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一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构制造技术
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下载一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构的技术资料
文档序号:41248793
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本发明公开了一种基于减振底座的晶圆分选机用物料中转机构,包括:减振底座,包含底座板、以及减振器,所述减振容器的两侧按高低分别向内滚动安装有若干球体状顶紧件;驱动电机,固定安装于所述底座板的底侧,所述驱动电机的输出轴的两侧分别呈台阶状设置有若...
该专利属于厦门特仪科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门特仪科技有限公司授权不得商用。
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