下载一种PVD设备的冷却挡板的技术资料

文档序号:36829138

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本实用新型公开了一种PVD设备的冷却挡板,包括外壳、遮挡片和固定件,固定件将遮挡片连接在外壳上,外壳内设置有内腔,外壳朝向遮挡件的侧面设置有与内腔相通的槽口;遮挡片上设置有与槽口位置相对应的通孔;固定件包括档杆、连接杆和旋钮,连接杆的一端与...
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