；采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组；采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序；以第一预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序作为启发，并采用第二预设旅行商求解算法求解所有轮廓点的连接顺序；及以第二预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序对所有轮廓点进行有序连接得到所述SEM图像的轮廓。2.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组具体为：根据若干个所述轮廓点之间的距离信息进行分组。3.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序之后还包括步骤：根据第一预设旅行商求解算法求解得到的所述连接顺序有序连接每一组轮廓点；获取每一组轮廓点的首点及尾点；连接相邻每组间的首点及尾点。4.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：从所述SEM图像中提取若干个轮廓点具体包括步骤：对所述SEM图像进行像素化处理并得到原始矩阵；对原始矩阵进行高斯滤波处理后得到图像矩阵并计算所述图像矩阵中的所有像素点的梯度值；获取梯度值在预设范围内的所有像素点，并在所选的所有像素点中沿梯度方向寻找峰值点；所述峰值点即为从SEM图像中提取出的若干个轮廓点。5.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁洪齐，赵宇航，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：