【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种将处理液涂敷到基板上的涂敷装置，尤其涉及将有机EL显示装置的发光层或空穴输送层的处理液涂敷到基板上的涂敷装置。
技术介绍
以往，作为有机EL显示装置中的发光层或空穴输送层的材料，大致分为低分子系材料以及高分子系材料两种。其中，高分子系材料可以用旋涂法、浸渍法、印刷法、喷液法等，简单的薄膜形成技术形成，另外，由于与低分子系材料相比耐热性高，近年来引人瞩目。使用上述这样的高分子系材料形成发光层或空穴输送层时，对基板涂敷材料之后，对基板实施用于干燥涂敷物的加热处理(烘干处理)。到目前为止，一般是涂敷处理和烘干处理在分开的单元进行。即，在现有的制造系统中，涂敷单元与烘干单元设为分开的单元，将在涂敷单元涂敷了材料的基板搬送到烘干单元之后，在烘干单元进行烘干处理(例如，参照JP特开2004-111073号公报)。到目前为止，在涂敷单元进行了涂敷处理的基板，在涂敷物未干燥的状态原样搬送到烘干单元。为此，通过搬送用的机械手手部与基板接触而在基板产生温度变化，因搬送时的外力，基板弯曲，从而涂敷物的膜厚在搬送时可能变动。发光层和空穴输送层的膜厚的变化对有机EL显...
【技术保护点】
一种涂敷装置，其在基板上涂敷有机ＥＬ材料或空穴输送材料的处理液，其特征在于：具有：载物台，其装载上述基板；加热机构，其安装在上述载物台内并加热该载物台；控制机构，其控制上述加热机构，以使装载在上述载物台上的基板加热到 适于涂敷后的搬送的温度；涂敷机构，其对装载在上述载物台上的基板喷洒上述处理液。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川越理史，增市干雄，高村幸宏，吉田顺一，
申请(专利权)人：大日本网目版制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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