封装载板、芯片及扇出型封装方法技术

技术编号:36854558 阅读:31 留言:0更新日期:2023-03-15 17:37
本发明专利技术公开了一种封装载板、芯片及扇出型封装方法。第一基板、第二基板和粘接层。第一基板具有设定的厚度X1,第一基板的厚度方向的一侧设置有承载面。第二基板具有设定的厚度X2,厚度X1小于厚度X2。粘接层的一侧与第一基板背离承载面的一侧粘接,粘接层的另一侧与第二基板在厚度方向上的一侧粘接。通过较厚的第二基板和较薄的第一基板粘接在一起,使得封装载板具有一定的厚度,以减小承载面上贴附有晶片后封装载板所发生的翘曲,进而减小运输过程中偏移撞片发生的几率。并且,剥离第二基板时,由于与第二基板直接连接的是第一基板,因此不会对RDL线路造成损伤,在确保成品芯片的轻薄性的基础上,有效提高扇出型封装的制程良率。有效提高扇出型封装的制程良率。有效提高扇出型封装的制程良率。

【技术实现步骤摘要】
封装载板、芯片及扇出型封装方法


[0001]本专利技术涉及晶片扇出型封装
,尤其是涉及一种封装载板、芯片及扇出型封装方法。

技术介绍

[0002]晶片的扇出型封装中,其中一个步骤是将切割好的晶片用胶材贴装在基板上。晶片的贴装会导致基板的翘曲变大,使得基板在传送过程中存在偏移撞片的风险。尤其是真空腔室中,如果基板翘曲过大,且机械手上未设置有真空吸盘以吸附基板,基板的偏移和破片风险更大。故相关技术一般采用较厚的基板做为载板,以保证贴附晶片后的翘曲,基板的厚度一般设置在0.5mm至1.5mm之间;
[0003]在完成晶片的RDL(redistributed layer重新分布层)、焊料球凸点阵列制作等封装制程后,为了保证封装成品芯片的轻薄性,需要将下方的基板剥离掉,但是基板和RDL间仅有胶材间隔,分离时极易损伤RDL线路,造成不良。为了解决上述问题,有必要针对封装结构以及方法进行改进。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术提出一种封装载板,能够提高扇出型封装的制程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.封装载板,其特征在于,包括:第一基板,具有设定的厚度X1,所述第一基板的厚度方向的一侧设置有承载面,所述承载面用于晶片的贴附封装;第二基板,具有设定的厚度X2,所述厚度X1小于所述厚度X2;粘接层,所述粘接层的一侧与所述第一基板背离所述承载面的一侧粘接,所述粘接层的另一侧与所述第二基板在厚度方向上的一侧粘接。2.根据权利要求1所述的封装载板,其特征在于,所述厚度X1设置为0.1mm至0.4mm。3.根据权利要求1所述的封装载板,其特征在于,所述厚度X2设置为0.7mm至2.0mm。4.根据权利要求1所述的封装载板,其特征在于,所述粘接层的材料设置为聚酰亚胺材料,所述第二基板为玻璃基板。5.根据权利要求4所述的封装载板,其特征在于,所述粘接层具有设定的厚度X3,所述厚度X3设置为1um至10um,所述粘接层的厚度方向与所述第一基板的厚度方向相同。6.根据权利要求1所述的封装载板,其特征在于,所述第一基板和/或所述第二基板为玻璃基板。7.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡小波张晓军夏慧冯俊杰
申请(专利权)人:深圳市矩阵多元科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1