一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及等离子清洗技术领域，提供一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备，包括呈中空的等离子体流通组件和安装在等离子体流通组件上的镜框，等离子体流通组件上设有比适于喷射出等离子体的喷射口大且适于弥散出等离子体的出流口，镜框与出流口连通且围绕在出流口外，以及，镜框适于镶嵌光学镜体，以使光学镜体与出流口呈相对设置，有助于提升等离子体从出流口流动至光学镜体的分散性和稳定性，有助于促进光学镜体对等离子体进行能量吸收，有助于提高等离子体对光学镜体进行大面积清洗的强度和效率，摆脱了喷射口对等离子体清洗光学件的性能构成制约的困境。洗光学件的性能构成制约的困境。洗光学件的性能构成制约的困境。

【技术实现步骤摘要】
一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备


[0001]本专利技术涉及等离子清洗
，具体涉及一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备。

技术介绍

[0002]相关技术中，现有等离子体清洗设备通常包括等离子体喷头，等离子体喷头上的喷流口与光学件呈相对设置，从喷流口喷射出的等离子体适于对光学件进行清洗，但是，等离子体在喷射口外的气流速度易出现急剧下降现象，易阻碍光学件对等离子体进行能量吸收，进而制约等离子体清洗光学件的性能。
[0003]专利技术中容
[0004]本专利技术针对现有技术中适于喷射等离子体的喷射口会对等离子体清洗光学件的性能构成制约的问题，提供一种光学件用等离子清洗头和等离子体清洗设备。
[0005]本专利技术一方面提供一种光学件用等离子清洗头，所述光学件用等离子清洗头包括呈中空的等离子体流通组件和安装在所述等离子体流通组件上的镜框；
[0006]所述等离子体流通组件上设有比适于喷射出等离子体的喷射口大且适于弥散出等离子体的出流口；
[0007]所述镜框与所述出流口连通且围绕在所述出流口外，以及，所述镜框适于镶嵌光学镜体，以使所述光学镜体与所述出流口呈相对设置。
[0008]上述技术方案的有益效果是：一方面，相比于在喷头上设置适于喷射出等离子体的喷射口，出流口兼备为等离子体扩大出流面积和分散化出流等离子体的性能，促使等离子体在等离子体流通组件内外均匀化气流速度，有助于缓解等离子体在等离子体流通组件外的气流速度出现急剧下降现象，另一方面，镜框兼备对等离子体流通组件与光学镜体进行空间方位固化、防阻碍出流口出流等离子体以及对等离子体从出流口流动至光学镜体的空间进行限定的性能，促使出流口与光学镜体呈相对静止状态，以防出流口与光学镜体呈相对运行状态，既提升了镜框的利用率，也提升了出流口与光学镜体之间的稳定性，有助于提升等离子体从出流口流动至光学镜体的分散性和稳定性，从而，有助于促进光学镜体对等离子体进行能量吸收，有助于提高等离子体对光学镜体进行大面积清洗的强度和效率，摆脱了喷射口对等离子体清洗光学件的性能构成制约的困境。
[0009]在上述技术方案的基础上，本专利技术还对光学件用等离子清洗头做出如下改进。
[0010]可选地，所述等离子体流通组件包括第一固定框和镶嵌在所述第一固定框中的无介质阻挡电极子组件；
[0011]所述第一固定框上开设有所述出流口，所述出流口位于所述无介质阻挡电极子组件的一侧；
[0012]所述镜框与所述第一固定框可拆卸式对接，所述光学镜体上设有待清洗镜面，所述待清洗镜面与所述出流口所在的平面平行且相对设置。
[0013]上述技术方案的有益效果是：借助第一固定框，促使无介质阻挡电极子组件对出
流口进行空间避让，相比于出流口分布在无介质阻挡电极子组件的正前方位，有助于在第一固定框中均匀化分布等离子体，有助于促进出流口均匀化出流等离子体，促使镜框可拆卸安装在等离子体流通组件上，便于对镜框与等离子体流通组件进行拆装。
[0014]相比于待清洗镜面封盖出流口，待清洗镜面与出流口呈间隔分布，扩展了从出流口到待清洗镜面的空间，有助于等离体子在出流口到待清洗镜面的空间中分散化流动，有助于促进等离体子较为均匀地对待清洗镜面进行清洗。
[0015]可选地，所述第一固定框上还设有第一凹槽，所述第一凹槽的槽口设为与所述出流口连通的第一槽口，所述第一槽口分布在所述第一固定框内侧，所述无介质阻挡电极子组件可拆卸式安装在所述第一凹槽中。
[0016]上述技术方案的有益效果是：借助第一凹槽，促使无介质阻挡电极子组件以可拆卸方式容置在第一固定框内部，既提高了第一固定框内部的空间利用率，也便于对第一固定框和无介质阻挡电极子组件进行拆装，有助于维护等离子体流通组件。
[0017]可选地，多组所述无介质阻挡电极子组件均匀排列在所述第一凹槽中。
[0018]上述技术方案的有益效果是：在第一凹槽中为多组无介质阻挡电极子组件均匀化分配空间，提升了第一凹槽的空间利用率，有助于均匀化电场。
[0019]可选地，所述第一凹槽的底部设为第一槽底部，所述无介质阻挡电极子组件包括绝缘槽体、让位螺钉、导电卡座、第一电极板、导电连接筒、第二电极板和绝缘钉；
[0020]所述绝缘槽体上设有第二凹槽，所述第二凹槽的槽口设为第二槽口，所述第二凹槽的底部设为第二槽底部；
[0021]所述绝缘槽体镶嵌在所述第一凹槽中，所述第二槽口所在的平面与所述第一槽口所在的平面重合；
[0022]所述让位螺钉穿插在所述绝缘槽体中，所述让位螺钉的钉尾与所述第一槽底部螺纹连接；
[0023]所述导电卡座、所述第一电极板、所述导电连接筒、所述第二电极板和所述绝缘钉均设置在所述第二凹槽中；
[0024]所述导电卡座镶嵌在所述第二槽底部和所述第一电极板中，所述第一电极板与所述第二电极板呈相对设置且形成有电极空间；
[0025]所述导电连接筒设置在所述电极空间中，所述导电连接筒的两端分别与所述第一电极板和所述第二电极板抵触；
[0026]所述绝缘钉依次穿插在所述第一电极板、所述导电连接筒和所述第二电极板中，所述绝缘钉的钉尾嵌入所述第二槽底部。
[0027]上述技术方案的有益效果是：相比于绝缘槽体的槽口暴露在第一凹槽外，绝缘槽体更好的契合于第一凹槽，以防第一凹槽过大，有助于窄型化或薄型化等离子体流通组件。
[0028]借助让位螺钉，促使绝缘槽体以可拆卸方式稳固在第一凹槽内部，绝缘槽体兼备遮掩让位螺钉和对让位螺钉与第二凹槽进行空间隔离的性能，促使让位螺钉在绝缘槽体中避让第二凹槽，以防让位螺钉完全暴露出第一凹槽和对第二凹槽产生结构干扰，提高了绝缘槽体的利用率。
[0029]在第二凹槽中，导电卡座兼备固定连接且电性连接第一电极板的性能，借助第一电极板与第二电极板共同构成的分层电极结构，在电极空间中稳固导电连接筒，导电连接
筒具备对第一电极板与第二电极板进行电性连接的性能，促使导电卡座依次通过第一电极板和导电连接筒与第二电极板稳定的双性连接，提高了导电卡座、第一电极板、导电连接筒和第二电极板的利用率，提高了电极空间的稳定性和第二凹槽的空间利用率，扩展了电极面积，有助于增强电场强度。
[0030]通过第一电极板、导电连接筒和第二电极板在电极空间中隐藏绝缘钉，相比于绝缘钉暴露在电极空间中，提高了绝缘钉的利用率，借助绝缘钉，以可拆卸方式对第一电极板、导电连接筒和第二电极板进行结构加固，简化了无介质阻挡电极子组件在绝缘槽体内部的固定方式，兼顾了无介质阻挡电极子组件在绝缘槽体内部的可拆装性和稳定性。
[0031]可选地，多个所述导电连接筒均匀排列在所述电极空间中；
[0032]所述绝缘钉的个数与所述导电连接筒的个数相等，各个所述绝缘钉分别穿插在对应的所述导电连接筒中。
[0033]上述技术方案的有益效果是：通过在电极空间中均匀化布设多个导电连接筒，保证了无介质阻挡电极子组件的导电均匀性，有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学件用等离子清洗头，其特征在于，所述光学件用等离子清洗头包括呈中空的等离子体流通组件(11)和安装在所述等离子体流通组件(11)上的镜框(12)；所述等离子体流通组件(11)上设有比适于喷射出等离子体的喷射口大且适于弥散出等离子体的出流口(1111)；所述镜框(12)与所述出流口(1111)连通且围绕在所述出流口(1111)外，以及，所述镜框(12)适于镶嵌光学镜体(2)，以使所述光学镜体(2)与所述出流口(1111)呈相对设置。2.如权利要求1所述的光学件用等离子清洗头，其特征在于，所述等离子体流通组件(11)包括第一固定框(111)和镶嵌在所述第一固定框(111)中的无介质阻挡电极子组件(112)；所述第一固定框(111)上开设有所述出流口(1111)，所述出流口(1111)位于所述无介质阻挡电极子组件(112)的一侧；所述镜框(12)与所述第一固定框(111)可拆卸式对接，所述光学镜体(2)上设有待清洗镜面，所述待清洗镜面与所述出流口(1111)所在的平面平行且相对设置。3.如权利要求2所述的光学件用等离子清洗头，其特征在于，所述第一固定框(111)上还设有第一凹槽，所述第一凹槽的槽口设为与所述出流口(1111)连通的第一槽口，所述第一槽口分布在所述第一固定框(111)内侧，所述无介质阻挡电极子组件(112)可拆卸式安装在所述第一凹槽中。4.如权利要求3所述的光学件用等离子清洗头，其特征在于，多组所述无介质阻挡电极子组件(112)均匀排列在所述第一凹槽中。5.如权利要求3所述的光学件用等离子清洗头，其特征在于，所述第一凹槽的底部设为第一槽底部，所述无介质阻挡电极子组件(112)包括绝缘槽体(1121)、让位螺钉(1122)、导电卡座(1123)、第一电极板(1124)、导电连接筒(1125)、第二电极板(1126)和绝缘钉(1127)；所述绝缘槽体(1121)上设有第二凹槽，所述第二凹槽的槽口设为第二槽口，所述第二凹槽的底部设为第二槽底部；所述绝缘槽体(1121)镶嵌在所述第一凹槽中，所述第二槽口所在的平面与所述第一槽口所在的平面重合；所述让位螺钉(1122)穿插在所述绝缘槽体(1121)中，所述让位螺钉(1122)的钉尾与所述第一槽底部螺纹连接；所述导电卡座(1123)、所述第一电极板(1124)、所述导电连接筒(1125)、所述第二电极板(1126)和所述绝缘钉(1127)均设置在所述第二凹槽中；所述导电卡座(1123)镶嵌在所述第二槽底部和所述第一电极板(1124)中，所述第一电极板(1124)与所述第二电极板(1126)呈相对设置且形成有电极空间；所述导电连接筒(1125)设置在所述电极空间中，所述导电连接筒(1125)的两端分别与所述第一电极板(1124)和所述第二电极板(1126)抵触；所述绝缘钉(1127)依次穿插在所述第一电极板(1124)、所述导电连接筒(1125)和所述第二电极板(1126)中，所述绝缘钉(1127)的钉尾嵌入所述第二槽底部。6.如权利要求5所述的光学件用等离子清洗头，其特征在于，多个所述导电连接筒(1125)均匀排...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，卢礼华，高强，关宇珩，赵航，曹永智，陈家轩，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：