下载用于制造有机EL显示装置的涂敷装置和基板处理系统的技术资料

文档序号:3694510

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本发明提供一种涂敷装置,其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有:装载基板(7)的载物台(4);安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41);以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方...
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