有机电激发光元件的制造方法薄膜移除设备及擦拭装置制造方法及图纸

一种薄膜移除设备，其是适于移除一基板上的一薄膜，而薄膜移除设备例如包括一底座、一擦试装置传动机构、一擦试装置与一定位平台。其中，擦试装置传动机构是配设于底座上。此外，擦试装置是配设于擦试装置传动机构上。另外，定位平台是配设于底座上，以承载基板，其中擦试装置传动机构是带动擦试装置，以将基板上的薄膜移除。基于上述，薄膜移除设备使用擦试方式去除薄膜，以降低生产成本。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种发光元件的制造方法及薄膜移除设备，且特别是有关于一种有机电激发光元件(Organic Electro-Luminescent Device，OELD)的制造方法薄膜移除设备及其擦拭装置。
技术介绍
有机电激发光元件是一种利用有机功能性材料(organic functionalmaterial)的自发光特性来达到显示效果的元件，其中依照有机功能性材料的分子量分为小分子有机电激发光元件(Small Molecule OELD，SM-OELD)与高分子电激发光元件(Polymer Electro-Luminescent Device，PELD)两大类。两者的发光结构皆是由一对电极以及有机功能性材料层所构成。当施加直流电压时，电洞从阳极(anode)注入有机功能性材料层，而电子从阴极(cathode)注入有机功能性材料层，因为外加电场所造成的电位差，使得电洞与电子两种载子(carrier)在有机功能性材料层中移动并产生辐射性结合(Radiative Recombination)。部分由电子电洞再结合所放出的能量会将有机功能性材料分子激发形成单一激态分子。当单一激态分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜移除设备，适于移除一基板上的一薄膜，其特征在于，该薄膜移除设备包括：一底座；一擦试装置传动机构，配设于该底座上；一第一擦试装置，配设于该擦试装置传动机构上；以及一定位平台，配设于该底座上，以承载该基板 ，其中该擦试装置传动机构是带动该第一擦试装置，以将该基板上的该薄膜移除。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈纯鑑，廖麒贵，黄志强，陈来成，
申请(专利权)人：翰立光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]