本发明专利技术提供一种具异常检测功能的三相加热系统，该系统包含数个继电器以及检测装置。继电器是用以控制系统中加热器的开启或关闭。检测装置则是电性耦接于继电器，并用以检测继电器是否有异常状态，且包含数个电性接点以及切换开关，其中继电器分别电性耦接于电性接点至少其中之一，而切换开关则是电性耦接于电性接点至少其中之一，且于检测装置检测到继电器其中之一具异常状态时受触发而作切换，藉以输出一检测信号告知发生异常状态。一种检测三相加热系统异常的方法也在此揭示。本发明专利技术可实时检测故障异常的情形，避免产品因温度条件改变而不符合原先标准，并且可让操作者更方便、迅速地得知系统异常，供操作者进行实时的修复工作。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种，且特别是有关于一种利用继电装置进行异常检测的三相加热系统及其检测方法。
技术介绍
一般在半导体相关的制造工艺步骤中，通常会使用一加热系统(如三相加热系统)来进行退火(anneal)制造工艺，藉以去除水气或杂质，并使产品本身有更好的物理特性。请参照图1，为绘示现有三相加热系统的方块示意图。此三相加热系统100包含三相电源110、继电器120、加热器130、加热炉140、温度检测器150以及温度控制器160。三相电源110是用以输入电压源至继电器120中，以供继电器120运作。继电器120是用以控制加热器130的开启或关闭，并通过加热器130对加热炉140进行加热的动作。加热炉140则是受温度检测器150检测，再经由温度检测器150将检测到的温度信号传送至温度控制器160中，通过温度控制器160控制继电器120，使得继电器120藉此控制加热器130的开启或关闭，进而保持加热炉140中的温度条件。请参照图2，为绘示继电器与加热器耦接的示意图。系统中的三个继电器210是以三角形的接法相互耦接，且两两继电器210依序首尾相连接，并分别将相连的点引出作为三相电源R、S、T的三个相线。三组加热器220则是分别与两两继电器210耦接，并通过继电器210的控制而进行加热动作，其中各组件在正常状况下呈三相平衡状态。然而，由于系统中并无任何检测继电器210故障异常的装置，因此当三个继电器210其中之一发生损坏时，三相平衡状态即会发生欠相的情形，使得加热制造工艺条件也因而受到影响。此时，在操作者无法实时察觉异常的情况之下，经过加热制造工艺的产品便不合乎原先预期的标准，也间接增加了制作成本。因此，需要一种三相加热系统，具有异常检测的功能，可藉以在操作时得知发生异常的情形。
技术实现思路
本专利技术的目的是在提供一种，藉以在进行产品制造工艺而使用三相加热系统时，可检测得知制造工艺异常的情形以及判断故障发生。依照本专利技术一实施例，提出一种具异常检测功能的三相加热系统。此系统包含复数个继电器以及一检测装置。继电器是用以控制系统中加热器的开启或关闭。检测装置电性耦接于继电器，并用以检测继电器是否有异常状态，且包含复数个电性接点以及一切换开关，其中继电器分别电性耦接于电性接点至少其中之一，而切换开关则是电性耦接于电性接点至少其中之一，且于检测装置检测到继电器其中之一具异常状态时受触发而作切换，藉以输出一检测信号告知发生异常状态。依照本专利技术另一实施例，提出一种检测三相加热系统异常的方法。此方法包含将一检测继电器电性耦接于一三相加热系统中用以开启或关闭加热器的复数个继电器；将一电源继电器电性耦接于检测继电器；在继电器其中的一具异常状态时触发检测继电器以输出一检测信号；根据检测信号触发电源继电器；通过电源继电器激活一异常指示器。通过本专利技术的，可于三相加热系统因三相电源发生欠相情形，或系统内部控制加热器开关的继电器发生损坏时，实时检测故障异常的情形，避免产品因温度条件改变而不符合原先标准，并且可让操作者更方便、迅速地得知系统异常，供操作者进行实时的修复工作。附图说明为让本专利技术的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的详细说明如下图1为绘示现有三相加热系统的方块示意图。图2为绘示继电器与加热器耦接的示意图。图3为绘示依照本专利技术一实施例的具异常检测功能的三相加热系统的方块示意图。图4为绘示依照本专利技术一实施例的三相加热系统中检测电路的连接构造示意图。图5为绘示如图4所示的检测继电器的示意图。图6为绘示依照本专利技术一实施例的检测三相加热系统的方法的流程图。附图标号100、300三相加热系统 380输出处理装置110、310三相电源 430检测继电器120、210、320、410继电器 440电源继电器130、220、330、420加热器 450异常指示器140、340加热炉460故障指示器150、350温度检测器470重置开关160、360温度控制器600～608步骤370检测装置 SW1、SW2、SW3切换开关具体实施方式请参照图3，为绘示依照本专利技术一实施例的具异常检测功能的三相加热系统的方块示意图。在此三相加热系统300中，三相电源310是用以输入电压源至继电器320中，以供继电器320运作。继电器320是用以控制加热器330的开启或关闭，并通过加热器330对加热炉340进行加热的动作。加热炉340则是受温度检测器350检测，再经由温度检测器350将检测到的温度信号传送至温度控制器360中，通过温度控制器360控制继电器320，使得继电器320藉此控制加热器330的开启或关闭，进而保持加热炉340中的温度条件。此外，三相加热系统300中还具有一检测电路，用以检测继电器320是否发生故障异常。此检测电路包含一检测装置370以及一输出处理装置380，其中检测装置370是用以判别继电器320是否发生故障的情形，而输出处理装置380则是显示异常指示信号以供操作者判读。请参照图4，为绘示依照本专利技术一实施例的三相加热系统中检测电路的连接构造示意图。在本实施例中，系统中的三个继电器410是以三角形的接法相互耦接，且两两继电器410依序首尾相连接，并分别将相连的点引出作为三相电源R、S、T的三个相线。三组加热器420则是分别与两两继电器410耦接，并通过继电器410的控制而进行加热动作，其中各组件在正常状况下呈三相平衡状态。此外，还使用一检测继电器430以及一电源继电器440分别作为检测装置以及输出处理装置来使用，其中检测继电器430可为一欠相检测保护继电器。检测继电器430分别电性耦接于三个继电器410，并用以检测继电器410是否有异常的状态，而电源继电器440则是电性耦接于检测继电器430以及一异常指示器450，并根据检测继电器430所检测到的信号激活异常指示器450，藉以供操作者判读，其中异常指示器450可为一蜂鸣器或一指示灯。图5为绘示如图4所示的检测继电器的示意图。请同时参照图4以及图5，检测继电器430内包含有数个电性接点以及一切换开关SW1，其中三个继电器410分别电性耦接于检测继电器430内的电性接点，而切换开关SW1也电性耦接于电性接点，且在检测继电器430检测到其中的一个继电器410具异常状态时，受到触发而作切换，以输出一检测信号DS告知发生异常状态，且检测信号DS被传送至电源继电器440中。电源继电器内440还包含两切换开关SW2和SW3，分别电性耦接于检测继电器430，其中切换开关SW2还电性耦接于异常指示器450，并在受到检测继电器430所输出的检测信号DS触发时作切换，以激活异常指示器450供操作者判读。而切换开关SW3则是同样在受到检测继电器430所输出的检测信号DS触发时作切换，同时形成一自保持回路，使得切换开关SW3在切换后所输出的触发信号再传送至切换开关SW3本身，以维持切换开关SW3切换后的状态。此外，系统内还可包含一故障指示器460以及一重置开关470。故障指示器460是用以电性耦接于切换开关SW3，并在切换开关SW3作切换后通过切换开关SW3激活，且由于切换开关SW3在自保持回路中维持切换后的状态，使得故障指示器460可持续被激活，以供操作者判读。重置开关470则是位本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具异常检测功能的三相加热系统，其特征是，该系统包含：复数个继电器，用以控制系统中加热器的开启或关闭；以及一检测装置，电性耦接于所述的继电器并用以检测所述的继电器是否有异常状态，该检测装置包含：复数个电性接点，所述 的继电器分别电性耦接于所述的电性接点至少其中之一；以及一切换开关，电性耦接于所述的电性接点至少其中之一，且于所述的检测装置检测到所述的继电器其中之一具异常状态时受触发而作切换，藉以输出一检测信号告知发生异常状态。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曾振助，陈士元，王维扬，林少陵，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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