一种PVD设备的冷却挡板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，外壳内设置有内腔，外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔；固定件包括档杆、连接杆和旋钮，连接杆的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆的中部，挡杆的宽度小于槽口的宽度，长度小于槽口的长度；连接杆从槽口伸入内腔中，遮挡片覆盖在外壳的外表面。遮挡片覆盖在外壳的外表面，承接材料沉积。因此，沉积材料不会越过遮挡片落在冷却挡板上。当需要清理冷却挡板时，反向旋转旋钮，从槽口中取出档杆和连接杆。然后将连接杆与档杆分离，卸下遮挡片，更换为新的遮挡片后再次使用。更换为新的遮挡片后再次使用。更换为新的遮挡片后再次使用。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD设备的冷却挡板


[0001]本技术涉及一种PVD设备的冷却挡板，属于PVD设备的冷却挡板领域。

技术介绍

[0002]目前在薄膜表面进行镀膜操作，通常是通过PVD设备将所需材料沉积到塑料薄膜上，以满足客户的需求。在沉积过程中，有部分材料沉积到真空腔体和冷却挡板上。冷却挡板上沉积的材料需及时清理以保证生产品质。现有的PVD设备对冷却挡板上沉积的材料清理时多用手工清理，该种清理方式存在缺陷，耗时长且冷却挡板表面容易变得坑坑洼洼，残渣在真空腔内飞溅，容易污染真空腔室，降低后续镀膜的产品质量。因此，如何清理冷却挡板表面的沉积材料是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种PVD设备的冷却挡板。以解决
技术介绍
部分提出的问题。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种PVD设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有内腔，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；所述遮挡片上设置有与槽口位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD设备的冷却挡板，包括外壳、遮挡片和固定件，固定件将遮挡片连接在外壳上，其特征在于，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有内腔，所述外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口；所述遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔；所述固定件包括档杆、连接杆和旋钮，连接杆的一端与旋钮连接，另一端穿过通孔垂直连接在挡杆的中部，挡杆的宽度小于槽口的宽度，长度小于槽口的长度；连接杆从槽口伸入内腔中，遮挡片覆盖在外壳的外表面。2.根据权利要求1所述的PVD设备的冷却挡板，其特征在于，所述内腔中设置有紧固结构，紧固结构阻止档杆在内腔中旋转。3.根据权利要求2所述的PVD设备的冷却挡板，其特征在于，所述紧固结构是螺旋状滑轨，所述连接杆穿过螺旋状滑轨的中心线，所述档杆的端部沿螺旋状滑轨滑动。4.根据权利要求3所述的P...

【专利技术属性】
技术研发人员：程毅，刘国春，王天兵，李学法，张国平，
申请(专利权)人：扬州纳力新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：