一种硅片加工用定位点胶装置制造方法及图纸

技术编号:37559258 阅读:13 留言:0更新日期:2023-05-15 07:42
本发明专利技术公开了一种硅片加工用定位点胶装置,包括底座,所述底座的顶部固定安装有用于硅片定心旋转的定心机构,所述底座的顶部且位于定心机构的上方设置有对硅片进行检测的检测机构,所述底座的顶部且位于定心机构的一侧固定安装有移动机构,所述移动机构的顶部固定安装有对硅片进行固定的定位机构,所述底座的顶部且位于移动机构的上方设置有进行点胶的点胶机构。本发明专利技术通过设置定心机构可以对不同尺寸的硅片进行定位定心处理,并且设置的检测机构可以和旋转的定心机构相互配合,随后便可以对定心完成之后的硅片进行位置检测,这样便可以使需要点胶的硅片进行初步定位处理,不会使其在上下料机构进行转运的时候出现位置偏差。差。差。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工用定位点胶装置


[0001]本专利技术涉及硅片加工
,具体为一种硅片加工用定位点胶装置。

技术介绍

[0002]在芯片生产制造的过程中通常需要利用硅片作为载体,随后在其表面设置有多组晶粒,在硅片芯片安装完成之后需要利用点胶机对硅片进行点胶处理。
[0003]而在硅片点胶之前需要将硅片进行拿取,并将晶粒进行粘结,而在这些步骤完成之后则需要通过外界的转移拿取机构对其进行转移,随后再对其进行点胶,而因为硅片尺寸较小,所以在点胶的过程中对精度要求较高,而现有设备中点胶位置定位不准,容易在硅片点胶的时候出现位置偏差,为此,我们提出一种硅片加工用定位点胶装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种硅片加工用定位点胶装置,以解决
技术介绍
中需要解决的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种硅片加工用定位点胶装置,包括底座,所述底座的顶部固定安装有用于硅片定心旋转的定心机构,所述底座的顶部且位于定心机构的上方设置有对硅片进行检测的检测机构,所述底座的顶部且位于定心机构的一侧固定安装有移动机构,所述移动机构的顶部固定安装有对硅片进行固定的定位机构,所述底座的顶部且位于移动机构的上方设置有进行点胶的点胶机构。
[0006]优选的,所述检测机构包括第一固定架和驱动壳,所述第一固定架固定安装于底座的顶部,所述第一固定架的顶部固定安装有驱动壳,所述驱动壳的一侧通过第一安装架固定安装有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离第一伺服电机的一端转动安装于驱动壳内壁的一侧,所述螺纹杆的外表面设置有与其相适配的螺纹套筒,所述螺纹套筒的外表面与驱动壳的顶部相贴合,所述螺纹套筒的顶部通过固定块固定连接有第二固定架,所述第二安装架的一侧顶部固定连接有第二安装架,所述第二安装架的一侧固定连接有手动微调器,所述手动微调器的一顿固定连接有第一观测镜头。
[0007]优选的,所述固定块的顶部开设有限位槽,所述驱动壳的顶部固定连接有导向片,所述导向片的外壁与限位槽的内壁相贴合。
[0008]优选的,所述定心机构包括第三安装架、第二伺服电机和旋转台,所述第三安装架的一侧固定安装有第二伺服电机,所述第二伺服电机的输出端固定连接有旋转台,所述第三安装架的侧壁固定连接有两组传感器,所述第三安装架的背面固定安装有第一伸缩气缸,所述第一伸缩气缸的输出端固定连接有双轴气缸,所述双轴气缸的两组输出轴均固定连接有第一固定板,所述第一固定板的顶部固定连接有第一定位夹板。
[0009]优选的,所述第一定位夹板的顶部一侧固定连接有第二定位夹板,所述第一定位夹板与第二定位夹板的内壁一侧均设置为弧形。
[0010]优选的,所述点胶机构包括第四安装架、第三固定架和第一电动滑轨,所述第四安装架的顶部固定安装有第三固定架,所述第三固定架的一侧固定安装有第一电动滑轨,所述第一电动滑轨的外表面滑动连接有第一电动滑块,所述第一电动滑块的一侧通过第二固定板固定安装有第四固定架,所述第四固定架的外表面滑动连接有第一滑块,所述第二固定板的一侧固定安装有伸缩电机,所述伸缩电机的输出端与第一滑块固定连接,所述第一滑块的一侧固定连接有第三固定板,所述第三固定板的一侧分别固定安装有点胶管和第二观测镜头,所述底座的顶部且位于第四安装架的一侧固定安装于胶水罐,所述点胶管与胶水罐之间通过点胶阀固定连通。
[0011]优选的,所述移动机构安装于点胶管的下方,所述移动机构包括第二电动滑轨和第二电动滑块,所述第二电动滑轨的外表面滑动连接有第二电动滑块,所述底座的顶部且位于第二电动滑轨的两侧均固定安装有导轨,所述导轨的外表面滑动连接有第二滑块,所述第二滑块的顶部固定安装于第二电动滑块的底部。
[0012]优选的,所述定位机构包括第四安装架、导向柱和盛放平台,所述第四安装架固定安装于第二电动滑块的顶部,所述第四安装架的顶部滑动连接有多组导向柱,所述导向柱的顶部固定安装有盛放平台,所述第四安装架的顶部固定安装有第二伸缩气缸,所述第二伸缩气缸的输出端固定连接有第四固定板,所述第四固定板的顶部通过连接柱与盛放平台的底部固定连接,所述盛放平台的表面贯穿开设有吸附孔,所述盛放平台的底部设置有多组与吸附孔固定连通的吸附管。
[0013]与现有技术相比,本专利技术具有以下有益效果:
[0014]1、本专利技术通过设置定心机构可以对不同尺寸的硅片进行定位定心处理,并且设置的检测机构可以和旋转的定心机构相互配合,随后便可以对定心完成之后的硅片进行位置检测,这样便可以使需要点胶的硅片进行初步定位处理,不会使其在上下料机构进行转运的时候出现位置偏差;
[0015]2、而设置的定位机构可以在外界的上下料机构转运之后再次对其进行吸附定位,随后定位完成则可以通过移动机构进行运动,将其转运至点胶机构的下方进行点胶,随后驱动点胶机构进行运作则可以对定位完成之后的硅片进行点胶处理,这样的多不定位方式定位精准,不会出现点胶位置偏差。
附图说明
[0016]图1为本专利技术正视图结构示意图;
[0017]图2为本专利技术定心机构与检测机构第一立体图结构示意图;
[0018]图3为本专利技术定心机构与检测机构第二立体图结构示意图;
[0019]图4为本专利技术移动机构、定位机构和点胶机构立体图结构示意图;
[0020]图5为本专利技术A结构放大示意图;
[0021]图6为本专利技术定位机构第一立体图结构示意图;
[0022]图7为本专利技术定位机构第二立体图结构示意图。
[0023]图中:1底座、2定心机构、3检测机构、4移动机构、5定位机构、6点胶机构、7第一固定架、8驱动壳、9第一安装架、10第一伺服电机、11螺纹杆、12螺纹套筒、13固定块、14导向片、15第二固定架、16第二安装架、17手动微调器、18第一观测镜头、19第三安装架、20第二
伺服电机、21旋转台、22传感器、23第一伸缩气缸、24双轴气缸、25第一固定板、26第一定位夹板、27第二定位夹板、28第四安装架、29第三固定架、30第一电动滑轨、31第一电动滑块、32第二固定板、33第四固定架、34第一滑块、35第三固定板、36伸缩电机、37点胶阀、38点胶管、39第二观测镜头、40胶水罐、41第二电动滑轨、42第二电动滑块、43导轨、44第二滑块、45第四安装架、46导向柱、47第二伸缩气缸、48第四固定板、49连接柱、50盛放平台、51吸附孔、52吸附管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0025]请参阅图1,本专利技术提供一种技术方案:一种硅片加工用定位点胶装置,包括底座1,所述底座1的顶部固定安装有用于硅片定心旋转的定心机构本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工用定位点胶装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有用于硅片定心旋转的定心机构(2),所述底座(1)的顶部且位于定心机构(2)的上方设置有对硅片进行检测的检测机构(3),所述底座(1)的顶部且位于定心机构(2)的一侧固定安装有移动机构(4),所述移动机构(4)的顶部固定安装有对硅片进行固定的定位机构(5),所述底座(1)的顶部且位于移动机构(4)的上方设置有进行点胶的点胶机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用定位点胶装置,其特征在于:所述检测机构(3)包括第一固定架(7)和驱动壳(8),所述第一固定架(7)固定安装于底座(1)的顶部,所述第一固定架(7)的顶部固定安装有驱动壳(8),所述驱动壳(8)的一侧通过第一安装架(9)固定安装有第一伺服电机(10),所述第一伺服电机(10)的输出端固定连接有螺纹杆(11),所述螺纹杆(11)远离第一伺服电机(10)的一端转动安装于驱动壳(8)内壁的一侧,所述螺纹杆(11)的外表面设置有与其相适配的螺纹套筒(12),所述螺纹套筒(12)的外表面与驱动壳(8)的顶部相贴合,所述螺纹套筒(12)的顶部通过固定块(13)固定连接有第二固定架(15),所述第二安装架(16)的一侧顶部固定连接有第二安装架(16),所述第二安装架(16)的一侧固定连接有手动微调器(17),所述手动微调器(17)的一顿固定连接有第一观测镜头(18)。3.根据权利要求2所述的一种硅片加工用定位点胶装置,其特征在于:所述固定块(13)的顶部开设有限位槽,所述驱动壳(8)的顶部固定连接有导向片(14),所述导向片(14)的外壁与限位槽的内壁相贴合。4.根据权利要求2所述的一种硅片加工用定位点胶装置,其特征在于:所述定心机构(2)包括第三安装架(19)、第二伺服电机(20)和旋转台(21),所述第三安装架(19)的一侧固定安装有第二伺服电机(20),所述第二伺服电机(20)的输出端固定连接有旋转台(21),所述第三安装架(19)的侧壁固定连接有两组传感器(22),所述第三安装架(19)的背面固定安装有第一伸缩气缸(23),所述第一伸缩气缸(23)的输出端固定连接有双轴气缸(24),所述双轴气缸(24)的两组输出轴均固定连接有第一固定板(25),所述第一固定板(25)的顶部固定连接有第一定位夹板(26)。5.根据权利要求4所述的一种硅片加工用定位点胶装置,其特征在于:所述第一定位夹板(26)...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊必军
申请(专利权)人:苏州策林智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1