一种石墨烯半导体制备装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种石墨烯半导体制备装置，包括台体，所述台体上固定连接有操作平台，所述台体上滑动设置有两个滑块，所述台体下方设置有底板，所述台体上设置有清理机构，所述清理机构包括台体上固定连接的两个调节板，每个所述滑块上均固定连接有第一外管，所述第一外管上滑动设置有第一内杆，每个所述第一内杆均通过第一弹簧和对应的第一外管连接，所述第一内杆上固定连接有定位杆。本发明专利技术通过第一内杆和定位杆的相互配合，可以在不需要人工手动清理的情况下，方便快速的将操作平台上的颗粒物以及杂质清理干净，操作起来十分简单，省时省力，从而提高清理效率。从而提高清理效率。从而提高清理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯半导体制备装置


[0001]本专利技术涉及石墨烯半导体制备
，尤其涉及一种石墨烯半导体制备装置。

技术介绍

[0002]半导体是现代电子工业的支柱，它是晶体管、集成电路以及各类电子元件的核心材料，随着半导体技术的发展，传统的硅、锗等元素半导体的性能提升空间越来越小，而石墨烯以优异的导电性能，广阔的开发前景，在半导体
受到越来越多的关注，为此，研究者研发了多种石墨烯半导体制备装置。
[0003]现有的石墨烯半导体制备装置的操作平台在使用过后，需要对其上的颗粒物和杂物进行清理，现有的方案一般采用人工手动清理，由于操作平台上有很多细小的间隙，人工手动清理需要逐个的进行清理，操作起来十分的不方便，耗时耗力，从而降低清理效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中以下缺点，现有的石墨烯半导体制备装置的操作平台在使用过后，需要对其上的颗粒物和杂物进行清理，现有的方案一般采用人工手动清理，由于操作平台上有很多细小的间隙，人工手动清理需要逐个的进行清理，操作起来十分的不方便，耗时耗力，从而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯半导体制备装置，包括台体(1)，其特征在于，所述台体(1)上固定连接有操作平台(2)，所述台体(1)上滑动设置有两个滑块(30)，所述台体(1)下方设置有底板(12)；所述台体(1)上设置有清理机构，所述清理机构包括台体(1)上固定连接的两个调节板(3)，每个所述滑块(30)上均固定连接有第一外管(29)，所述第一外管(29)上滑动设置有第一内杆(21)，每个所述第一内杆(21)均通过第一弹簧(28)和对应的第一外管(29)连接，所述第一内杆(21)上固定连接有定位杆(22)，每个所述调节板(3)上均开设有定位槽，所述定位杆(22)和定位槽滑动连接，两个所述第一内杆(21)之间安装有毛刷(32)；所述底板(12)上设置有升降机构，所述升降机构包括底板(12)上固定连接的两个第二外管(18)，每个所述第二外管(18)上均滑动设置有第二内杆(20)，所述第二内杆(20)通过第二弹簧和第二外管(18)连接，所述台体(1)和底板(12)上均铰接有两个拉杆(16)，所述台体(1)上方设置有两个环形块(14)以及双向丝杆(15)，每个所述拉杆(16)均和对应的环形块(14)铰接，所述环形块(14)和双向丝杆(15)螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种石墨烯半导体制备装置，其特征在于,每个所述第二外管(18)上均滑动连接有限位杆(19)，所述第二内杆(20)上开设有多个限位槽，每个所述限位杆(19)均和对应的限位槽卡接。3.根据权利要求1所述的一种石墨烯半导体制备装置，其特征在于，所述台体(1)上方设置有两个安装板(27)，每个所述第一内杆(21)均通过连接块(23)和对应的安装板(27)连接，每个所述安装板(27)均和毛刷(32)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李连活，
申请(专利权)人：厦门南方宇邦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：