本实用新型专利技术公开了一种连续上料装置，其技术方案要点是：包括工作架，所述工作架的内部设置有两个传动柱，所述工作架的内部设置有传送带，所述传送带与所述传动柱活动套接；上料组件，设置在所述工作架的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括两个旋转槽，两个所述旋转槽均开设在所述工作架的内部一侧，所述传动柱的一端固定安装有旋转柱，所述传动柱的一端固定安装有转动柱，通过设置的工作架、传动柱、旋转槽、旋转柱、转动柱、转动孔、传送带、步进电机、斜面板、导引槽、检测台、安装槽、驱动电机、转动块、推动柱、落料槽和PLC控制器相互配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。以便工作人员后续对晶圆进行检测。以便工作人员后续对晶圆进行检测。
【技术实现步骤摘要】
一种连续上料装置
[0001]本技术涉及晶圆连续上料
，具体涉及一种连续上料装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆加工的过程中，需要连续上料装置将晶圆移动到检测设备上，保证检测设备对晶圆的检测效率和精准度。
[0003]例如公开号为CN213635937U的中国专利，其中提出了一种晶圆加工用连续上料装置，该专利通过设置的升降管、丝杆、伺服电机、滑动座、支撑平台、三号旋转电机、二号旋转电机、一号旋转电机、一号旋转臂、二号旋转臂和晶圆托架，使得晶圆加工用连续上料装置通过一个晶圆托架将晶圆从检测设备上取走时，另一个低高度的晶圆托架已经顶托有待检测的晶圆，在装置将检测设备上的晶圆抬起取走时，升降管上升，进而使得低高度的晶圆托架上升到与检测设备相同高度，进而将待检测的晶圆放置到检测设备上，缩短检测时间，提高检测效率，但是该方案中，由于该装置对晶圆上料时通过升降管等结构对晶圆进行抬起，进而将晶圆放在检测的位置，而此方式可能只可以对单个晶圆进行上料操作，当晶圆过多时，可能会降低晶圆的上料速度，从而会导致晶圆的连续上料效果较差。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种连续上料装置，解决了该装置对晶圆上料时通过升降管等结构对晶圆进行抬起，进而将晶圆放在检测的位置，而此方式可能只可以对单个晶圆进行上料操作，当晶圆过多时，可能会降低晶圆的上料速度，从而会导致晶圆的连续上料效果较差的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种连续上料装置，包括工作架，所述工作架的内部设置有两个传动柱，所述工作架的内部设置有传送带，所述传送带与所述传动柱活动套接；上料组件，设置在所述工作架的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括：两个旋转槽，两个所述旋转槽均开设在所述工作架的内部一侧，所述传动柱的一端固定安装有旋转柱，所述传动柱的一端固定安装有转动柱，所述旋转柱与所述旋转槽活动套接，所述工作架的一侧开设有两个转动孔，所述转动柱与所述转动孔活动套接，所述工作架的一侧设置有步进电机，所述步进电机的驱动轴与位于所述工作架左侧的所述转动柱的一端固定安装，所述工作架的一侧固定安装有斜面板，所述斜面板的顶面开设有导引槽，所述斜面板的一侧固定安装有检测台，所述检测台的顶面开设有安装槽，所述安装槽的内圆壁面固定套接有驱动电机，所述驱动电机驱动轴的顶面固定安装有转动块，所述转动块的外圆壁面固定安装有若干个推动柱，所述
检测台的一侧设置有PLC控制器，所述PLC控制器与所述步进电机电性连接，所述PLC控制器与所述驱动电机电性连接，所述检测台的一侧开设有落料槽。
[0007]为了防止连续上料的晶圆发生堆积，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述上料组件还包括：固定架，所述固定架固定安装在所述斜面板的底面，所述固定架的内部底面开设有固定槽，所述固定槽的内圆壁面固定套接有电动液压杆，所述导引槽的内部底面开设有移动孔，所述移动孔的内部滑动连接有挡板，所述挡板与所述电动液压杆的伸缩杆固定安装，所述电动液压杆与所述PLC控制器电性连接。
[0008]为了便于让工作人员放置检测晶圆用的设备，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述检测台的一侧固定安装有放置板。
[0009]为了便于对步进电机、驱动电机、PLC控制器和电动液压杆进行供电，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述检测台的底面设置有蓄电池，所述蓄电池与所述步进电机电性连接，所述蓄电池与所述驱动电机电性连接，所述蓄电池与所述PLC控制器电性连接，所述传动柱步进电机与所述电动液压杆电性连接。
[0010]为了便于纠正晶圆在传送带顶面的移动位置，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述工作架的顶面固定安装有两个限位板，所述限位板的内部一侧固定安装有海绵块。
[0011]为了便于对步进电机进行支撑，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述工作架的一侧固定安装有安装架，所述安装架的一侧开设有固定孔，所述固定孔与所述步进电机固定套接。
[0012]为了便于减少转动柱转动的摩擦力，作为本技术的一种连续上料装置，较佳的，所述转动孔的内圆壁面固定套接有轴承，所述轴承与所述转动柱固定套接。
[0013]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0014]通过设置的工作架、传动柱、旋转槽、旋转柱、转动柱、转动孔、传送带、步进电机、斜面板、导引槽、检测台、安装槽、驱动电机、转动块、推动柱、落料槽和PLC控制器相互配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。
[0015]通过设置的挡板，当多个晶圆同时进入导引槽的内部时，工作人员可能检测速度较慢，此时，通过挡板，便于将多个晶圆阻挡在导引槽的内部，当工作人员检测下一个晶圆时，通过使用PLC控制器启动电动液压杆，电动液压杆的伸缩杆移动会带动挡板移动，可以将挡板移动进移动孔的内部解除对晶圆的阻挡，让晶圆继续滑动移动至检测台的顶面，从而便于让晶圆有序移动至检测台的顶面进行检测，防止连续上料的晶圆发生堆积。
附图说明
[0016]图1是本技术的立体结构示意图；
[0017]图2是本技术的工作架结构示意图；
[0018]图3是本技术的检测台结构示意图；
[0019]图4是本技术的固定架结构示意图。
[0020]附图标记：1、工作架；2、传动柱；3、旋转槽；4、旋转柱；5、转动柱；6、转动孔；7、轴承；8、传送带；9、步进电机；10、斜面板；11、导引槽；12、检测台；13、安装槽；14、驱动电机；15、转动块；16、推动柱；17、蓄电池；18、安装架；19、固定孔；20、限位板；21、海绵块；22、落料
槽；23、固定架；24、固定槽；25、电动液压杆；26、移动孔；27、挡板；28、放置板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]参考图1、图2和图3，一种连续上料装置，包括工作架1，所述工作架1的内部设置有两个传动柱2，工作架1的内部设置有传送带8，传送带8与传动柱2活动套接，工作架1的内部一侧设置有上料组件，用于对晶圆进行上料，上料组件包括两个旋转槽3，两个旋转槽3均开设在工作本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种连续上料装置，其特征在于，包括：工作架(1)，所述工作架(1)的内部设置有两个传动柱(2)，所述工作架(1)的内部设置有传送带(8)，所述传送带(8)与所述传动柱(2)活动套接；上料组件，设置在所述工作架(1)的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括：两个旋转槽(3)，两个所述旋转槽(3)均开设在所述工作架(1)的内部一侧，所述传动柱(2)的一端固定安装有旋转柱(4)，所述传动柱(2)的一端固定安装有转动柱(5)，所述旋转柱(4)与所述旋转槽(3)活动套接，所述工作架(1)的一侧开设有两个转动孔(6)，所述转动柱(5)与所述转动孔(6)活动套接，所述工作架(1)的一侧设置有步进电机(9)，所述步进电机(9)的驱动轴与位于所述工作架(1)左侧的所述转动柱(5)的一端固定安装，所述工作架(1)的一侧固定安装有斜面板(10)，所述斜面板(10)的顶面开设有导引槽(11)，所述斜面板(10)的一侧固定安装有检测台(12)，所述检测台(12)的顶面开设有安装槽(13)，所述安装槽(13)的内圆壁面固定套接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)驱动轴的顶面固定安装有转动块(15)，所述转动块(15)的外圆壁面固定安装有若干个推动柱(16)，所述检测台(12)的一侧设置有PLC控制器，所述PLC控制器与所述步进电机(9)电性连接，所述PLC控制器与所述驱动电机(14)电性连接，所述检测台(12)的一侧开设有落料槽(22)。2.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于，所述上料组件还...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹鑫源，
申请(专利权)人：湖北方晶电子科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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