一种硅片点胶机自动供料机构制造技术

本发明专利技术公开了一种硅片点胶机自动供料机构，包括两组第一安装板，所述第一安装板的一侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定安装有料箱，所述第一安装板的表面固定安装有拉动机构，所述拉动机构的表面设置有对料箱一侧进行密封的密封机构。本发明专利技术通过设置料箱可以对需要拿取供料的硅片进行有效盛放，而在料箱盛放完成之后利用外界传感器检测其安装是否安装平整，而设置的密封机构和拉动机构可以对料箱进行有效密封，从而可以防止料箱内部的硅片漏出以及被污染，而设置的定位机构一方面可以对密封机构进行压紧，并且可以在拉动机构带动密封机构打开对硅片进行拿取的过程中可以利用其一侧的激光传感器对料箱内部的硅片位置进行定位。置进行定位。置进行定位。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片点胶机自动供料机构


[0001]本专利技术涉及一种自动供料机构，具体为一种硅片点胶机自动供料机构。

技术介绍

[0002]在芯片生产制造的过程中通常需要利用硅片作为载体，随后在其表面设置有多组晶粒，在硅片芯片安装完成之后需要利用点胶机对硅片进行点胶处理。
[0003]而现有设备中的硅片点胶的过程中需要将硅片进行拿取，然后进行送料等步骤，而在拿取完成之后需要在其表面集成多组晶体管，为此，在对硅片取料供料的过程中精度要求较高，而现有设备中送料步骤对位置定位存在一定的误差，从而会影响到后续的硅片供料精度，为此，我们提出一种硅片点胶机自动供料机构。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种硅片点胶机自动供料机构，以解决
技术介绍
中需要解决的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片点胶机自动供料机构，包括两组第一安装板，所述第一安装板的一侧固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定安装有料箱，所述第一安装板的表面固定安装有拉动机构，所述拉动机构的表面设置有对料箱一侧进行密封的密封机构，所述密封机构的外表面设置有对料箱进行物料位置进行检测的定位机构；
[0006]还包括转移机构，所述转移机构安装于第一安装板的一侧，所述转移机构包括第二安装板，所述第二安装板的顶部固定安装有X轴方向安装的X轴驱动机构，所述X轴驱动机构的顶部固定安装有Y轴方向安装的Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构的顶部固定安装有安装架，所述安装架的侧壁固定安装有Z轴方向安装的Z轴驱动机构，所述Z轴驱动机构的一侧设置有对料箱内部物料进行旋转输送的转动机构。
[0007]优选的，所述拉动机构包括固定架、第一螺纹杆、第一伺服电机、第一螺纹套筒、第一导轨、第一滑块和第三安装板，所述第一安装板表面的一侧固定安装有两组固定架，所述固定架的内部转动安装有第一螺纹杆，所述第一安装板的表面且对应第一螺纹杆的位置固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端与第一螺纹杆的一端固定连接，所述第一螺纹杆的外表面设置有与其相适配的第一螺纹套筒，所述第一安装板的表面固定安装有两组第一导轨，所述第一导轨的外表面滑动连接有第一滑块，两组所述第一滑块的表面通过第三安装板固定连接，所述第一螺纹套筒的一侧与其中一组所述第一滑块的侧壁固定连接。
[0008]优选的，所述密封机构包括第一伸缩气缸、第四安装板、第一固定块、连接件、密封门和第二固定块，所述第三安装板的顶部固定安装有第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸的输出端固定连接有第四安装板，所述第四安装板的表面通过第一固定块固定连接有连接件，所述密封门的表面固定连接有第二固定块，所述连接件远离第一固定块的一端与第二
固定块固定连接。
[0009]优选的，所述第三安装板的一侧固定连接有两组固定套筒，所述第四安装板的内壁且对应固定套筒的位置固定连接有两组定位杆，所述定位杆的外壁插接至固定套筒的内部。
[0010]优选的，所述密封门的表面其对应料箱表面的位置固定安装有两组固定吸盘，所述固定吸盘的一端贯穿密封门的表面并与料箱的表面相接触，所述密封门的表面设置有对料箱进行卡接的锁紧块，所述锁紧块的一侧固定连接有第三固定块，所述密封门的表面固定连接有第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的输出端固定连接有驱动板，所述驱动板的表面贯穿开设有定位槽，所述第三固定块的一侧固定连接有固定轴，所述固定轴的一端通过定位槽延伸至驱动板的另一侧。
[0011]优选的，所述定位机构包括定位框和第三伸缩气缸，所述第三安装板的下方固定连接有第三伸缩气缸，所述第三伸缩气缸的输出端固定连接有定位框，所述定位框的顶部一侧固定安装有激光传感器。
[0012]优选的，所述X轴驱动机构、Y轴驱动机构和Z轴驱动机构结构相同且均包括固定框、第一安装架和第二伺服电机，所述固定框的一侧固定连接有第一安装架，所述第一安装架的一侧固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆远第二伺服电机的一端固定安装于固定框内壁的一侧，所述第二螺纹杆的外表面设置有与其相适配的第二螺纹套筒，所述第二螺纹套筒的底部与固定框的外壁相贴合，所述固定框的顶部固定连接有导向片，所述导向片的顶部与第二螺纹套筒的顶部相贴合，所述X轴驱动机构的顶部第二螺纹套筒与Y轴驱动机构的底部固定连接，所述Y轴驱动机构的第二螺纹套筒固定连接有安装架。
[0013]优选的，所述第二安装板的顶部固定安装有第二安装架，所述第二安装架的顶部固定连接有第二导轨，所述第二导轨的外表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的顶部与Y轴驱动机构的底部固定连接。
[0014]优选的，所述转动机构包括第三伺服电机、连接块和取料盘，所述Z轴驱动机构的第二螺纹套筒固定连接有连接框，所述连接框的内壁固定安装有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出端固定连接有连接块，所述连接块的一侧固定连接有取料盘，所述取料盘的表面贯穿设置有多组真空吸盘。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
[0016]1、本专利技术通过设置料箱可以对需要拿取供料的硅片进行有效盛放，而在料箱盛放完成之后利用外界传感器检测其安装是否安装平整，而设置的密封机构和拉动机构可以对料箱进行有效密封，从而可以防止料箱内部的硅片漏出以及被污染，而设置的定位机构一方面可以对密封机构进行压紧，并且可以在拉动机构带动密封机构打开对硅片进行拿取的过程中可以利用其一侧的激光传感器对料箱内部的硅片位置进行定位；
[0017]2、而转移机构的设置可以对定位完成后的硅片进行拿取带动用于硅片转移拿取，而设置的X轴驱动机构、Y轴驱动机构和Z轴驱动机构可以驱动转动机构进行位置微调，随后便可以驱动带有多组真空吸盘的取料盘移动至料盘内部硅片的位置进行硅片拿取，随后便可以将拿取之后的硅片通过转动机构将硅片转移至外界的点胶机构进行点胶处理。
附图说明
[0018]图1为本专利技术立体图结构示意图；
[0019]图2为本专利技术转移机构立体图结构示意图；
[0020]图3为本专利技术第一安装板、密封机构、拉动机构和定位机构立体图连接结构示意图；
[0021]图4为本专利技术A结构放大示意图；
[0022]图5为本专利技术B结构放大示意图；
[0023]图6为本专利技术X轴驱动机构立体图结构示意图。
[0024]图中：1第一安装板、2固定板、3料箱、4密封机构、5拉动机构、6定位机构、7转移机构、8第二安装板、9X轴驱动机构、10Y轴驱动机构、11安装架、12Z轴驱动机构、13转动机构、14固定架、15第一螺纹杆、16第一伺服电机、17第一螺纹套筒、18第一导轨、19第一滑块、20第三安装板、21第一伸缩气缸、22第四安装板、23第一固定块、24连接件、25密封门、26第二固定块、27固定吸盘、28锁紧块、29第三固定块、30固定轴、31第二伸缩气缸、32驱动板、33定位槽、34定位框、35第三伸缩气缸、36固定套筒、37定位杆、38固定框、39第一安装架、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片点胶机自动供料机构，包括两组第一安装板(1)，所述第一安装板(1)的一侧固定连接有固定板(2)，所述固定板(2)的顶部固定安装有料箱(3)，其特征在于：所述第一安装板(1)的表面固定安装有拉动机构(5)，所述拉动机构(5)的表面设置有对料箱(3)一侧进行密封的密封机构(4)，所述密封机构(4)的外表面设置有对料箱(3)进行物料位置进行检测的定位机构(6)；还包括转移机构(7)，所述转移机构(7)安装于第一安装板(1)的一侧，所述转移机构(7)包括第二安装板(8)，所述第二安装板(8)的顶部固定安装有X轴方向安装的X轴驱动机构(9)，所述X轴驱动机构(9)的顶部固定安装有Y轴方向安装的Y轴驱动机构(10)，所述Y轴驱动机构(10)的顶部固定安装有安装架(11)，所述安装架(11)的侧壁固定安装有Z轴方向安装的Z轴驱动机构(12)，所述Z轴驱动机构(12)的一侧设置有对料箱(3)内部物料进行旋转输送的转动机构(13)。2.根据权利要求1所述的一种硅片点胶机自动供料机构，其特征在于：所述拉动机构(5)包括固定架(14)、第一螺纹杆(15)、第一伺服电机(16)、第一螺纹套筒(17)、第一导轨(18)、第一滑块(19)和第三安装板(20)，所述第一安装板(1)表面的一侧固定安装有两组固定架(14)，所述固定架(14)的内部转动安装有第一螺纹杆(15)，所述第一安装板(1)的表面且对应第一螺纹杆(15)的位置固定安装有第一伺服电机(16)，所述第一伺服电机(16)的输出端与第一螺纹杆(15)的一端固定连接，所述第一螺纹杆(15)的外表面设置有与其相适配的第一螺纹套筒(17)，所述第一安装板(1)的表面固定安装有两组第一导轨(18)，所述第一导轨(18)的外表面滑动连接有第一滑块(19)，两组所述第一滑块(19)的表面通过第三安装板(20)固定连接，所述第一螺纹套筒(17)的一侧与其中一组所述第一滑块(19)的侧壁固定连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片点胶机自动供料机构，其特征在于：所述密封机构(4)包括第一伸缩气缸(21)、第四安装板(22)、第一固定块(23)、连接件(24)、密封门(25)和第二固定块(26)，所述第三安装板(20)的顶部固定安装有第一伸缩气缸(21)，所述第一伸缩气缸(21)的输出端固定连接有第四安装板(22)，所述第四安装板(22)的表面通过第一固定块(23)固定连接有连接件(24)，所述密封门(25)的表面固定连接有第二固定块(26)，所述连接件(24)远离第一固定块(23)的一端与第二固定块(26)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种硅片点胶机自动供料机构，其特征在于：所述第三安装板(20)的一侧固定连接有两组固定套筒(36)，所述第四安装板(22)的内壁且对应固定套筒(36)的位置固定连接有两组定位杆(37)，所述定位杆(37)的外壁插接至固定套筒(36)的内部。5.根据权利要求3所述的一种硅片点胶机自...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊必军，
申请(专利权)人：苏州策林智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：