本实用新型专利技术公开了晶圆镀锅自动上下料装置，属于蒸镀设备技术领域，晶圆镀锅自动上下料装置，包括机台，机台上设置有卡塞定位组件、晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件，卡塞定位组件位于晶圆移栽模组的一侧，移料载台位于晶圆移栽模组的另一侧，晶圆移栽模组能够将晶圆在卡塞定位组件和移料载台之间移栽，第一视觉定位组件设置于移料载台靠近晶圆移栽模组的一侧，机械手组件设置于移料载台的一侧，能够将晶圆在移料载台和镀锅定位旋转组件之间移栽。本实用新型专利技术的晶圆镀锅自动上下料装置，实现对晶圆的自动上下料，生产效率高。生产效率高。生产效率高。
【技术实现步骤摘要】
晶圆镀锅自动上下料装置
[0001]本技术属于蒸镀设备
，尤其涉及一种晶圆镀锅自动上下料装置。
技术介绍
[0002]在半导体薄膜沉积领域，物理气相沉积主要包括真空溅射镀膜和真空蒸发镀膜两种工艺。具体的，在晶圆真空蒸镀工艺中，主要是运用蒸镀机来完成晶圆的真空蒸镀。
[0003]其中，蒸镀机上有一重要装置——镀锅，其功用为放置晶圆，使其在合适的位置完成蒸镀。
[0004]对应镀锅的上下料，目前大多采用人工放片方式，人工将晶圆片放至镀锅上，选择一个放置位置，将晶圆片放上。每个放置点位上有两个卡勾，因为锅体呈弧面，晶圆片放上去后会滑到放置位底部，卡勾将其固定，另一部面用预设的弹簧卡勾通过拉钩的方式固定另一侧。
[0005]由于采用人工对晶圆片的取放料，生产效率低下，人工成本高。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提出一种晶圆镀锅自动上下料装置，实现对晶圆的自动上下料，生产效率高。
[0007]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]本技术提供的晶圆镀锅自动上下料装置，包括机台，机台上设置有卡塞定位组件、晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件，卡塞定位组件位于晶圆移栽模组的一侧，移料载台位于晶圆移栽模组的另一侧，晶圆移栽模组能够将晶圆在卡塞定位组件和移料载台之间移栽，第一视觉定位组件设置于移料载台靠近晶圆移栽模组的一侧，机械手组件设置于移料载台的一侧，能够将晶圆在移料载台和镀锅定位旋转组件之间移栽。
[0009]优选地，镀锅定位旋转组件包括第一旋转台、镀锅本体、气缸、晶圆放置盘、安装座、推块、以及夹持件，第一旋转台的顶部固定有镀锅本体，镀锅本体上设置有多个晶圆放置盘，晶圆放置盘的底部固定有夹持件，夹持件的底部固定有安装座，安装座的中部具有第一通孔，第一通孔的下部具有挡环，推块穿过第一通孔，且能够被挡环挡住限位，气缸设置于推块的下方，用于推动推块朝上运动，推块推动夹持件动作。
[0010]优选地，夹持件包括三角座、第一夹块、第一推杆、第一滑块、以及第一弹簧，三角座固定于安装座的顶部，三角座的顶部与晶圆放置盘的底部相连，三角座的中部开设有第二通孔，三角座的内部开设有三个第一滑孔，每个第一滑孔均连通一个第三通孔，第三通孔与第二通孔连通，第一推杆上固定有第一滑块，第一滑块与第一滑孔滑动配合，第一推杆的一端穿过第一滑孔和第三通孔延伸至第二通孔内，且与推块接触配合，第一推杆的另一端延伸至三角座外固定有第一夹块，第一弹簧设置于第一滑孔内，一端与第一滑块相连或相抵，另一端与三角座相连或相抵。
[0011]优选地，夹持件包括第一十字座、第二十字座、摆杆、第二夹块、第二推杆、第二滑块、以及第二弹簧，第一十字座固定于安装座的顶部，第二十字座固定于第一十字座的顶部，第二十字座的顶部与晶圆放置盘的底部相连，第一十字座的中部开设有第四通孔，第一十字座的内部开设有四个第二滑孔，每个第二滑孔均连通一个第五通孔，第五通孔与第四通孔连通，第二推杆上固定有第二滑块，第二滑块与第二滑孔滑动配合，第二推杆的一端穿过第二滑孔和第五通孔延伸至第四通孔内，且与推块接触配合，第二推杆的另一端延伸至第一十字座外铰接有摆杆，摆杆的上部铰接在第二十字座的端部，第二弹簧设置于第二滑孔内，一端与第二滑块相连或相抵，另一端与第一十字座相连或相抵。
[0012]优选地，推块包括圆台部、第一圆柱部、以及第二圆柱部，第一圆柱部的顶端固定有圆台部，第一圆柱部的底端固定有第二圆柱部，第一圆柱部的直径大于第二圆柱部的直径，第一圆柱部的底端与挡环接触配合，圆台部的侧壁与夹持件接触配合。
[0013]优选地，晶圆放置盘的边缘固定有两个卡勾，晶圆放置盘通过支撑块固定或可拆卸连接于镀锅本体的顶部。
[0014]优选地，晶圆移栽模组包括取料吸盘、第二旋转台、取料X轴模组、取料Y轴模组、以及取料Z轴模组，取料Y轴模组的滑动端设置有取料X轴模组，取料X轴模组的滑动端设置有第二旋转台，第二旋转台的旋转端固定有取料Z轴模组，取料Z轴模组具有相对设置的两个升降端，每个升降端均设置有取料吸盘。
[0015]优选地，机械手组件包括六轴机械手、移料吸盘、第二视觉定位组件，六轴机械手的端部设置有两个移料吸盘，两个移料吸盘的中部设置有第二视觉定位组件。
[0016]优选地，移料载台包括上料载台和下料载台，上料载台和下料载台并排设置，第一视觉定位组件的检测口朝向上料载台。
[0017]优选地，还包括控制面板，晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件均与控制面板电连接。
[0018]本技术的有益效果为：
[0019]1、实现对晶圆的自动上下料操作，相对于人工上下料，生产效率更高，减少人工成本。
[0020]2、只需要一个驱动源即可同步实现三个第一夹块/四个第二夹块的夹持作业，设计巧妙，而且驱动源与夹持件分离设计，更能适应旋转的镀锅。
[0021]3、通过圆台部的设置能够更好实现向上运动对各个第一推杆的同步推动。
[0022]4、通过挡环对推块进行限位，避免推块掉落出安装座。
附图说明
[0023]图1是本技术实施例一的立体结构示意图。
[0024]图2是本技术实施例一的主视结构示意图。
[0025]图3是本技术实施例一的俯视结构示意图。
[0026]图4是本技术实施例一夹持件的立体结构示意图。
[0027]图5是本技术实施例一夹持件的俯视结构示意图。
[0028]图6是图5中A
‑
A向剖视结构示意图。
[0029]图7是本技术实施例二夹持件的主视结构示意图。
[0030]图8是本技术实施例二第一十字座的剖视结构示意图。
[0031]附图中的标记为：1
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机台，2
‑
卡塞定位组件，3
‑
第一视觉定位组件，4
‑
晶圆移栽模组，5
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移料载台，6
‑
机械手组件，7
‑
镀锅定位旋转组件，71
‑
第一旋转台，72
‑
镀锅本体，73
‑
气缸，74
‑
晶圆放置盘，75
‑
安装座，76
‑
推块，77
‑
夹持件，78
‑
第一通孔，79
‑
挡环，771
‑
三角座，772
‑
第一夹块，773
‑
第一推杆，774
‑
第一滑块，775
‑
第一弹簧，776
‑
第二通孔，777
‑
第一滑孔，778
‑
第三通孔，779
‑
第一十字座，7710...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.晶圆镀锅自动上下料装置，其特征在于：包括机台，所述机台上设置有卡塞定位组件、晶圆移栽模组、移料载台、第一视觉定位组件、机械手组件、以及镀锅定位旋转组件；所述卡塞定位组件位于所述晶圆移栽模组的一侧，所述移料载台位于晶圆移栽模组的另一侧；所述晶圆移栽模组能够将晶圆在卡塞定位组件和移料载台之间移栽；所述第一视觉定位组件设置于所述移料载台靠近所述晶圆移栽模组的一侧；所述机械手组件设置于所述移料载台的一侧，能够将晶圆在移料载台和镀锅定位旋转组件之间移栽。2.根据权利要求1所述的晶圆镀锅自动上下料装置，其特征在于：所述镀锅定位旋转组件包括第一旋转台、镀锅本体、气缸、晶圆放置盘、安装座、推块、以及夹持件；所述第一旋转台的顶部固定有镀锅本体，所述镀锅本体上设置有多个晶圆放置盘；所述晶圆放置盘的底部固定有夹持件，所述夹持件的底部固定有安装座；所述安装座的中部具有第一通孔，所述第一通孔的下部具有挡环；所述推块穿过所述第一通孔，且能够被所述挡环挡住限位；所述气缸设置于所述推块的下方，用于推动所述推块朝上运动；所述推块推动所述夹持件动作。3.根据权利要求2所述的晶圆镀锅自动上下料装置，其特征在于：所述夹持件包括三角座、第一夹块、第一推杆、第一滑块、以及第一弹簧；所述三角座固定于所述安装座的顶部，所述三角座的顶部与所述晶圆放置盘的底部相连；所述三角座的中部开设有第二通孔，所述三角座的内部开设有三个第一滑孔，每个第一滑孔均连通一个第三通孔，所述第三通孔与第二通孔连通；所述第一推杆上固定有第一滑块，所述第一滑块与所述第一滑孔滑动配合，所述第一推杆的一端穿过第一滑孔和第三通孔延伸至所述第二通孔内，且与所述推块接触配合，所述第一推杆的另一端延伸至所述三角座外固定有第一夹块；所述第一弹簧设置于所述第一滑孔内，一端与所述第一滑块相连或相抵，另一端与所述三角座相连或相抵。4.根据权利要求2所述的晶圆镀锅自动上下料装置，其特征在于：所述夹持件包括第一十字座、第二十字座、摆杆、第二夹块、第二推杆、第二滑块、以及第二弹簧；所述第一十字座固定于所述安装座的顶部，所述第二十字座固定于所述第一十字座的顶部，所述第二十字座的顶部与所述晶圆放置盘的底部相连；所述第一十字座...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴泽斌，林志阳，王世锐，
申请(专利权)人：厦门特仪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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