【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆分选机用物料中转机构，具体是指一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构。
技术介绍
1、晶片分选机需要对通过测试后的不同电子数据晶片进行分选，几百或几千个不同数据的晶片附着于一块基片中，多个基片竖放于一个基片槽中。分选过程中，通过基片移动，有效将合格的晶片输送至物料中转机构的所在位置，尔后通过相应的顶针机构将相应的晶片顶出，使其被物料中转机构的吸嘴吸附，通过物料中转机构的旋转将合格的晶片转运至另一侧的基片上即可。
2、现有的晶圆分选机用物料中转机构在实际使用过程中，存在转运效率低的问题。究其原因主要在于：驱动电机在驱动物料中转机构整体产生转动的过程中，如果转动速度过快，则存在惯性力过大的问题，导致驱动电机在停运时，整个物料中转机构会存在比较大的振动，致使晶片于吸嘴之间的易出现明显的振动，进而导致晶片无法精准贴附到合格品容纳基片上。
3、因此，设计一款能够有效解决因转动速度提升所带来的振动问题，从而能够进一步明显提升物料中转机构的整体运行速度，以进一步提升对晶片的分选效率的基于减振底座的晶圆分选...
【技术保护点】
1.一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述摆臂（9）分别通过相应的弹簧钢板（17）可摆动安装到所述摆臂安装座（8）上，摆臂（9）内侧的摆臂安装座（8）上分别向上固接有相应的支撑臂（18），所述支撑臂（18）与摆臂（9）之间分别固定安装有相应的缓冲弹簧（19）。
3.根据权利要求2所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述摆臂（9）的内侧分别向内固接有相应的固定套筒（20），所述缓冲弹簧（19）的外端固定安装于所述...
【技术特征摘要】
1.一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述摆臂（9）分别通过相应的弹簧钢板（17）可摆动安装到所述摆臂安装座（8）上，摆臂（9）内侧的摆臂安装座（8）上分别向上固接有相应的支撑臂（18），所述支撑臂（18）与摆臂（9）之间分别固定安装有相应的缓冲弹簧（19）。
3.根据权利要求2所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述摆臂（9）的内侧分别向内固接有相应的固定套筒（20），所述缓冲弹簧（19）的外端固定安装于所述固定套筒（20）内，所述缓冲弹簧（19）的内端部分别固定抵接到所述支撑臂（18）上。
4.根据权利要求3所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述支撑臂（18）上固接有一用于对所述摆臂（9）的摆动方向进行限位的限位轴件（21），所述摆臂（9）上设置有用于贯穿所述限位轴件（21）的导向长孔（22）。
5.根据权利要求3所述的一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构，其特征在于，所述驱动电机（6）的一侧向外固接有散热器（23），所述散热器（23）包含固接于所述驱动电机（6）的侧壁上的散热板（2301）、以及一体化成型连接于所述散热板（2301）上的诸多散热翅片（2302）。
6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：王世锐，康强强，马达，魏浚宏，翟跃飞，
申请(专利权)人：厦门特仪科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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