一种电流场均匀的长寿命单晶硅加热器制造技术

一种电流场均匀的长寿命单晶硅加热器，包括单晶硅加热板、导电镀层、电极和夹板，所述单晶硅加热板与电极之间设导电镀层。本实用新型专利技术实际最高加热温度高，恒温区域大、使用寿命长，实施及使用简单方便。由于在电极和单晶硅加热板之间设导电镀层，使导电镀层与电极和单晶硅加热板之间的接触电阻很小且分布均匀，从而保证了电流在单晶硅加热板上分布的均匀性，使实际最高加热温度达到1200℃，并实现了恒温区域为整块单晶硅加热板，确保了薄膜的质量，尤其是大面积薄膜的质量；同时保证了单晶硅加热板受热均匀，且稳定、不易破裂，从而大大提高了单晶硅加热器的使用寿命，节约了硅资源及能源。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电流场均匀的长寿命单晶硅加热器，包括单晶硅加热板（5）、导电镀层（4）、电极（2）和夹板，其特征在于：单晶硅加热板（5）与电极（2）之间设导电镀层（4）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，张辉，
申请(专利权)人：张斌，
类型：实用新型
国别省市：