SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质。方法包括步骤：获取待处理的SEM图像并从SEM图像中提取出若干个轮廓点；采用聚类算法对若干个轮廓点进行分组；采用第一预设算法求解每组轮廓点的连接顺序；以第一预设算法求解得到的连接顺序作为启发，并采用第二预设算法求解所有轮廓点的连接顺序；及以第二预设算法求解得到的连接顺序对所有轮廓点进行有序连接。本发明专利技术的轮廓获取方法的连接速度快且计算量低。本发明专利技术的轮廓获取装置、计算机设备及存储介质具有与SEM图像的轮廓获取方法相同的有益效果，在此不再赘述。在此不再赘述。在此不再赘述。

【技术实现步骤摘要】
SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及计算光刻
，具体涉及一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(SEM)图像是计算光刻建模过程中的重要数据，如何准确提取SEM图像中的图形轮廓点并有序连接是一项重要的工作。传统的SEM图像轮廓提取和连接是以设计版图为参考，在设计版图中图形出现的位置进行轮廓提取，并依据图形中点的连接顺序将轮廓点依次连接。然而传统方法具有一定的局限性，它必须依赖设计版图才能进行工作，且对于SEM图形和设计版图有较大差异时不能正确工作。为了摆脱这种局限性，非版图依赖的SEM图像提取技术开始发展，在不依赖于设计版图的情况下，首先提取SEM图像中的图形轮廓点，并对轮廓点按照图形区域进行分类，其次是将各区域内的轮廓点有序连接。轮廓点连接是非版图依赖的SEM图像提取技术中的重要节点，但现有的轮廓点连接方式比较复杂，因此如何高效有序连接轮廓点是一个有待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中的轮廓点的连接方式较复杂的技术问题，本专利技术提供了一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是提供一种SEM图像的轮廓获取方法，所述SEM图像的轮廓获取方法包括以下步骤：
[0005]获取待处理的SEM图像并从所述SEM图像中提取出若干个轮廓点；
[0006]采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组；
[0007]采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序；
[0008]以第一预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序作为启发，并采用第二预设旅行商求解算法求解所有轮廓点的连接顺序；及
[0009]以第二预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序对所有轮廓点进行有序连接得到所述SEM图像的轮廓。
[0010]优选地，采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组具体为：根据若干个所述轮廓点之间的距离信息进行分组。
[0011]优选地，采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序之后还包括步骤：
[0012]根据第一预设旅行商求解算法求解得到的所述连接顺序有序连接每一组轮廓点；
[0013]获取每一组轮廓点的首点及尾点；
[0014]连接相邻每组间的首点及尾点。
[0015]优选地，从所述SEM图像中提取若干个轮廓点具体包括步骤：
[0016]对所述SEM图像进行像素化处理并得到原始矩阵；
[0017]对原始矩阵进行高斯滤波处理后得到图像矩阵并计算所述图像矩阵中的所有像素点的梯度值；
[0018]获取梯度值在预设范围内的所有像素点，并在所选的所有像素点中沿梯度方向寻找峰值点；
[0019]所述峰值点即为从SEM图像中提取出的若干个轮廓点。
[0020]优选地，所述第一预设旅行商求解算法为局部TSP算法。
[0021]优选地，所述第二预设旅行商求解算法为全局TSP启发式算法。
[0022]优选地，所述聚类算法为K
‑
Means聚类算法或DBSCAN聚类算法。
[0023]本专利技术解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种SEM图像的轮廓获取装置，应用于上述的一种SEM图像的轮廓获取方法，所述SEM图像的轮廓获取装置包括：
[0024]获取模块：用于获取待处理的SEM图像；
[0025]提取模块：用于从所述SEM图像中提取出若干个轮廓点；
[0026]分组模块：用于对若干个所述轮廓点进行分组；
[0027]第一求解模块：用于求解每组轮廓点的连接顺序；
[0028]第二求解模块：用于以第一求解模块的连接顺序作为启发，求解所有轮廓点的连接顺序；
[0029]连接模块：用于以第二求解模块求解的所述连接顺序对所有轮廓点进行有序连接；
[0030]输出模块：用于根据所述连接模块连接的所有轮廓点输出所述SEM图像的轮廓。
[0031]本专利技术解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现上述的SEM图像的轮廓获取方法的步骤。
[0032]本专利技术解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种存储介质，包括处理器，所述存储介质被处理器执行时实现上述的一种SEM图像的轮廓获取方法。
[0033]与现有技术相比，本专利技术提供的一种SEM图像的轮廓获取方法、装置、计算机设备及存储介质具有以下优点：
[0034]1、本专利技术的实施例提供的SEM图像的轮廓获取方法，本专利技术提供的轮廓获取方法首先将获取的若干个轮廓点采用聚类算法进行聚类分组，然后通过第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序，由于通过聚类算法对所有的轮廓点进行了分组，因此对分组后的每组轮廓点进行求解连接顺序会使得问题规模显著变小，从而减小了第一次求解的时间。然后再以第一求解得到的连接顺序作为启发并通过第二预设旅行商求解算法第二次求解所有轮廓点的连接顺序，由于第一预设算法进行分组求解后已得到一个较优解，即使问题规模大，通过第二预设旅行商求解算法也可以很快执行完成第二次求解。由此可见，本专利技术提供的轮廓获取方法能够实现高效有序连接所有的轮廓点的功能，且通过本专利技术的轮廓获取方法的连接若干个轮廓点时其速度快且计算量低。
[0035]2、本专利技术的实施例提供的SEM图像的轮廓获取方法，根据若干个所述轮廓点之间的距离信息进行分组。通过此设计，能够将距离相近的轮廓点分到一组，由于对轮廓点分组后，第一预设旅行商求解算法求解连接顺序时，问题规模会显著减小，从而使得第一次求解的时间及计算量都能明显下降。由此可见，通过将若干个轮廓点之间的距离信息进行分组
的设计，能够使得后续的求解时间及计算量都减小，进而进一步地提高了SEM图像中的轮廓点的连接的速率。
[0036]3、本专利技术的实施例提供的SEM图像的轮廓获取方法，采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序之后还包括步骤：根据第一预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序有序连接每一组轮廓点；获取每一组轮廓点的首点及尾点；连接相邻每组间的首点及尾点。通过此设计，能够使得每组轮廓点之间能够有序连接，且将相邻的每组间的轮廓点的首尾点进行连接，能够得到一个初步的连接顺序，方便后续以该连接顺序作为启发，从而通过第二预设旅行商求解算法快速地求解出所有轮廓点的连接顺序。
[0037]4、本专利技术的实施例提供的SEM图像的轮廓获取方法，通过此方法获得SEM图像的若干个轮廓点的方式，能够使得在没有GDS版图文件的情况下，仅仅根据SEM图像就能够快速且精准地提取出SEM图像的若干个轮廓点。
[0038]5、本专利技术的实施例提供的SEM图像的轮廓获取装置，具有与本专利技术的SEM图像的轮廓获取方法相同的有益效果，在此不再赘述。
[0039]6、本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：所述SEM图像的轮廓获取方法包括以下步骤：获取待处理的SEM图像并从所述SEM图像中提取出若干个轮廓点；采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组；采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序；以第一预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序作为启发，并采用第二预设旅行商求解算法求解所有轮廓点的连接顺序；及以第二预设旅行商求解算法求解得到的连接顺序对所有轮廓点进行有序连接得到所述SEM图像的轮廓。2.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：采用聚类算法对若干个所述轮廓点进行分组具体为：根据若干个所述轮廓点之间的距离信息进行分组。3.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：采用第一预设旅行商求解算法求解每组轮廓点的连接顺序之后还包括步骤：根据第一预设旅行商求解算法求解得到的所述连接顺序有序连接每一组轮廓点；获取每一组轮廓点的首点及尾点；连接相邻每组间的首点及尾点。4.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征在于：从所述SEM图像中提取若干个轮廓点具体包括步骤：对所述SEM图像进行像素化处理并得到原始矩阵；对原始矩阵进行高斯滤波处理后得到图像矩阵并计算所述图像矩阵中的所有像素点的梯度值；获取梯度值在预设范围内的所有像素点，并在所选的所有像素点中沿梯度方向寻找峰值点；所述峰值点即为从SEM图像中提取出的若干个轮廓点。5.如权利要求1所述的SEM图像的轮廓获取方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁洪齐，赵宇航，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：